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公開番号2025112084
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-31
出願番号2024006162
出願日2024-01-18
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250724BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持装置における絶縁性能を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】保持面11と、下面12と、ヒータ電極70と、ヒータ電極70に接続されるドライバー電極80と、ガス孔16や温度センサ孔15と、電極パッド62と、を備え、保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、ドライバー電極80は、面方向に隣接して配置される一対の正極側電極80aと負極側電極80bを有し、面方向において、正極側電極80aと負極側電極80bとの間に、ガス孔16や温度センサ孔15又は電極パッド62の少なくとも一方が配置されており、正極側電極80a及び負極側電極80bのそれぞれは、ガス孔16や温度センサ孔15又は電極パッド62を避けるように、ガス孔16や温度センサ孔15又は電極パッド62に沿って電極側に凹んだ円弧状凹部81を備え、円弧状凹部81の両端81eが、R形状に形成されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるヒータ電極と、前記ヒータ電極に接続されるドライバー電極と、前記第２の面に開口して前記厚み方向に形成された孔と、外部電源に電気的に接続される電極パッドと、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ドライバー電極は、面方向に隣接して配置される一対の正極側電極と負極側電極を有し、
前記面方向において、前記正極側電極と前記負極側電極との間に、前記孔又は前記電極パッドの少なくとも一方が配置されており、
前記正極側電極及び前記負極側電極のそれぞれは、前記孔又は前記電極パッドを避けるように前記孔又は前記電極パッドに沿って電極側に凹んだ円弧状凹部を備え、
前記円弧状凹部の両端が、Ｒ形状に形成されている
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記正極側電極及び前記負極側電極のそれぞれは、前記厚み方向視にて、半円状又は扇状の形状をなしており、円弧又は中心角の少なくとも一方を備え、
前記円弧の両端及び前記中心角の頂部がＲ形状に形成されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、
静電引力を発生させるチャック電極を備え、
前記電極パッドは、前記チャック電極に電気的に接続されているものである
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、半導体ウエハを保持するために、静電チャック（保持部材）が使用されている。このような静電チャックとして、例えば特許文献１に記載されているように、吸着面（保持面）に対象物を保持するセラミックス部材（板状部材）を有し、セラミックス部材の内部にヒータ電極に接続されるドライバー電極を備えているものがある。そして、このような電極は、メタライズペースト（導電性インク）を用いてスクリーン印刷により形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１２５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の静電チャックでは、ドライバー電極を形成する際に、スクリーンマスクからの導電性インクの抜け落ちが悪くなると、その部分で導電性インクの角立ちが生じてしまうおそれがある。例えば、スクリーンマスクにおける開孔口の面積が小さい部分（例えば角部など）において、スクリーンマスクの版離れ時に表面張力が大きくなるため、導電性インクの抜け落ちが悪くなる。
【０００５】
そして、導電性インクの角立ちが生じると、角立ち部分の導電性インクが意図していない部分（設計形状とは異なる部分）へはみ出してしまい、マスクパターン通りの形状にドライバー電極を作成することができなくなる。また、角立ち部分の導電性インクが意図していない部分へはみ出すことなくそのままの形状を維持した場合には、その部分でセラミックスグリーンシートが盛り上がるために、焼成後のセラミックス部材内に空間が形成されてしまう。このような事象が生じてしまうと、静電チャックにおける絶縁性能が低下する。また、近年、静電チャックに対して高電圧が印加される（ハイパワーで使用されるため）ことが増えており、静電チャックに対して、より高い絶縁性能が要求されている。
【０００６】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持装置における絶縁性能を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるヒータ電極と、前記ヒータ電極に接続されるドライバー電極と、前記第２の面に開口して前記厚み方向に形成された孔と、外部電源に電気的に接続される電極パッドと、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ドライバー電極は、面方向に隣接して配置される一対の正極側電極と負極側電極を有し、
前記面方向において、前記正極側電極と前記負極側電極との間に、前記孔又は前記電極パッドの少なくとも一方が配置されており、
前記正極側電極及び前記負極側電極のそれぞれは、前記孔又は前記電極パッドを避けるように前記孔又は前記電極パッドに沿って電極側に凹んだ円弧状凹部を備え、
前記円弧状凹部の両端が、Ｒ形状に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
この保持装置では、ドライバー電極として、面方向に隣接して配置される一対の正極側電極と負極側電極を有しており、面方向において、正極側電極と負極側電極との間に、孔又は電極パッドの少なくとも一方が配置されている。そして、正極側電極及び負極側電極のそれぞれが、孔又は電極パッドを避けるように孔又は電極パッドに沿って電極側に凹んだ円弧状凹部を備えており、その円弧状凹部の両端が、Ｒ形状に形成されている。
【０００９】
このようにドライバー電極の円弧状凹部の両端（エッジ部）をＲ形状にすることにより、この部分に対応するスクリーンマスクにおける開孔口（面積）が大きくなるため、スクリーン印刷によってドライバー電極を製作する際、この部分においてスクリーンマスクから導電性インクが抜け落ちやすくすることができる。そのため、導電性インクの角立ちの発生を抑制することができる。
【００１０】
これにより、孔や電極パッド側への導電性インクのはみ出しを抑制することができるので、マスクパターンの形状（設計形状）にドライバー電極を製作することができる。従って、ドライバー電極と保持装置に形成される孔や電極パッドとの距離(絶縁距離）が設計値より小さくなることを防ぐことができるため、保持装置における絶縁性能を向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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