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公開番号2025104419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2023222199
出願日2023-12-28
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250703BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持装置において、板状部とベース部とを接合する接合部のプラズマによる腐食を抑制する他の技術を提供する
【解決手段】保持装置は、板状に形成される板状部と、板状部を支持し、板状に形成されるベース部と、板状部とベース部との間に配置され、板状部とベース部とを接合する樹脂接着剤から成る接合部と、接合部の外周面の少なくとも一部を被覆する保護部材と、を備え、保護部材は、パーフルオロポリエーテルの骨格を有し、樹脂接着剤と同種の樹脂成分を含むマトリックス樹脂を含有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する保持装置であって、
板状に形成される板状部と、
前記板状部を支持し、板状に形成されるベース部と、
前記板状部と前記ベース部との間に配置され、前記板状部と前記ベース部とを接合する樹脂接着剤から成る接合部と、
前記接合部の外周面の少なくとも一部を被覆する保護部材と、
を備え、
前記保護部材は、
パーフルオロポリエーテルの骨格を有し、前記樹脂接着剤と同種の樹脂成分を含むマトリックス樹脂を含有することを特徴とする、
保持装置。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持装置であって、
前記樹脂接着剤の線熱膨張係数に対する前記保護部材の線熱膨張率の比は、０．１以上２以下であることを特徴とする、
保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載の保持装置であって、
前記保護部材は、
前記板状部および前記ベース部と、それぞれ、化学的に結合していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項４】
請求項３に記載の保持装置であって、
前記保護部材は、さらに、
前記接合部と、化学的に結合していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項５】
請求項１に記載の保持装置であって、
前記保護部材の外周に設けられるシール部材を有し、
前記保護部材と前記シール部材とが密着していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の保持装置であって、
さらに、
前記接合部を貫通する貫通孔と、
パーフルオロポリエーテルの骨格を有し、前記樹脂接着剤と同種の樹脂成分を含むマトリックス樹脂を含有し、前記貫通孔の内周の少なくとも一部に形成される貫通孔保護部材と、
を備えることを特徴とする、
保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、対象物を保持する保持装置として、例えば、半導体を製造する際にウェハ等の対象物を保持する静電チャックが知られている。静電チャックは、一般に、対象物が載置される板状部と、板状部を支持し、板状に形成されるベース部と、板状部とベース部との間に配置され、板状部とベース部とを接合する接合部とを備える。接合部の材質として、シリコーン樹脂や、シリコーン樹脂に酸化アルミニウムまたは窒化アルミニウム等の熱伝導性フィラーを添加した複合樹脂等からなる接着剤を用いる場合がある。
【０００３】
このような保持装置において、半導体製造工程におけるプラズマによる成膜やエッチング等に使用される各種の反応ガスに繰り返し曝されると、接合部の側面がプラズマにより浸食され、パーティクルを発生させる恐れがあった。このような問題に対し、例えば、特許文献１には接着層の周辺部に凹部を形成し、凹部内にその壁面を押圧するように環状のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の保護部材を配置する技術が提案されている。特許文献２には、接合部において、リフトピン穴やガス供給穴の一部として用いられる貫通孔の内周面に、アルミナ焼結体製のリング状の第１接合層を設けることにより、プラズマによる接合層の腐食を抑制する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第４４５８９９５号公報
特許第６４７０８７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２に記載の技術では、環状の保護部材と接合部との間に隙間が生じ、環状の保護部材があってもなお、接合部が腐食されるおそれがある。なお、これらの課題は、静電チャックに限定されず、プラズマによるエッチング装置等の半導体製造装置等、種々の保持装置に共通する課題である。
【０００６】
本開示は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、保持装置において、板状部とベース部とを接合する接合部のプラズマによる腐食を抑制する他の技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示は、以下の形態として実現することが可能である。
（１）本開示の一形態によれば、対象物を保持する保持装置が提供される。この保持装置は、板状に形成される板状部と、前記板状部を支持し、板状に形成されるベース部と、前記板状部と前記ベース部との間に配置され、前記板状部と前記ベース部とを接合する樹脂接着剤から成る接合部と、前記接合部の外周面の少なくとも一部を被覆する保護部材と、を備え、前記保護部材は、パーフルオロポリエーテルの骨格を有し、前記樹脂接着剤と同種の樹脂成分を含むマトリックス樹脂を含有する。
【０００８】
この形態の保持装置によれば、保護部材が、プラズマにより腐食されにくいパーフルオロポリエーテル（以下、ＰＦＰＥとも記す）の骨格を有するマトリックス樹脂を含有するため、保護部材がプラズマにより腐食されにくい。そのため、この形態の保持装置によれば、接合部のプラズマによる浸食が抑制され、保持装置がプラズマに晒された場合にも、パーティクルの発生を抑制することができる。
【０００９】
さらに、この形態の保持装置において、保護部材が含有するマトリックス樹脂は、接合部を形成する樹脂接着剤と同種の樹脂成分を含むため、接合部と保護部材との線熱膨張係数を近づけることができ、接合部および保護部材の熱膨張、熱収縮に伴う剥離、亀裂等を抑制することができる。
【００１０】
（２）上記形態の保持装置であって、前記樹脂接着剤の線熱膨張係数に対する前記保護部材の線熱膨張率の比は、０．１以上２以下であってもよい。このようにすると、保護部材の熱膨張、熱収縮に伴う剥離、亀裂等をより抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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