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公開番号2025126472
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-29
出願番号2024022671
出願日2024-02-19
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250822BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明によれば、互いに深さが異なり、加工精度に優れる複数の横流路部を有する保持基板を備える保持装置の提供。
【解決手段】本発明の保持装置100は、第1表面S1、第2表面S2を含む板状部材11と、第1表面S1側に開口したガス流出口12b、及び第2表面S2側に開口したガス流入口12aを含み、板状部材11の内部に形成されるガス流路12とを有する保持基板10を備える。ガス流路12は、第1表面S1に対して平行に延びた第1横流路部131と、第2横流路部132とを有し、第1横流路部131及び第2横流路部132を、それぞれ保持基板10の厚み方向に切断した切断面110において、第1横流路部131の深さD1は、第2横流路部132の深さD2よりも深く、第1横流路部131の底面131aは、第2表面S2側に膨らむような円弧状又は楕円弧状をなし、第2横流路部132の底面132aは、直線状をなす。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１表面、前記第１表面の反対側に配される第２表面を含む板状部材と、前記第１表面側に開口したガス流出口、及び前記第２表面側に開口したガス流入口を含み、前記板状部材の内部に形成されるガス流路とを有する保持基板を備える保持装置であって、
前記ガス流路は、前記第１表面に対して平行に延びた第１横流路部と、第２横流路部とを有し、
前記第１横流路部及び前記第２横流路部を、それぞれ前記保持基板の厚み方向に切断した切断面において、前記第１横流路部の深さは、前記第２横流路部の深さよりも深く、前記第１横流路部の底面は、前記第２表面側に膨らむような円弧状又は楕円弧状をなし、
前記第２横流路部の底面は、直線状をなす保持装置。
続きを表示（約 140 文字）【請求項２】
前記第１表面側から平面視した際、前記第２横流路部の幅は、前記第１横流路部の幅よりも大きい請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記第１横流路部及び前記第２横流路部は、互いに接続して連通している請求項１又は請求項２に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の製造時にウエハ（半導体ウエハ）を保持する保持装置の一例として、静電チャックが挙げられる（特許文献１参照）。静電チャックは、絶縁性のセラミックス（例えば、アルミナ）を主体とした保持基板（セラミック基板）を備えており、その保持基板の表面上でウエハが静電引力により保持される。静電引力は、保持基板の内部に設けられたチャック電極に電圧が印加されることで発生する。
【０００３】
この種の静電チャックでは、プラズマエッチング等のプラズマ処理において、保持基板とウエハとの間に、ヘリウムガス等の熱伝導ガスを供給して、ウエハから熱を取り除くことが行われている。そのため、静電チャックの保持基板の内部には、外部から供給された熱伝導ガスを、ウエハに向かって流すためのガス流路が形成されている。
【０００４】
ガス流路は、保持基板の厚み方向に延びる縦流路部と、平面方向（つまり、厚み方向に垂直な方向）に延びる横流路部とを備える。特許文献２に示されるように、保持基板内の横流路部は、厚み方向に切断した切断面において、上面側が平坦面状であり、かつ底面側が円弧状又は楕円弧状をなしている。
【０００５】
従来、保持基板の内部に設けられる横流路部は、流路サイズ（流路幅、深さ等）の違いにかかわらず、底面側が何れも同じような形状（円弧状等）に加工されていた。これは、ガス流路（横流路部等）の形成時に、工程の簡略化等の目的で、共通化された同一形状の加工ツールを使用して、未焼成のグリーンシートを加工していたことによる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第４９５９９０５号公報
特開２０２２－６８６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
横流路部が形成される箇所等に応じて、その内部を流れる熱伝導ガスの流量を適宜、調整したい場合がある。例えば、保持基板の中でも、熱がこもり易い箇所に設けられる横流路部の場合、それ以外の横流路部と比べて深さを深くすることが望まれる。そのような深さが求められる横流路部は、先端が丸みを帯びた加工ツールを使用して、底面側が大きく膨らんだ円弧状に形成されていた。しかしながら、深さのある横流路部に適した加工ツールを使用して、例えば、深さの浅い横流路部を形成しようとすると、その深さの浅い横流路部の加工精度が悪くなってしまう。
【０００８】
本発明の目的は、互いに深さが異なり、加工精度に優れる複数の横流路部を有する保持基板を備える保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、
＜１＞第１表面、前記第１表面の反対側に配される第２表面を含む板状部材と、前記第１表面側に開口したガス流出口、及び前記第２表面側に開口したガス流入口を含み、前記板状部材の内部に形成されるガス流路とを有する保持基板を備える保持装置であって、前記ガス流路は、前記第１表面に対して平行に延びた第１横流路部と、第２横流路部とを有し、前記第１横流路部及び前記第２横流路部を、それぞれ前記保持基板の厚み方向に切断した切断面において、前記第１横流路部の深さは、前記第２横流路部の深さよりも深く、前記第１横流路部の底面は、前記第２表面側に膨らむような円弧状又は楕円弧状をなし、
前記第２横流路部の底面は、直線状をなす保持装置。
【００１０】
＜２＞前記第１表面側から平面視した際、前記第２横流路部の幅は、前記第１横流路部の幅よりも大きい前記＜１＞に記載の保持装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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