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公開番号2025080506
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193692
出願日2023-11-14
発明の名称倣い装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/52 20060101AFI20250519BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】動作の際に発生するパーティクルを低減できる倣い装置を提供する。
【解決手段】倣い装置100は、圧着ツール10と、圧着ツール10が取り付けられている揺動体20と、装置基台30と、回り止め機構と、を備える。回り止め機構は、回り止め部材51と、溝画定部54と、連通路と、吸着ポートと、を備える。溝画定部54は、回り止め部材51に設けられるとともに基台端面30aに向かって開口する溝部54aを画定し、且つ溝部54aの開口側において基台端面30aに接離するシール面を備える。連通路は、装置基台30に内部に形成されるとともに溝部54aに連通可能である。吸着用ポートは、連通路に連通する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
凹状球面及び凸状球面のうちいずれかである基台係合面を含む基台端面を備える装置基台と、
前記装置基台に対して揺動可能に取り付けられるとともに、前記基台係合面と係合する揺動体係合面、及び、前記揺動体係合面と異なる面である揺動体圧着面を端面とする揺動体と、
前記揺動体圧着面に取り付けられる圧着ツール揺動面を有するとともに、前記圧着ツール揺動面と異なる端面を圧着ツール当接面として有する圧着ツールと、
前記揺動体における前記揺動体圧着面と直交する第１軸の周りにおける前記揺動体の回動を規制する回り止め機構と、を有し、
前記回り止め機構は、
前記揺動体を前記第１軸の周りに囲むとともに、前記第１軸の延びる第１軸方向に往復動可能に前記装置基台に取り付けられる回り止め部材と、
前記揺動体の外周面に設けられるとともに、前記第１軸と直交する第２軸が延びる第２軸方向に配置される２つの突部と、
前記回り止め部材に設けられるとともに、前記２つの突部の各々と係合する２つの凹状部と、を有し、
前記回り止め機構によって前記揺動体の回動を規制しつつ、前記揺動体を揺動させることにより、前記圧着ツール当接面を基準面に対して平行に調整する倣い装置であって、
前記回り止め機構は、
前記回り止め部材に設けられるとともに前記基台端面に向かって開口する溝部を画定し、且つ前記溝部の開口側において前記基台端面に接離するシール面を備える溝画定部と、
前記装置基台の内部に形成されるとともに前記溝部に連通可能な連通路と、
前記連通路に連通する吸着用ポートと、を備えることを特徴とする倣い装置。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記回り止め部材は、
前記基台端面と対面し、且つ、前記第１軸と直交する方向に延びるフランジ部と、
前記フランジ部に形成され、前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸が延びる第３軸方向に延び、かつ前記第１軸方向に貫通している複数の取付孔と、を有し、
前記回り止め部材は、前記取付孔の各々に挿通され、且つ前記基台端面に固定される複数の取付ピンに支持されていることを特徴とする請求項１に記載の倣い装置。
【請求項３】
前記シール面と前記基台端面との間は、前記シール面と前記基台端面とのメタルタッチシールによりシールされることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の倣い装置。
【請求項４】
前記溝部は、前記複数の取付孔の各々に隣接する部分において前記第１軸と直交する方向に拡幅する溝拡大部を有するとともに、当該溝拡大部は、前記連通路のうち前記基台端面側に形成される開口部と前記第１軸方向に並ぶことを特徴とする請求項２に記載の倣い装置。
【請求項５】
前記複数の取付孔は、２つであり、
前記複数の取付ピンは、２つであり、
前記基台端面は、前記第１軸の延びる方向から見て四角形状であり、
前記２つの取付ピンの各々は、前記基台端面の４つの隅のうち、前記基台端面の対角方向に位置する２つの隅に固定されることを特徴とする請求項２に記載の倣い装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、倣い装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、倣い装置は、半導体チップをダイ・ボンディング装置のリードフレーム上に搬送するチップマウンタなどに用いられる。倣い装置は、凹状半球面を有する基台と、凸状半球面を有する揺動体としての可動部材とを備えている。倣い装置は、揺動体が倣う対象である対象物の基準面に対して、可動部材の面を当接させる。倣い装置は、基準面に対する可動部材の面の当接により、対象物に沿って可動部材を回動させるとともに、可動部材と対象物とを平行にする。つまり、倣い装置は、可動部材の面と対象物とを倣わせる動作を行う。当該動作において、可動部材は、同一平面において互いに直交するＸ軸及びＹ軸を中心に回動する。
【０００３】
また、倣い装置は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交するＺ軸周りに可動部材が回動することを回り止め装置によって規制している（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示された回り止め装置は、可動部材及びサイドプレートに設けられた回動規制ピンと、回り止めリングに設けられたピン挿入溝と、を備える。回動規制ピンは、ピン挿入溝に係合されている。また、特許文献１に開示された回り止め装置において、回り止めリングは、押さえ部材によって支持されるとともに、基台に装着された可動部材と押さえ部材との間に介在している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第４７１３９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
倣い装置は、対象物を搬送する際に、可動部材と押さえ部材との間での回り止めリングの移動により、基台と回り止めリングとが摺接して、パーティクルを発生させる虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するための倣い装置は、凹状球面及び凸状球面のうちいずれかである基台係合面を含む基台端面を備える装置基台と、前記装置基台に対して揺動可能に取り付けられるとともに、前記基台係合面と係合する揺動体係合面、及び、前記揺動体係合面と異なる面である揺動体圧着面を端面とする揺動体と、前記揺動体圧着面に取り付けられる圧着ツール揺動面を有するとともに、前記圧着ツール揺動面と異なる端面を圧着ツール当接面として有する圧着ツールと、前記揺動体における前記揺動体圧着面と直交する第１軸の周りにおける前記揺動体の回動を規制する回り止め機構と、を有し、前記回り止め機構は、前記揺動体を前記第１軸の周りに囲むとともに、前記第１軸の延びる第１軸方向に往復動可能に前記装置基台に取り付けられる回り止め部材と、前記揺動体の外周面に設けられるとともに、前記第１軸と直交する第２軸が延びる第２軸方向に配置される２つの突部と、前記回り止め部材に設けられるとともに、前記２つの突部の各々と係合する２つの凹状部と、を有し、前記回り止め機構によって前記揺動体の回動を規制しつつ、前記揺動体を揺動させることにより、前記圧着ツール当接面を基準面に対して平行に調整する倣い装置であって、前記回り止め機構は、前記回り止め部材に設けられるとともに前記基台端面に向かって開口する溝部を画定し、且つ前記溝部の開口側において前記基台端面に接離するシール面を備える溝画定部と、前記装置基台の内部に形成されるとともに前記溝部に連通可能な連通路と、前記連通路に連通する吸着用ポートと、を備えることを要旨とする。
【０００７】
上記倣い装置において、前記回り止め部材は、前記基台端面と対面し、且つ、前記第１軸と直交する方向に延びるフランジ部と、前記フランジ部に形成され、前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸が延びる第３軸方向に延び、かつ前記第１軸方向に貫通している複数の取付孔と、を有し、前記回り止め部材は、前記取付孔の各々に挿通され、且つ前記基台端面に固定される複数の取付ピンに支持されてもよい。
【０００８】
上記倣い装置において、前記シール面と前記基台端面との間は、前記シール面と前記基台端面とのメタルタッチシールによりシールされてもよい。
上記倣い装置において、前記溝部は、前記複数の取付孔の各々に隣接する部分において前記第１軸と直交する方向に拡幅する溝拡大部を有するとともに、当該溝拡大部は、前記連通路のうち前記基台端面側に形成される開口部と前記第１軸方向に並んでいてもよい。
【０００９】
上記倣い装置において、前記複数の取付孔は、２つであり、前記複数の取付ピンは、２つであり、前記基台端面は、前記第１軸の延びる方向から見て四角形状であり、前記２つの取付ピンの各々は、前記基台端面の４つの隅のうち、前記基台端面の対角方向に位置する２つの隅に固定されてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、倣い装置の動作において発生するパーティクルを低減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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