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公開番号2025119893
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024014995
出願日2024-02-02
発明の名称センサ装置、調整方法及び調整装置
出願人横河電機株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01L 1/10 20060101AFI20250807BHJP(測定;試験)
要約【課題】発振安定度を向上させる。
【解決手段】センサ装置は、振動子と、可変電圧源と、を備え、可変電圧源は、振動子に電圧を供給する第1の可変電圧源、及び、振動子の振動を維持するための回路に電圧を供給する第2の可変電圧源の少なくとも一方を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
振動子と、
可変電圧源と、
を備え、
前記可変電圧源は、前記振動子に電圧を供給する第１の可変電圧源、及び、前記振動子の振動を維持するための回路に電圧を供給する第２の可変電圧源の少なくとも一方を含む、
センサ装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
電圧値を記憶する記憶装置を備え、
前記可変電圧源は、前記記憶装置に記憶された電圧値の電圧を供給する、
請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記電圧値は、前記振動子の振動に対応する発振周波数の安定度の評価結果に基づいて設定された電圧値である、
請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記安定度は、前記発振周波数の分散、前記発振周波数の変化幅、及び、前記発振周波数の標準偏差の少なくとも１つを含む、
請求項３に記載のセンサ装置。
【請求項５】
前記分散は、アラン分散を含む、
請求項４に記載のセンサ装置。
【請求項６】
前記発振周波数を計測する計測回路と、
前記計測回路の計測結果に基づいて、前記発振周波数の安定度を評価する評価回路と、
を備える、
請求項５に記載のセンサ装置。
【請求項７】
前記回路は、積分回路を含み、
前記積分回路は、
前記振動子の振動に対応する発振周波数を有する電気信号の振幅値を示す電圧信号が入力される一方の入力端子と、
前記第２の可変電圧源からの電圧が入力される他方の入力端子と、
前記一方の入力端子の電圧及び前記他方の入力端子の電圧の差分に応じた電圧を出力する出力端子と、
を含む、
請求項１～６のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項８】
前記振動子に対して設けられ、前記振動子の振動に対応する発振周波数を有する電流信号を出力する出力電極と、
前記出力電極からの前記電流信号を前記電圧信号に変換する変換回路と、
前記変換回路からの前記電圧信号の振幅値を示す検出電圧信号を出力する検出回路と、
を備え、
前記積分回路の前記一方の入力端子には、前記検出回路からの前記検出電圧信号が入力される、
請求項７に記載のセンサ装置。
【請求項９】
前記積分回路の前記出力端子からの電圧に基づいて設定された減衰率で、前記変換回路からの前記電圧信号を減衰させる減衰回路と、
前記振動子を挟んで前記出力電極とは反対側に設けられ、前記減衰回路による減衰後の前記電圧信号が入力される入力電極と、
を備える、
請求項８に記載のセンサ装置。
【請求項１０】
前記可変電圧源は、前記第１の可変電圧源及び前記第２の可変電圧源の両方を含む、
請求項１～５のいずれか１項に記載のセンサ装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、センサ装置、調整方法及び調整装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１は、振動子を含むセンサと、その振動子を自励発振させるための回路とを備えるセンサ装置を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１５８５５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
センサの重要な性能の１つは、発振安定度である。設計が同じであっても、個体バラツキに起因して発振安定度が低下し得る。
【０００５】
本開示の一側面は、発振安定度を向上させる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面に係るセンサ装置は、振動子と、可変電圧源と、を備え、可変電圧源は、振動子に電圧を供給する第１の可変電圧源、及び、振動子の振動を維持するための回路に電圧を供給する第２の可変電圧源の少なくとも一方を含む。
【０００７】
本開示の一側面に係る調整方法は、振動子の振動に対応する発振周波数を計測することと、計測することでの計測結果に基づいて、発振周波数の安定度を評価することと、評価することでの評価結果に基づいて、可変電圧源の電圧値を調整することと、を含み、可変電圧源は、振動子に電圧を供給する第１可変電圧源、及び、振動子の振動を維持するための回路に電圧を供給する第２の可変電圧源の少なくとも一方を含む。
【０００８】
本開示の一側面に係る調整装置は、振動子及び可変電圧源を含むセンサ装置を調整するための調整装置であって、振動子の振動に対応する発振周波数を計測する計測装置と、計測装置の計測結果に基づいて、発振周波数の安定度を評価する評価装置と、を備え、調整装置は、評価装置の評価結果に基づいて、可変電圧源の電圧値を調整し、可変電圧源は、振動子に電圧を供給する第１可変電圧源、及び、振動子の振動を維持するための回路に電圧を供給する第２の可変電圧源の少なくとも一方を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、発振安定度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
センサ装置１の概略構成の例を示す図である。
センサ装置１の概略構成の例を示す図である。
発振周波数ｆの計測及び安定度の評価の例を示す図である。
動作点調整のために実行される処理（調整方法）の例を示すフローチャートである。
調整装置７の概略構成の例を示す図である。
調整装置７の概略構成の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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