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公開番号2025161175
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-24
出願番号2024064143
出願日2024-04-11
発明の名称X線検査装置
出願人アンリツ株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 23/18 20180101AFI20251017BHJP(測定;試験)
要約【課題】エアコンを有するX線検査装置において筐体内の湿度を制御することで高湿度環境でも使用できるようにすること。
【解決手段】X線検査装置1は、筐体2の内部に、X線検出器4と、エアコン5と、圧縮空気を供給されて乾燥空気を供給するエアドライヤー6と、エアドライヤー6から出る乾燥空気の流量を制御する流量制御手段14を備えており、X線検出器4の近傍に設けた混合領域Sにおいてエアコン5の冷気とエアドライヤー6の乾燥空気を混合し、冷気の湿度よりも低い湿度の空気を生成してX線検出器の近傍を流通させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被検査物に照射されて透過したＸ線を検出することにより被検査物の検査を行うＸ線検査装置（１，１ａ）であって、
筐体（２）と、
前記筐体の内部に配置されたＸ線検出器（４）と、
前記筐体の内部に冷気を供給するエアコン（５）と、
前記筐体の外部から供給される圧縮空気を乾燥空気と湿潤空気に分離して前記筐体の内部に乾燥空気を供給するエアドライヤー（６）と、を備え、
前記筐体の内部において前記Ｘ線検出器の近傍に設けられた混合領域（Ｓ）において、前記エアコンから供給された冷気と前記エアドライヤーから供給された乾燥空気を混合して前記Ｘ線検出器に供給することを特徴とするＸ線検査装置（１，１ａ）。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
前記エアドライヤー（６）に乾燥空気の流量を制御する流量制御手段（１４）を設けたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置（１，１ａ）。
【請求項３】
前記エアドライヤー（６）に対する圧縮空気の供給を制御する電磁弁（３１）と、
前記筐体内の湿度に応じて前記電磁弁を作動させる湿度スイッチ（３２）と、
を有することを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置（１ａ）。
【請求項４】
前記エアドライヤー（６）に供給される圧縮空気の圧力を調整する調圧手段（３０）を有することを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置（１ａ）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアコンを備えたＸ線検査装置に係り、特に高湿度の外部環境下においても内部の湿度を低く保つことができるために電気部品に結露が生じにくいＸ線検査装置に関するものである。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に開示されたＸ線検査装置は、被検査物２に照射して透過したＸ線３を検出することにより被検査物２の検査を行うＸ線検査装置１であって、筐体４内に配置され、冷却手段の冷却により生じる結露に弱い電気部品を搭載したＸ線検出部６と、筐体４内の湿度を監視する湿度センサ１５と、筐体４内を除湿する除湿手段かつ冷却手段であるエアコン９と、湿度センサ１５による湿度が所定値以下のときにモジュール群へ電源の供給を行う第１制御部１６とを備えている。このＸ線検査装置１では、主電源がＯＮの状態であっても、湿度センサ１５による湿度が所定値以上であればモジュール群を有するＸ線検出部６はＯＮとはならないので、モジュール群に備えられているペルチェ素子などの冷却手段が駆動されることはなく、ペルチェ素子の駆動により半導体チップに結露が生じることもなく、結露による水滴でモジュール群が故障するのを防止できるものとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１７９００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製品の異物検査等に用いられているＸ線検査装置では、Ｘ線源やＸ線検出器などをはじめとして種々の電子部品の駆動によって熱が発生する。これらの熱が筐体内にこもると電子部品の仕様温度を越えてしまうことがあることから、筐体内を冷却して温度を下げる必要があり、前記特許文献１に開示されたＸ線検査装置においても、筐体の背面側にエアコンディショナー（エアコン）を取り付け、筐体内を冷却している。
【０００５】
また、Ｘ線検査装置の電気部品の中には、エアコンの他、ペルチェクーラ（ペルチェ素子）を用いて当該電子部品を局所的に冷却する場合があり、前記特許文献１に開示されたＸ線検査装置においても、実施形態の記載にあるように、Ｘ線検出部６の半導体チップがペルチェ素子によって冷却されるようになっている。
【０００６】
このように、Ｘ線検査装置において、筐体内を冷却するエアコンだけでなく、筐体内の特定の電子部品（例えばＸ線検出器等）を局所的に冷却するためにペルチェクーラが設けられているような場合には、筐体内の湿度を十分に低くしておかないと、特に外部の湿度が高い場合には、筐体内の湿度が高くなって当該電気部品に結露が発生し、故障するリスクが高くなってしまう。具体的には、例えば以下の１）、２）のような場合に、筐体内が特に高湿度となり、ペルチェクーラ等で局所的に冷却されている電子部品に結露が生じて故障するリスクが高くなるおそれがある。
【０００７】
１）エアコンの冷却運転時には、コンプレッサーで圧縮された冷媒が蒸発器で気化すると、蒸発器を通過する空気は急激に冷やされて冷風となり、この時の温度差によって蒸発器の表面には結露が発生する。筐体内の温度が目標温度に達するとエアコンの冷却運転は停止してコンプレッサーは止まるが、ファンは回転を続ける。回転するファンに押された空気は蒸発器を通り抜ける際に冷却はされないが、蒸発器の表面に付着した細かい結露水が混ざった状態となるので、これが筐体の内部を循環することにより、筐体内の相対湿度が上昇してしまう。
【０００８】
２）作動中のＸ線検査装置が停止すると、装置の内部温度が高い状態から低い状態へと変化するが、その過程で筐体内が筐体外に対して負圧の状態となるため、ドレンホース部から外気が吸い込まれるため、特に外部環境の湿度が高い場合には筐体内の相対湿度が上昇してしまう。
【０００９】
前記特許文献１に開示されたＸ線検査装置も含めて、エアコンに加えて特定の電子部品に冷却手段が設けられているような従来のＸ線検査装置では、通常、例えば７５％未満程度の湿度であれば使用することができると考えられていたが、これを超えるような高湿度においては、上述した１）、２）で説明したような問題があるため、使用することができなかった。
【００１０】
本発明は、以上説明した従来の技術と、その課題に鑑みてなされたものであり、エアコンを有するＸ線検査装置において、エアドライヤーを使用して筐体内の湿度を制御することにより、高湿度環境でも使用できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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