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公開番号2025103843
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221502
出願日2023-12-27
発明の名称弾性波デバイス、フィルタ、及びマルチプレクサ
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類H03H 9/17 20060101AFI20250702BHJP(基本電子回路)
要約【課題】圧電膜へのクラックを低減した電子部品を提供すること。
【解決手段】弾性波デバイス100は、基板10と、前記基板10上に、前記基板10との間に空隙30を挟んで設けられた下部電極12と、前記下部電極12上に設けられた圧電膜14と、前記圧電膜14上に設けられ、前記空隙30上において前記圧電膜14を挟み前記下部電極12と対向する共振領域50を形成する上部電極16と、前記圧電膜14が接触した側面を前記下部電極12の先端13の周りに有する周囲部20と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に、前記基板との間に空隙を挟んで設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられ、前記空隙上において前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する共振領域を形成する上部電極と、
前記圧電膜が接触した側面を前記下部電極の先端の周りに有する周囲部と、を備える弾性波デバイス。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記下部電極の先端と前記周囲部の最短距離は、前記下部電極の厚さの２倍以下である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記圧電膜は、前記下部電極の先端と前記周囲部の間において前記空隙に接触している、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記側面はテーパ状であり、前記側面と前記基板とのなす角は４５°以上８０°以下である、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記下部電極の先端面はテーパ状であり、前記下部電極の前記先端面と前記下部電極の前記基板側の面とのなす角は３０°以上８０°以下である、請求項４に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記空隙は、前記基板からの前記空隙の高さが前記空隙の周辺部よりも中心部ほど高い断面視においてアーチ形状を有する、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記周囲部は、絶縁材料からなり、前記共振領域の外周すべてに設けられ、
前記圧電膜は、前記周囲部の内側の領域に設けられ、
前記下部電極は、前記内側の領域から前記周囲部の前記基板とは反対側の面に引き出される、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記周囲部は、金属材料を含む第１部分と、前記第１部分と電気的に絶縁された金属材料を含む第２部分と、を有し、
前記圧電膜は、前記第１部分と前記第２部分の内側の領域に設けられ、
前記下部電極は、前記内側の領域にのみ設けられ、前記第１部分の側面に接触し、
前記上部電極は、前記第２部分の前記基板とは反対側の面に接触する、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項９】
請求項１または２に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
【請求項１０】
請求項９に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波デバイス、フィルタ、及びマルチプレクサに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯端末等の無線端末の高周波回路用のフィルタ及びデュプレクサに圧電薄膜共振器が用いられる。圧電薄膜共振器の１つとしてＦＢＡＲ（Film Bulk Acoustic Resonator）が知られている。ＦＢＡＲは、基板上に下部電極と圧電膜と上部電極を有し、圧電膜を挟み下部電極と上部電極が対向する共振領域において、基板と下部電極との間に空隙が形成される。圧電膜の品質劣化を抑制するために、共振領域の周辺部における下部電極上に付加膜を設けた圧電薄膜共振器が知られている（例えば特許文献１）。圧電膜のクラックの発生を抑制するために、下部電極の先端部を空隙上に位置させ、下部電極の先端部と基板との間に位置する圧電膜を下部電極の空隙側の面と連続的に連なるようすることや（例えば特許文献２）、更に、基板と圧電膜との間に下部電極側の端が空隙の内側に位置し、反対側の端が空隙の外側に位置する付加膜を設けることが知られている（例えば特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－９１６３９号公報
特開２０１９－１５３８５８号公報
特開２０２０－５７９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電膜のクラックの発生を抑制する点において改善の余地が残されている。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、圧電膜のクラックの発生を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、基板と、前記基板上に、前記基板との間に空隙を挟んで設けられた下部電極と、前記下部電極上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜上に設けられ、前記空隙上において前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する共振領域を形成する上部電極と、前記圧電膜が接触した側面を前記下部電極の先端の周りに有する周囲部と、を備える弾性波デバイスである。
【０００７】
上記構成において、前記下部電極の先端と前記周囲部の最短距離は、前記下部電極の厚さの２倍以下である構成とすることができる。
【０００８】
上記構成において、前記圧電膜は、前記下部電極の先端と前記周囲部の間において前記空隙に接触している構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記側面はテーパ状であり、前記側面と前記基板とのなす角は４５°以上８０°以下である構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記下部電極の先端面はテーパ状であり、前記下部電極の前記先端面と前記下部電極の前記基板側の面とのなす角は３０°以上８０°以下である構成とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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