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公開番号2025113555
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-04
出願番号2024007773
出願日2024-01-23
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250728BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】導電性部材を介した内部電極への給電を安定的に行うことのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100の内部に設けられたヒーター140と、誘電体基板100に形成された凹部121の底面122に設けられた導体であって、ヒーター140に対して電気的に繋がっている被給電部150と、凹部121の内側に挿入された導電性部材400と、導電性部材400の周囲を覆っており、且つ、被給電部150に接合されているろう材450と、を備える。ろう材450は、被給電部150に近づくに従って太くなっており、ろう材450の外側が接合層300によって支持されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
誘電体基板と、
前記誘電体基板の内部に設けられた内部電極と、
前記誘電体基板に形成された凹部の底に設けられた導体であって、前記内部電極に対して電気的に繋がっている被給電部と、
前記凹部の内側に挿入された導電性部材と、
前記導電性部材の周囲を覆っており、且つ、前記被給電部に接合されているろう材と、を備え、
前記ろう材は、前記被給電部に近づくに従って太くなっており、
前記ろう材の外側が絶縁部材によって支持されていることを特徴とする静電チャック。
続きを表示(約 370 文字)【請求項2】
前記誘電体基板を支持するベースプレートと、
前記誘電体基板と前記ベースプレートとの間を接合する接合層と、を更に備え、
前記凹部は、前記誘電体基板のうち前記ベースプレート側の面に形成されており、
前記絶縁部材は前記接合層の一部であることを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
【請求項3】
前記内部電極は、前記誘電体基板を加熱するヒーターであることを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
【請求項4】
前記導電性部材は、
円筒形状の部分である円筒部と、
円板形状の部分であって、その直径が前記円筒部の外径よりも大きな拡径部と、を有し、
前記拡径部が前記被給電部と対向していることを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
例えばエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【0003】
誘電体基板の内部には内部電極が設けられる。内部電極とは、例えば誘電体基板を加熱するためのヒーターである。上記の吸着電極やRF電極等が、内部電極として誘電体基板の内部に設けられることもある。下記特許文献1に記載されているように、内部電極への給電を行うための導電性部材は、誘電体基板のうち載置面とは反対側から接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2020-47638号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
導電性部材としては、例えばリード線や棒状の電極端子等が用いられる。導電性部材に外力が加えられると、導電性部材の接続部分が破損したり、導電性部材が外れたりすることにより、内部電極への給電を行えなくなってしまう可能性がある。
【0006】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、導電性部材を介した内部電極への給電を安定的に行うことのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、誘電体基板と、誘電体基板の内部に設けられた内部電極と、誘電体基板に形成された凹部の底に設けられた導体であって、内部電極に対して電気的に繋がっている被給電部と、凹部の内側に挿入された導電性部材と、導電性部材の周囲を覆っており、且つ、被給電部に接合されているろう材と、を備える。ろう材は、被給電部に近づくに従って太くなっており、ろう材の外側が絶縁部材によって支持されている。
【0008】
上記構成の静電チャックでは、被給電部と導電性部材との間がろう材を介して電気的に接続されており、ろう材が絶縁部材によって外側から支持されている。このため、導電性部材に外力が加えられた場合でも、導電性部材の接続部分の変形や、変形に伴う応力を、絶縁部材によって抑制することができる。また、ろう材は、被給電部に近づくに従って太くなる形状を有しており、その外側が絶縁部材によって支持されているので、被給電部から離れる方向の力が導電性部材やろう材に加えられた場合であっても、導電性部材と被給電部との間の接続状態を維持することができる。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、導電性部材を介した内部電極への給電を安定的に行うことのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
本実施形態に係る静電チャックの構成を模式的に示す断面図である。
図1の一部の構成を拡大して詳細に示す図である。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)

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