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公開番号2025082655
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-29
出願番号2023196135
出願日2023-11-17
発明の名称ウエハ保持台
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250522BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハをより効率的に冷却できるウエハ保持台を提供する。
【解決手段】ウエハが載置される上面を有するプレートを備え、前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒が流される冷媒流路を備え、前記冷媒流路は、前記冷媒が導入される入口と、前記冷媒が排出される出口と、前記入口と前記出口との間をつなぐ並列流路を有し、前記並列流路は、前記上面に平行な面内に並列に配置された複数の流路を有する、ウエハ保持台。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハが載置される上面を有するプレートを備え、
前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒が流される冷媒流路を備え、
前記冷媒流路は、前記冷媒が導入される入口と、前記冷媒が排出される出口と、前記入口と前記出口との間をつなぐ並列流路を有し、
前記並列流路は、前記上面に平行な面内に並列に配置された複数の流路を有する、
ウエハ保持台。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
仮想の冷媒流路の水力直径を１とした場合、前記仮想の冷媒流路の水力直径に対する前記並列流路の水力直径の比が０．２以上であり、
前記仮想の冷媒流路は、前記並列流路の全体を包含する断面と等価な断面を有する、請求項１に記載のウエハ保持台。
【請求項３】
前記複数の流路の数が２以上である、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項４】
前記プレートは、前記冷媒流路の前記入口に接続される第一パイプを有し、
前記第一パイプの内周面の上面と前記並列流路の上面とが面一、または、前記並列流路の上面が前記第一パイプの内周面の上面よりも低い、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項５】
前記プレートは、前記冷媒流路の前記入口に接続される第一パイプを有し、
前記並列流路の断面積が、前記第一パイプの内側の断面積以上である、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項６】
前記複数の流路のうちの少なくとも１つの流路の断面は矩形状であり、
前記断面の上部の角が曲面に形成されている、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項７】
前記複数の流路のうちの少なくとも１つの流路の上面は凸部と凹部の少なくとも一方を有し、
前記凸部は、前記上面を構成する内壁が前記流路の内側に向かって凸となる形状であり、
前記凹部は、前記上面を構成する内壁が前記流路の外側に向かって凹となる形状である、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項８】
前記プレートの下部に設けられた支持体を備え、
前記支持体は、セラミックス製またはセラミックスの複合体製の円板であり、
前記プレートと前記支持体とを真空吸着する吸着機構を備える、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ウエハ保持台に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウエハ保持台を開示する。ウエハ保持台は、例えばプローバに用いられる。プローバは、複数の回路が形成された半導体のウエハを個々のチップに切断する前に、各チップの電気性能を測定する検査装置である。特許文献１に開示されるウエハ保持台は、金属製の円板である基体を備える。この基体は、ウエハが載せられる上面と基体の内部に設けられた冷媒の流路とを有する。この流路に冷媒が流れることで、基体の上面に載置されたウエハが冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－９２２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のウエハ保持台は、流路の断面の形状および寸法を特定の範囲とすることにより、ウエハを効率的に冷却するものである。検査工程に要する時間の短縮などを考慮すると、より一層効率的なウエハの冷却が望まれる。
【０００５】
本開示の目的の一つは、ウエハをより効率的に冷却できるウエハ保持台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のウエハ保持台は、ウエハが載置される上面を有するプレートを備える。前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒が流される冷媒流路を備える。前記冷媒流路は、前記冷媒が導入される入口と、前記冷媒が排出される出口と、前記入口と前記出口との間をつなぐ並列流路を有する。前記並列流路は、前記上面に平行な面内に並列に配置された複数の流路を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示のウエハ保持台は、ウエハをより効率的に冷却できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態１に係るウエハ保持台の構成を示す断面模式図である。
図２は、実施形態１に係るウエハ保持台に備えるプレートの冷媒流路を示す断面模式図である。
図３は、実施形態１に係るウエハ保持台に備えるプレートの冷媒流路の並列流路の断面を拡大して示す断面模式図である。
図４は、実施形態１に係るウエハ保持台に備えるプレートの冷媒流路の入口を拡大して示す斜視模式図である。
図５は、並列流路の別の一例を示す断面模式図である。
図６は、並列流路の別の一例を示す斜視模式図である。
図７は、並列流路を構成する流路の別の一例を示す断面模式図である。
図８は、並列流路を構成する流路の別の一例を示す断面模式図である。
図９は、並列流路を構成する流路の別の一例を示す断面模式図である。
図１０は、冷媒流路の入口の断面を拡大して示す断面模式図である。
図１１は、試験例１における試算モデルおよび実測モデルの接液面積比と発熱体の温度差との関係をグラフで示した図である。
図１２は、試験例２における試算モデルおよび実測モデルの水力直径比と単位長さあたりの圧力損失との関係をグラフで示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
【００１０】
（１）本開示のウエハ保持台は、ウエハが載置される上面を有するプレートを備える。前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒が流される冷媒流路を備える。前記冷媒流路は、前記冷媒が導入される入口と、前記冷媒が排出される出口と、前記入口と前記出口との間をつなぐ並列流路を有する。前記並列流路は、前記上面に平行な面内に並列に配置された複数の流路を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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