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公開番号2024108407
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-13
出願番号2023012755
出願日2023-01-31
発明の名称可動装置の台座、可動システム、画像投影装置、距離測定装置、音響装置および振動子
出願人株式会社リコー
代理人個人,個人,個人
主分類B81B 3/00 20060101AFI20240805BHJP(マイクロ構造技術)
要約【課題】可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る可動装置の台座は、可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、基板と、前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、前記基板は、上面視において、第1軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第1軸に対して傾斜している一対の梁部と、上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、前記柱状部材は、上面視において、前記第1軸と交差する第2軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、
基板と、
前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、
前記基板は、
上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、
上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、
上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、
前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、
前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい、可動装置の台座。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記支持部は、上面視において、一対の固定部を介して前記可動部を内側に支持し、
前記第１軸は、前記一対の固定部同士を結ぶ固定軸に沿っている、請求項１に記載の可動装置の台座。
【請求項３】
前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される偶数対の梁部を含む、請求項１に記載の可動装置の台座。
【請求項４】
第１から第４の柱状部材を含む４つの前記柱状部材を有し、
前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される四対の梁部を有し、
前記第１の柱状部材と前記第２の柱状部材は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の柱状部材と前記第４の柱状部材は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、請求項１に記載の可動装置の台座。
【請求項５】
前記一対の梁部と前記柱状部材は、上面視において、二等辺三角形の枠体を構成している、請求項１に記載の可動装置の台座。
【請求項６】
前記基板は、前記第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁接続部を含み、
前記一対の梁部と前記一対の梁接続部は、上面視において、菱形枠体を構成している、請求項１に記載の可動装置の台座。
【請求項７】
第１から第４の柱状部材を含む４つの前記柱状部材を有し、
前記基板は、第１から第４の菱形枠体を含む４つの前記菱形枠体を有し、
前記第１の柱状部材と前記第２の柱状部材は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の柱状部材と前記第４の柱状部材は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置され、
前記第１の菱形枠体と前記第２の菱形枠体は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の菱形枠体と前記第４の菱形枠体は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、請求項６に記載の可動装置の台座。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の可動装置の台座と、
前記台座に配置される可動装置と、
前記台座と前記可動装置との間に配置されるスペーサ部と、を有する、可動システム。
【請求項９】
前記スペーサ部は、前記梁部の梁接続部と反対側の端部を含む、請求項８に記載の可動システム。
【請求項１０】
前記スペーサ部は、前記柱状部材を含む、請求項８に記載の可動システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動装置の台座、可動システム、画像投影装置、距離測定装置、音響装置および振動子に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術の発達に伴い、シリコンやガラスを微細加工して製造されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）装置等の可動装置が知られている。また、可動装置を外部装置に固定するための可動装置の台座、並びに可動装置と可動装置の台座とを含む可動システムが知られている。
【０００３】
可動装置として、静電振動子の共振周波数を広い温度範囲で一定に保つために、振動体への圧接箇所に傾斜面を備えた出っ張り状の振動体圧接部を有し、膨張または収縮による振動体圧接部の変化によって振動体の振動範囲の長さが変化する構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、振動体の振動範囲の長さが変化することにより、振動体等の可動部の変位量が変化する場合がある。
【０００５】
本発明は、可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る可動装置の台座は、可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、基板と、前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、前記基板は、上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図１の可動システムの分解斜視図である。
一対の梁部および柱状部材を示す上面図である。
一対の梁部および柱状部材の形状変化の第１例を示す上面図である。
一対の梁部および柱状部材の形状変化の第２例を示す上面図である。
第２実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図６の可動システムの分解斜視図である。
第３実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図８の可動システムの分解斜視図である。
第４実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図１０の可動システムの分解斜視図である。
第４実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。
第５実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図１３の可動システムの分解斜視図である。
第５実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。
第６実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。
図１６の可動システムの分解斜視図である。
スペーサ部の変形例を示す図である。
実施形態に係る画像投影装置を搭載した自動車の一例の図である。
実施形態に係る画像投影装置の一例の図である。
実施形態に係る距離測定装置を搭載した自動車の一例の図である。
実施形態に係る距離測定装置を搭載した自動車の他の例の図である。
実施形態に係る距離測定装置の一例の図である。
実施形態に係る音響装置の一例の図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成部には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する。
【００１０】
各図面において、方向表現として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を有する直交座標を用いる。Ｚ軸に沿うＺ方向を上下方向とする。上下方向は、実施形態に係る可動装置における可動部の変位方向である。＋Ｚ方向を上、－Ｚ方向を下とする。本明細書では、上面視とは、特段の指定がない限り、＋Ｚ方向から対象を視ることをいう。Ｚ方向に直交する面内において、直交する２方向をＸ方向およびＹ方向とする。但し、これら方向表現は、本発明の実施形態の方向を限定するものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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