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公開番号2025160661
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-23
出願番号2024063348
出願日2024-04-10
発明の名称プローブ
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20251016BHJP(測定;試験)
要約【課題】コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ10は、先端部11と、複数のコイルスプリング部121が弾性を有さない連結部122を介して軸方向に沿って連結されたバネ部12と、基端部13と、バネ部12の内側に配置され、先端部11と基端部13を電気的に接続する電流経路部材114Aを備える。プローブ10は、軸方向から見て4つの側面を有する矩形状であり、バネ部12が軸方向に収縮する際に電流経路部材114Aの端部が挿入する凹部が先端部11、基端部13および連結部122の少なくともいずれかに形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
前記検査対象物に接触させる先端部と、
一方の端部が前記先端部に接続し、弾性を有する複数のコイルスプリング部が弾性を有さない連結部を介して軸方向に沿って連結されたバネ部と、
前記バネ部の他方の端部に接続する基端部と、
前記バネ部の内側に配置され、前記先端部と前記基端部を電気的に接続する電流経路部材と、
を備え、
前記軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、
前記バネ部が前記軸方向に収縮する際に前記電流経路部材の端部が挿入する凹部が前記先端部、前記基端部および前記連結部の少なくともいずれかに形成されている、
プローブ。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記電流経路部材が、
一方の端部が前記先端部、前記連結部および前記基端部のいずれかに接続し、
他方の端部が前記凹部に対向し、
前記先端部と前記連結部の間、２つの前記連結部の間、および前記基端部と前記連結部の間の少なくともいずれかを架橋する、
請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
単一の前記電流経路部材が、前記連結部を前記軸方向に貫通する貫通孔の内側を通過して、前記先端部と前記基端部とを架橋する、請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】
前記貫通孔の内壁面と前記電流経路部材を接続する接続部品を更に備える、請求項３に記載のプローブ。
【請求項５】
前記バネ部が複数の金属板を積層した構造を有する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項６】
弾性力が互いに異なる前記コイルスプリング部を少なくとも２つ含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項７】
前記弾性力が互いに異なる２つの前記コイルスプリング部の一方の前記コイルスプリング部は、他方の前記コイルスプリング部と巻き数が異なる、請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記軸方向に垂直な方向から見て、前記コイルスプリング部の各線が湾曲する部分を含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部が検査対象物の電極に接触し、プローブの他方の端部が電気的接続装置に含まれる基板に配置された端子（以下において「ランド」も称する。）に接触する。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－４２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、検査対象物とランドとをプローブを介して安定して電気的に接続する必要がある。このため、軸方向に弾性を有するようにらせん状のコイルスプリング部を含むプローブの使用が有効であるが、コイルスプリング部を電流が流れるため、プローブの電流経路が長くなる。その結果、プローブの電気抵抗が増大し、電気的特性の測定精度が低下する。また、コイルスプリング部で座屈する問題が生じる。
【０００５】
上記問題点に鑑み、本発明は、コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るプローブは、先端部と、複数のコイルスプリング部が弾性を有さない連結部を介して軸方向に沿って連結されたバネ部と、基端部と、バネ部の内側に配置され、先端部と基端部を電気的に接続する電流経路部材を備える。プローブは、軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、バネ部が軸方向に収縮する際に電流経路部材の端部が挿入する凹部が先端部、基端部および連結部の少なくともいずれかに形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図２は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な平面図である。
図３は、図１に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図４は、図１に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図５は、図１に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図６は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の構成を示す模式図である。
図７は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部を示す模式的な斜視図である。
図８は、図１に示すプローブを構成する電流経路部材を含む第４部品を示す模式図である。
図９は、図１に示すプローブの先端部と電流経路部材の接続を示す模式図である。
図１０は、図１に示すプローブの連結部と電流経路部材の接続を示す模式図である。
図１１は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の各線の形状を示す模式図である。
図１２は、第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図１３は、図１２に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図１４は、図１２に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図１５は、図１２に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図１６は、図１２に示すプローブを構成する電流経路部材を示す模式図である。
図１７は、図１７に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。
図１８は、第２の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図１９は、図１８に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図２０は、図１８に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図２１は、図１８に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図２２は、図１８に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。
図２３は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の例を示す模式的な断面図である。
図２４は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の他の例を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造および配置などを下記のものに特定するものでない。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係るプローブ１０は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１０の軸方向の一方の端部に検査対象物に接触させる先端部１１が配置され、他方の端部にランドと接触させる基端部１３が配置されている。プローブ１０では、先端部１１と基端部１３の間に、弾性を有する第１コイルスプリング部１２１１～第４コイルスプリング部１２１４が、弾性を有さない連結部１２２を介して軸方向に沿って連結されている。以下において、第１コイルスプリング部１２１１～第４コイルスプリング部１２１４のそれぞれを限定しない場合は、「コイルスプリング部１２１」と表記する。プローブ１０において、先端部１１と基端部１３の間に位置し、コイルスプリング部１２１と連結部１２２を含む部分をバネ部１２と称する。
（【００１１】以降は省略されています）

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