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公開番号2025084481
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023198419
出願日2023-11-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】離脱応答性の高い静電チャックを提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100の内部に設けられた吸着電極130と、を備える。吸着電極130は、誘電体基板100の内部に設けられた第1バイパス151を介して、互いに電気的に接続されている複数の第1電極131と、誘電体基板100の内部に設けられた第2バイパス152を介して、互いに電気的に接続されている複数の第2電極132と、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板の内部に設けられた吸着電極と、を備え、
前記吸着電極は、
前記誘電体基板の内部に設けられた第１バイパスを介して、互いに電気的に接続されている複数の第１電極と、
前記誘電体基板の内部に設けられた第２バイパスを介して、互いに電気的に接続されている複数の第２電極と、を含むことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１電極と前記第２電極とが、周方向に沿って交互に並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１バイパス及び前記第２バイパスは、互いに同心の円弧状に伸びるように形成されていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１電極と前記第２電極とが、径方向に沿って交互に並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１バイパス及び前記第２バイパスは、互いに平行な直線状に伸びるように形成されていることを特徴とする、請求項４に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記誘電体基板の前記載置面側には複数の突起が形成されており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
少なくとも一部の前記突起が、前記吸着電極と重ならない位置に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。下記特許文献１に記載されているように、静電チャックは、内部に吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１６１５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体製造装置において基板の処理が終了すると、当該基板が静電チャックから取り外された後、次の基板が静電チャックに載置される。可能な限り短時間で多くの基板を処理できるように、静電チャックには高い離脱応答性が求められる。すなわち、吸着電極に対する電圧の印可が停止されてから、基板を取り外すことが可能な程度に静電力が低下するまでの時間を、可能な限り短くすることが求められる。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、離脱応答性の高い静電チャックを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板の内部に設けられた吸着電極と、を備える。吸着電極は、誘電体基板の内部に設けられた第１バイパスを介して、互いに電気的に接続されている複数の第１電極と、誘電体基板の内部に設けられた第２バイパスを介して、互いに電気的に接続されている複数の第２電極と、を含む。
【０００７】
吸着電極が有する複数の第１電極は、第１バイパスを介して互いに電気的に接続されているので、互いに同電位となる。同様に、吸着電極が有する複数の第２電極も、第２バイパスを介して互いに電気的に接続されているので、互いに同電位となる。第１電極と第２電極との間に電圧を印可することで、誘電体基板と非吸着物との間に静電力を生じさせることができる。
【０００８】
上記構成における吸着電極は、所謂「双極」の電極として機能するものである。ただし、一方の電極である第１電極と、他方の電極である第２電極とは、いずれも単一の電極とはなっておらず、上記のように複数に分けられている。
【０００９】
本発明者らが行った実験等によれば、双極の吸着電極において、それぞれの電極を上記のように複数に分けた構成とした場合には、複数に分けない従来の構成とした場合に比べて、静電チャックの離脱応答性が高くなることが確認された。その理由は、吸着電極への電圧印可が停止された時点から、基板（シリコンウェハ）の表面において誘起されていた電荷の移動が完了するまでに要する時間が、吸着電極の細分化に伴って短くなるためと考えられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、離脱応答性の高い静電チャックを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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