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公開番号2024088588
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2023179923
出願日2023-10-19
発明の名称中間基板接続部を有するカンチレバー構造体
出願人エクスメムスラブズ,インコーポレイテッド
代理人個人,個人,個人
主分類B81B 3/00 20060101AFI20240625BHJP(マイクロ構造技術)
要約【課題】カンチレバー構造体のアンカー部が少なくとも1つの突出部を有し、製造プロセスのばらつきに対していくつかの特性の変化が少なくなるようにしたカンチレバー構造体および関連装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カンチレバー構造体は、アンカー部とフィルム構造体とを含む。フィルム構造体は、キャビティを覆い、キャビティ内で振動する。フィルム構造体の長さは、フィルム構造体の幅よりも小さい。アンカー部は、キャビティに向かって突出する少なくとも1つの突出部を含み、フィルム構造体は、少なくとも1つの突出部によってアンカー部上に固定される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
カンチレバー構造体であって、
アンカー部と、
フィルム構造体と
を備え、
前記フィルム構造体は、キャビティを覆い、前記キャビティ内で振動し、
前記フィルム構造体の長さは、前記フィルム構造体の幅よりも小さく、
前記アンカー部は、前記キャビティに向かって突出する少なくとも１つの突出部を含み、前記フィルム構造体は、前記少なくとも１つの突出部によって前記アンカー部上に固定される、
カンチレバー構造体。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
基板をさらに備え、前記キャビティが前記基板内に形成される、請求項１に記載のカンチレバー構造体。
【請求項３】
前記基板は、前記キャビティと、前記少なくとも１つの突出部を有する前記アンカー部とを形成するようにエッチングされる、請求項２に記載のカンチレバー構造体。
【請求項４】
前記フィルム構造体は、フィルム層内に形成され、
前記フィルム層には、前記フィルム構造体を囲むように少なくとも１つのスリットが形成されている、
請求項１に記載のカンチレバー構造体。
【請求項５】
前記アンカー部は、複数の突出部を含む、請求項１に記載のカンチレバー構造体。
【請求項６】
前記フィルム構造体は、前記アンカー部上に固定されたアンカー側を含み、
前記複数の突出部は、前記アンカー側に均等に分布している、
請求項５に記載のカンチレバー構造体。
【請求項７】
前記フィルム構造体の幅は、前記フィルム構造体の長さの２倍より大きい、請求項１に記載のカンチレバー構造体。
【請求項８】
前記少なくとも１つの突出部の各々は、第１の部分と第２の部分とを含み、前記第１の部分の第１の厚さは、前記第２の部分の第２の厚さよりも大きい、請求項１に記載のカンチレバー構造体。
【請求項９】
前記フィルム構造体は、前記第１の部分に直接接続されており、前記フィルム構造体は、前記第２の部分に直接接続されていない、請求項８に記載のカンチレバー構造体。
【請求項１０】
前記フィルム構造体は、前記第２の部分と前記フィルム構造体との間の内側スリットによって前記第２の部分から分離される、請求項８に記載のカンチレバー構造体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は、カンチレバー構造体および装置に関し、より詳細には、製造プロセスによる製造ばらつきに対して変化の少ない特性を有するカンチレバー構造体および関連装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
カンチレバー構造体は、音響部品、空気パルス発生部品、センサ、発振器、または他の適切な部品などの様々な電子部品に広く使用することができる。場合によっては、カンチレバー構造体をＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）構造として小型化を図ることができるので、カンチレバー構造体を含む電子部品のサイズが大幅に縮小され、それによって、多様な電子装置に広く使用することができる。
【０００３】
しかしながら、カンチレバー構造体のいくつかの特性（例えば、共振周波数、剛性、および初期撓み）は、製造プロセスによって引き起こされる製造ばらつきにより変化する。これらの特性の変化が大きい場合、これらの特性はそれらの設計値からかけ離れるので、カンチレバー構造体の性能は低下することになる。したがって、カンチレバー構造体の構造を改善して、製造ばらつきによって引き起こされるその特性の変化を低減する必要がある。
【発明の概要】
【０００４】
したがって、本発明の主な目的は、カンチレバー構造体のアンカー部が少なくとも１つの突出部（protrusion）を有し、製造プロセスのばらつきに対していくつかの特性（例えば、共振周波数、剛性および初期撓み）の変化が少なくなるようにしたカンチレバー構造体を提供することである。本発明は、関連装置も提供する。
【０００５】
本発明の一実施形態は、アンカー部とフィルム構造体とを含むカンチレバー構造体を提供する。フィルム構造体は、キャビティを覆い、キャビティ内で振動する。フィルム構造体の長さは、フィルム構造体の幅よりも小さい。アンカー部は、キャビティに向かって突出する少なくとも１つの突出部を含み、フィルム構造体は、少なくとも１つの突出部によってアンカー部上に固定される。
【０００６】
本発明の別の実施形態は、第１のカンチレバー構造体と第２のカンチレバー構造体とを含む装置を提供する。第１のカンチレバー構造体は、アンカー部上に固定された第１のフィルム構造体を含む。第２のカンチレバー構造体は、アンカー部上に固定された第２のフィルム構造体を含む。装置内にキャビティが形成される。第１のフィルム構造体および第２のフィルム構造体は、キャビティを覆い、キャビティ内で振動する。第１のフィルム構造体の長さは、第１のフィルム構造体の幅よりも小さく、第２のフィルム構造体の長さは、第２のフィルム構造体の幅よりも小さい。アンカー部は、キャビティに向かって突出する複数の突出部を含み、第１のフィルム構造体および第２のフィルム構造体は、複数の突出部によってアンカー部上に固定される。第１のフィルム構造体は、第２のフィルム構造体に隣接し、対向している。
【０００７】
本発明のこれらおよび他の目的は、様々な図および図面に示される好ましい実施形態の以下の詳細な説明を読めば、当業者には疑いなく明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１の実施形態によるカンチレバー構造体を示す概略図である。
本発明の第１の実施形態によるカンチレバー構造体を示す概略図である。
図１の断面線Ａ－Ａ´に沿って見たときの構造を示す断面図の概略図である。
図１の断面線Ｂ－Ｂ´に沿って見たときの構造を示す断面図の概略図である。
本発明の第２の実施形態によるカンチレバー構造体を示す概略図である。
本発明の一実施形態による装置を示す概略図である。
図６に示される装置を示す上面図の概略図である。
図６に示される装置を示す底面図の概略図である。
図６に示される装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
当業者に本発明のより良い理解を提供するために、重要な構成要素のための好ましい実施形態および典型的な材料または範囲パラメータが、以下の説明において詳述される。本発明のこれらの好ましい実施形態は、達成されるべき内容および効果について詳述するために、番号付けされた要素とともに添付の図面に示される。図面は簡略化された概略図であり、重要な構成要素の材料およびパラメータの範囲は、現在の技術に基づいて例示的であり、したがって、本発明の基本的な構造、実装または動作方法についてのより明確な説明を提供するために、本発明に関連付けられた構成要素および組み合わせのみを示すことに留意されたい。構成要素は、実際にはより複雑であり、使用されるパラメータまたは材料の範囲は、技術が将来進歩するにつれて発展し得る。加えて、説明を容易にするために、図面に示される構成要素は、それらの実際の数、形状、および寸法を表していない場合があり、詳細は、設計要求事項にしたがって調整され得る。
【００１０】
以下の説明および特許請求の範囲において、「含む（include）」、「備える（comprise）」、および「有する（have）」という用語は、オープンエンド方式で使用され、したがって、「～を含むが、これに限定されない（include, but not limited to...）」を意味するものと解釈されるべきである。したがって、「含む（include）」、「備える（comprise）」、および／または「有する（have）」という用語が本発明の説明で使用される場合、対応する特徴、エリア、ステップ、動作および／または構成要素の存在が指し示されるが、１つまたは複数の対応する特徴、エリア、ステップ、動作および／または構成要素の存在に限定されない。
（【００１１】以降は省略されています）

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