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公開番号2025078930
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-21
出願番号2023191244
出願日2023-11-09
発明の名称静電チャック及び基板固定装置
出願人新光電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250514BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異物に帯電した電荷を容易に除去することができる静電チャック及び基板固定装置を提供する。
【解決手段】静電チャックは、第1面と、前記第1面とは反対の第2面と、を有する基体と、前記基体に内蔵された複数の第1電極及び複数の第2電極と、前記第1面から露出し、隣り合う前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた複数の第3電極と、を有し、前記第1電極と前記第2電極との間に生じる不均一電界により前記第1面に物体を吸着し、前記第1面に複数の突起が形成されており、前記第3電極は、前記突起からずれた位置に設けられている。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と、前記第１面とは反対の第２面と、を有する基体と、
前記基体に内蔵された複数の第１電極及び複数の第２電極と、
前記第１面から露出し、隣り合う前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた複数の第３電極と、
を有し、
前記第１電極と前記第２電極との間に生じる不均一電界により前記第１面に物体を吸着し、
前記第１面に複数の突起が形成されており、
前記第３電極は、前記突起からずれた位置に設けられている静電チャック。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記複数の突起の頂部は、一つの仮想平面内にあり、
前記第３電極の全体が前記仮想平面よりも前記第２面側にある請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記第３電極は、前記第１面から突出する突出部を有する請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記第３電極の全体が前記第１面よりも前記第２面側にあり、
前記第１面に、前記第３電極が露出する開口部が形成されている請求項１又は２に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記第１面に垂直な平面視で、隣り合う前記第３電極同士の間の距離は８０ｍｍ以下である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記複数の第３電極に接続され、接地可能な配線を有する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静電チャック。
【請求項７】
ベースプレートと、
前記ベースプレートに固定された静電チャックと、
を有し、
前記静電チャックは、
第１面と、前記第１面とは反対の第２面と、を有する基体と、
前記基体に内蔵された複数の第１電極及び複数の第２電極と、
前記第１面から露出し、隣り合う前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた複数の第３電極と、
を有し、
前記第１電極と前記第２電極との間に生じる不均一電界により前記第１面に物体を吸着し、
前記第１面に複数の突起が形成されており、
前記第３電極は、前記突起からずれた位置に設けられている基板固定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、静電チャック及び基板固定装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置を製造する際に使用される成膜装置やプラズマエッチング装置は、ウェハを真空の処理室内に精度良く保持するためのステージを有する。このようなステージとして、ベースプレートに固定された静電チャックによりクーロン力を用いてウェハを吸着保持する基板固定装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－２５１４１６号公報
特開２０２３－００６７６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
静電チャックには、繰り返しの使用により吸着面に異物が付着することがある。また、異物が帯電することもあり、異物が帯電すると、異物が静電チャック及びウェハの両方に吸着し、ウェハを静電チャックから取り外す際にウェハの位置ずれが生じ得る。このような位置ずれは、その後のウェハの搬送等に支障をきたすことがある。
【０００５】
本開示は、異物に帯電した電荷を容易に除去することができる静電チャック及び基板固定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一形態によれば、第１面と、前記第１面とは反対の第２面と、を有する基体と、前記基体に内蔵された複数の第１電極及び複数の第２電極と、前記第１面から露出し、隣り合う前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた複数の第３電極と、を有し、前記第１電極と前記第２電極との間に生じる不均一電界により前記第１面に物体を吸着し、前記第１面に複数の突起が形成されており、前記第３電極は、前記突起からずれた位置に設けられている静電チャックが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、異物に帯電した電荷を容易に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る基板固定装置を例示する平面図である。
第１実施形態に係る基板固定装置を例示する断面図である。
静電チャックの正極、負極、正極接続部及び負極接続部のレイアウトを例示する図である。
静電チャックの正極、負極及び接地電極のレイアウトを例示する図である。
第１実施形態に係る基板固定装置の静電チャックを例示する断面図である。
第１実施形態に係る基板固定装置の静電チャックの製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る基板固定装置の作用効果を例示する断面図である。
第２実施形態に係る基板固定装置の静電チャックを例示する断面図である。
第３実施形態に係る基板固定装置の静電チャックを例示する断面図である。
第４実施形態に係る基板固定装置の静電チャックを例示する断面図である。
静電チャックの正極、負極、正極接続部及び負極接続部のレイアウトの変形例を例示する図である。
実験の概要を例示する図である。
実験の結果を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示の実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省くことがある。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、第１実施形態について説明する。第１実施形態は基板固定装置に関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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