特許ウォッチ

公開番号2025076144
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-15
出願番号2023187915
出願日2023-11-01
発明の名称空調ダクト、成形装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類F24F 13/04 20060101AFI20250508BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】調整された気流を得るために有利な空調ダクトを提供することを目的とする。
【解決手段】チャンバ内の気流を調整するために前記チャンバの内壁に沿って構成された空調ダクトであって、正圧源又は負圧源である外部装置と接続する外部接続部を有する第1のダクトと、前記壁に沿って長手方向を有するように配置され、前記第1のダクトと接続する第1の開口部と、前記チャンバ内の空間と接続する第2の開口部とを有する複数の第2のダクトと、を有し、前記複数の第2のダクトそれぞれは、前記第1の開口部の前記外部接続部からの距離に基づいて設定された最小開口断面積を有することを特徴とする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内の気流を調整するために前記チャンバの壁に沿って構成された空調ダクトであって、
正圧源又は負圧源である外部装置と接続する外部接続部を有する第１のダクトと、
前記壁に沿って長手方向を有するように配置され、前記第１のダクトと接続する第１の開口部と、前記チャンバ内の空間と接続する第２の開口部とを有する複数の第２のダクトと、
を有し、
前記複数の第２のダクトそれぞれは、前記第１の開口部の前記外部接続部からの距離に基づいて設定された最小開口断面積を有することを特徴とする空調ダクト。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記複数の第２のダクトそれぞれは、前記第１の開口部の前記外部接続部からの前記距離が短いほど前記最小開口断面積が小さいことを特徴とする請求項１に記載の空調ダクト。
【請求項３】
前記壁は前記長手方向に延在する中空部を有する複数の筒状部材が配列されて構成され、
前記複数の第２のダクトは、前記複数の筒状部材により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の空調ダクト。
【請求項４】
前記複数の第２のダクトの前記長手方向に垂直な面内での断面積は互いに等しく、
前記第１の開口部は、前記第２のダクトの端面を部分的に覆う第１の調整部材によって、前記第２のダクトごとに、前記外部接続部からの距離に基づく前記最小開口断面積となるように開口量が構成されていることを特徴とする請求項３に記載の空調ダクト。
【請求項５】
前記複数の第２のダクトの前記長手方向に垂直な面内での断面積は互いに等しく、
前記第２の開口部は、前記第２のダクトの端面を部分的に覆う第２の調整部材によって、前記第２のダクトごとに、前記外部接続部からの距離に基づく前記最小開口断面積となるように開口量が構成されていることを特徴とする請求項３に記載の空調ダクト。
【請求項６】
前記複数の筒状部材の前記中空部の前記長手方向に垂直な面内での断面積は互いに異なり、
前記複数の筒状部材それぞれの前記断面積は、前記外部接続部からの距離に基づく前記最小開口断面積となるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の空調ダクト。
【請求項７】
前記第２の開口部は、前記複数の筒状部材の前記長手方向の一方の端部が前記チャンバ内に向けて開口するように面取りされて構成されていることを特徴とする請求項４に記載の空調ダクト。
【請求項８】
前記第２のダクトは、前記壁を構成する２つの板状部材と、該２つの板状部材の間で間隔を空けて挟持された前記長手方向の成分を含む方向に延在する２つの仕切り部材とにより構成されていることを特徴とする請求項１に記載の空調ダクト。
【請求項９】
前記第２のダクトは、前記チャンバの前記壁と、該壁に平行に配置された幕状部材と、前記壁と前記幕状部材との間で間隔を空けて挟持された前記長手方向の成分を含む方向に延在する２つの仕切り部材と、によって構成されることを特徴とする請求項１に記載の空調ダクト。
【請求項１０】
前記２つの仕切り部材は、それぞれが柱状部材で構成され、前記長手方向において、互いに非平行に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の空調ダクト。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調ダクト、成形装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶パネルを製造する露光装置においては、装置内部の温度管理やパーティクル対策のため、装置内部の気流が均一になるように調整をしている。近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用の露光装置が製造する液晶パネルのサイズが拡大している。大型の露光装置の隅々まで気流を調整するために、空調設備の送出口、排気設備の吸込口の数や、ダクトの数を増やし、ダクトを大径化する必要がある。これに対し、ダクトの省スペース化の技術として、床下の空間をダクトとして利用する技術が提案されている。
【０００３】
特許文献１は、ダクトの省スペース技術として、フロアパネルとなる上床と建築床となる下床との間に生じる空間をダクトとして利用する技術を提案している。また、特許文献２は、第一の床板と、その上方に通気口を有する第二の床板とが離間して架設され、第１の床板と第２の床板の間の空間をダクトとして利用する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平０６－１３７６６１号公報
特開平０７－２１７９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、露光装置が設置されるクリーンルームを形成するチャンバは、室内の清浄度を保つために、室内に存在する塵や埃を床下に排出するためにグレーチングと呼ばれる開口のある床板が敷設されている。そのために、グレーチングのために床下の空間をダクトとして利用することができないため、特許文献１及び２に開示されている従来技術は、露光装置のようなクリーンルームに設置する装置に適用することはできない。
そこで本発明は、調整された気流を得るために有利な空調ダクトを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
その目的を達成するために、本発明の一側面としての空調ダクトは、チャンバ内の気流を調整するために前記チャンバの内壁に沿って構成された空調ダクトであって、正圧源又は負圧源である外部装置と接続する外部接続部を有する第１のダクトと、前記壁に沿って長手方向を有するように配置され、前記第１のダクトと接続する第１の開口部と、前記チャンバ内の空間と接続する第２の開口部とを有する複数の第２のダクトとを有し、前記複数の第２のダクトそれぞれは、前記第１の開口部の前記外部接続部からの距離に基づいて設定された最小の開口断面積を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、調整された気流を得るために有利な空調ダクトを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施例１のダクトを示した図である。
実施例１のダクトを上から示した図である。
実施例１の壁面ダクトを示した図である。
実施例１の壁面ダクトの詳細を示した部分拡大図である。
実施例２の壁面ダクトの詳細を示した図である。
実施例３の壁面ダクトの詳細を示した図である。
実施例４の壁面ダクトの詳細を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施例を詳しく説明する。なお、以下の実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施例には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。
【００１０】
更に、添付図面においては本実施例に係る装置を容易に理解できるようにするために実際とは異なる縮尺で描かれており、同一もしくは同様の構成については同一の参照番号を付し、重複した説明を省略する。また以下の説明では、露光装置（リソグラフィ装置）の装置空間の鉛直方向をＺ方向と定義し、Ｚ方向に垂直な２つの方向をＸ方向、Ｙ方向と定義する。
（【００１１】以降は省略されています）

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