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公開番号2025080401
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193511
出願日2023-11-14
発明の名称測定装置および測定治具
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01B 5/06 20060101AFI20250519BHJP(測定;試験)
要約【課題】膜厚の測定精度を向上することができる測定装置および測定治具を提供すること。
【解決手段】本発明に係る測定装置は、膜厚を測定するプローブと、プローブに取り付けられる測定治具と、を備える測定システムであって、測定治具は、角柱状をなし、膜厚の測定面に載置される基部と、基部に立設され、プローブの進退動作を案内する筒状の案内部と、を有し、測定治具には、基部および案内部を貫通する貫通孔が形成され、案内部は、プローブの進退方向に伸縮するばね部と、プローブに係止するとともに、ばね部によって、プローブが測定面から離れる側に向かう荷重が加えられるばね座と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
膜厚を測定するプローブと、
前記プローブに取り付けられる測定治具と、
を備える測定装置であって、
前記測定治具は、
前記膜厚の測定面に載置される基部と、
前記基部に立設され、前記プローブの進退動作を案内する筒状の案内部と、
を有し、
前記測定治具には、前記基部および前記案内部を貫通する貫通孔が形成され、
前記案内部は、
前記プローブの進退方向に伸縮するばね部と、
前記プローブに係止するとともに、前記ばね部によって、前記プローブが測定面から離れる側に向かう荷重が加えられるばね座と、
を有することを特徴とする測定装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記基部は、前記プローブの進退方向に対して直交する方向に延びる、
ことを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記測定治具は、自然状態における前記プローブの先端から、前記基部の前記測定面に対向する側の面までの距離は、測定対象との間における磁束密度の変化態様に応じて設定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
膜厚を測定するプローブに取り付けられる測定治具であって、
角柱状をなし、前記膜厚の測定面に載置される基部と、
前記基部に立設され、前記プローブの進退動作を案内する筒状の案内部と、
を備え、
前記基部および前記案内部を貫通する貫通孔が形成され、
前記案内部は、
前記プローブの案内方向に伸縮するばね部と、
前記ばね部によって、前記基部側とは反対方向に向かう荷重が加えられるばね座と、
を有することを特徴とする測定治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置および測定治具に関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えば金属を用いた製品では、製品表面に施されている塗装やめっき等の表面処理膜の厚さが測定される。この測定では、製品を穿孔する等の必要がない測定が望まれている。非侵襲測定するための測定装置として、センサによって測定対象との間のインピーダンスの変化や、高周波電流の電流値の変化、高周波電流の位相の変化を測定し、渦電流損失の大きさと、測定対象およびセンサの間の距離とに基づいて、非接触で膜厚を測定できる技術が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－３４３２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のような非接触の測定装置は、測定面における変化を正確に読み取るため、センサを測定面に対してすばやく押し当てることが求められる。この際、例えば、測定面に対するセンサの進入角度によって読み取る電圧変化の値が変わる。このため、繰り返しの測定による精度が低かったり、測定者による誤差が大きくなったりする場合があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、膜厚の測定精度を向上することができる測定装置および測定治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る測定装置は、膜厚を測定するプローブと、前記プローブに取り付けられる測定治具と、を備える測定装置であって、前記測定治具は、前記膜厚の測定面に載置される基部と、前記基部に立設され、前記プローブの進退動作を案内する筒状の案内部と、を有し、前記測定治具には、前記基部および前記案内部を貫通する貫通孔が形成され、前記案内部は、前記プローブの進退方向に伸縮するばね部と、前記プローブに係止するとともに、前記ばね部によって、前記プローブが測定面から離れる側に向かう荷重が加えられるばね座と、を有することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る測定装置は、上記発明において、前記基部は、前記プローブの進退方向に対して直交する方向に延びる、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る測定装置は、上記発明において、前記測定治具は、自然状態における前記プローブの先端から、前記基部の前記測定面に対向する側の面までの距離は、測定対象との間における磁束密度の変化態様に応じて設定される、ことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る測定治具は、膜厚を測定するプローブに取り付けられる測定治具であって、角柱状をなし、前記膜厚の測定面に載置される基部と、前記基部に立設され、前記プローブの進退動作を案内する筒状の案内部と、を備え、前記基部および前記案内部を貫通する貫通孔が形成され、前記案内部は、前記プローブの案内方向に伸縮するばね部と、前記ばね部によって、前記基部側とは反対方向に向かう荷重が加えられるばね座と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、膜厚の測定精度を向上することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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