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公開番号2025076537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-16
出願番号2023188082
出願日2023-11-02
発明の名称ウェーハの研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250509BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】研削加工を一時停止させチャックテーブルの傾きを変更することなく、ウェーハを所定の厚みに研削するウェーハの研削方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブル(10)の円錐状の保持面(32)に保持されたウェーハ(W)の上面の半径領域に環状の研削砥石(12)の下面を接触させ、円弧状の研削領域(K)によって回転するウェーハを回転する研削砥石で研削するウェーハの研削方法であって、研削砥石の下面とチャックテーブルの保持面とが研削領域において平行になっている状態から、研削領域の中間部分で研削砥石の下面に対してチャックテーブルの保持面を近づける方向に保持面の傾きを変更する傾き変更工程と、傾き変更工程の後、研削砥石の外側からウェーハの上面中央に所定の温度の冷却水(M)を供給しつつ、ウェーハを仕上げ厚みに研削する研削工程と、を行う。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
チャックテーブルの円錐状の保持面に保持されたウェーハの上面の半径領域に環状の研削砥石の下面を接触させ、円弧状の研削領域によって回転するウェーハを回転する研削砥石で研削するウェーハの研削方法であって、
前記研削砥石の下面と前記チャックテーブルの前記保持面とが前記研削領域において平行になっている状態から、前記研削領域の中間部分で前記研削砥石の下面に対して前記チャックテーブルの保持面を近づける方向に前記保持面の傾きを変更する傾き変更工程と、
前記傾き変更工程の後、前記研削砥石の外側から前記ウェーハの上面中央に所定の温度の冷却水を供給しつつ、前記ウェーハを仕上げ厚みに研削する研削工程と、
からなる、ウェーハの研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの研削方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、研削装置によってウェーハを研削する際に、研削砥石で研削したウェーハが均一な厚みになるように、研削加工を途中で停止させ、ウェーハの厚みを測定した後、チャックテーブルの傾きを調整して、予め設定した仕上げ厚みまで研削している。
【０００３】
研削装置は、研削ホイールの下面に研削砥石を環状に配置し、ウェーハを保持するチャックテーブルと研削ホイールとを相対的に回転させながら研削を行う。チャックテーブルは回転中心を頂点とする緩やかな円錐状であり、研削加工の際に、研削砥石がチャックテーブルの回転中心を通るように位置づけられる。そのため、ウェーハの中央部分以外は、チャックテーブルと研削ホイールとの相対的な回転に伴って、研削砥石に対して接触する領域が周方向（回転方向）に順次変化するのに対して、ウェーハの中央部分には、研削砥石が常に接触する状態になる。すると、ウェーハの中央部分が多く研削されて凹みを生じることがある。
【０００４】
その対策として、特許文献２に開示のように、研削したウェーハの中央部分に凹みが生じるのを防止するために、チャックテーブルの円錐状の保持面の中央を平坦にしている。保持面の中央を平坦にすることによって、ウェーハの中央部分に対する研削砥石の当接が緩和され、凹みの発生を防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１３－１１９１２３号公報
特開２０１９－１３０６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のように、ウェーハの研削を行う度に、研削加工を一時停止してからチャックテーブルの傾きを変更すると、研削加工に要する時間が長くなり製造効率が悪いという問題がある。
【０００７】
特許文献２のように、チャックテーブルにおいて中央を平坦にした保持面を形成する際には、円錐面を形成する研削加工と、円錐の中央に平坦面を形成する研削加工との２つの研削加工を行うため、途中でチャックテーブルの傾きを変更する必要があり、保持面形成に時間がかかるという問題がある。
【０００８】
したがって、研削加工を一時停止させチャックテーブルの傾きを変更することなくウェーハを所定の厚みに研削するウェーハの研削方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、チャックテーブルの円錐状の保持面に保持されたウェーハの上面の半径領域に環状の研削砥石の下面を接触させ、円弧状の研削領域によって回転するウェーハを回転する研削砥石で研削するウェーハの研削方法であって、前記研削砥石の下面と前記チャックテーブルの前記保持面とが前記研削領域において平行になっている状態から、前記研削領域の中間部分で前記研削砥石の下面に対して前記チャックテーブルの保持面を近づける方向に前記保持面の傾きを変更する傾き変更工程と、前記傾き変更工程の後、前記研削砥石の外側から前記ウェーハの上面中央に所定の温度の冷却水を供給しつつ、前記ウェーハを仕上げ厚みに研削する研削工程と、からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のウェーハの研削方法によれば、傾き変更工程による保持面と研削砥石との相対的な傾き関係の調整によって、ウェーハの上面中央が多く研削されることを防ぎ、さらにウェーハの上面中央に冷却水を供給することによってウェーハの上面中央の熱膨張を抑制し、ウェーハの中央部分に凹みを生じさせずにウェーハを所定の厚みに研削することができる。傾き変更工程によって保持面と研削砥石との相対的な傾き関係を設定した後は、研削加工を一時停止させずに研削工程を実行できるため、研削加工の時間が長くなることを防いで、効率的なウェーハの加工を実現できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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