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公開番号2025165554
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069674
出願日2024-04-23
発明の名称シート固着装置及びシートが固着されている被固着物を製造する方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハ等の被固着物の被固着面に異物が付着した状態で被固着面にシートを固着することを防止することが可能なシート固着装置を提供する。
【解決手段】シート固着装置であって、シートが固着されていない状態の被固着面を撮像するための第1カメラを有する撮像ユニットと、撮像ユニットを制御するためのコントローラと、を備える。コントローラは、シートが固着されていない状態の被固着面を撮像するように撮像ユニットを制御することによって形成される第1画像に基づいて被固着面に異物が付着しているか否かを判定する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、
該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するための第１カメラを有する撮像ユニットと、
該撮像ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、
該コントローラは、該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するように該撮像ユニットを制御することによって形成される第１画像に基づいて該被固着面に異物が付着しているか否かを判定する、シート固着装置。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
該被固着面から異物を除去するための異物除去ユニットをさらに備え、
該コントローラは、該被固着面に異物が付着していると判定した場合に該被固着面から異物を除去するように該異物除去ユニットを制御する、請求項１に記載のシート固着装置。
【請求項３】
該撮像ユニットは、該被固着面に固着されている状態の該シートを撮像するための第２カメラをさらに有し、
該コントローラは、該被固着面に固着されている状態の該シートを撮像するように該撮像ユニットを制御することによって形成される第２画像に基づいて該シートに異物が付着しているか否かを判定する、請求項１に記載のシート固着装置。
【請求項４】
該被固着面及び／又は該シートから異物を除去するための異物除去ユニットをさらに備え、
該コントローラは、該被固着面に異物が付着していると判定した場合に該被固着面から異物を除去するように該異物除去ユニットを制御し、かつ、該シートに異物が付着していると判定した場合に該シートから異物を除去するように該異物除去ユニットを制御する、請求項３に記載のシート固着装置。
【請求項５】
該第１カメラは、該被固着面に固着されている状態の該シートを撮像することが可能であり、
該コントローラは、該被固着面に固着されている状態の該シートを撮像するように該撮像ユニットを制御することによって形成される第２画像に基づいて該シートに異物が付着しているか否かを判定する、請求項１に記載のシート固着装置。
【請求項６】
該被固着面及び／又は該シートから異物を除去するための異物除去ユニットをさらに備え、
該コントローラは、該被固着面に異物が付着していると判定した場合に該被固着面から異物を除去するように該異物除去ユニットを制御し、かつ、該シートに異物が付着していると判定した場合に該シートから異物を除去するように該異物除去ユニットを制御する、請求項５に記載のシート固着装置。
【請求項７】
該被固着物は、その外縁にノッチ又はオリエンテーションフラットが形成されているウェーハであり、
該コントローラは、該被固着物に対して該被固着面とは反対側から光を照射した状態で該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するように該撮像ユニットを制御することによって形成される第３画像に基づいて該ノッチ又は該オリエンテーションフラットの位置を特定する、請求項１乃至６のいずれかに記載のシート固着装置。
【請求項８】
該被固着物が収容されたカセットを支持するためのカセットテーブルと、
該被固着物を保持するための保持部と該保持部によって保持された該被固着物に向けて光を照射するための発光部とを有し、該カセットテーブルによって支持された該カセットから該被固着面に該シートが固着されていない状態の該被固着物を搬出し、かつ／又は、該カセットに該被固着面に該シートが固着されている状態の該被固着物を搬入するための搬出入ロボットと、をさらに備え、
該コントローラは、該第３画像が形成されるように、該保持部によって該被固着面が露出された状態で該被固着物を保持し、かつ、該発光部によって該被固着物に対して該被固着面とは反対側から光を照射するように該搬出入ロボットを制御しながら、該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するように該撮像ユニットを制御する、請求項７に記載のシート固着装置。
【請求項９】
該被固着面に対応する形状を有する固着領域と該固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、
該準備ユニットによって準備された該個片シートの該固着領域を該被固着物の該被固着面に固着するための固着ユニットと、
該固着ユニットによって該被固着面に該固着領域が固着された該個片シートから該余剰領域を除去するための除去ユニットと、をさらに備え、
該固着ユニットは、
該被固着物を保持するための第１保持部と、
該個片シートを保持するための第２保持部と、
該被固着物の該被固着面に向けて該個片シートの該固着領域を押圧するための押圧部と、を有し、
該コントローラは、該第１保持部によって該被固着面が露出された状態で該被固着物を保持し、かつ、該第２保持部によって該固着領域が露出されるとともに該被固着面と対向した状態で該個片シートを保持しながら、該押圧部によって該被固着面に向けて該固着領域を押圧するように該固着ユニットを制御する、請求項１乃至６のいずれかに記載のシート固着装置。
【請求項１０】
該押圧部は、該第１保持部によって保持されている該被固着物とともに該第２保持部によって保持されている該個片シートを挟持するように位置付けられているローラを含み、
該コントローラは、該ローラを転動させることによって該固着領域が該被固着面に向けて押圧されるように該固着ユニットの該押圧部を制御する、請求項９に記載のシート固着装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被固着物の被固着面に被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハを薄化してから個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
ウェーハの薄化は、例えば、研削装置において裏面側を研削することによって行われる。また、ウェーハの分割は、例えば、切削装置又はレーザー加工装置において複数のデバイスの境界を除去することによって行われる。
【０００４】
ただし、ウェーハを薄化する際には、その表面側が強く押圧されて複数のデバイスが破損するおそれがある。また、ウェーハを分割する際には、製造されるチップが離散してそれらの取り扱いが困難になるおそれがある。
【０００５】
これらの点を踏まえて、ウェーハを加工する前には、シート固着装置においてウェーハにシートを固着することが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このシート固着装置においては、巻回されているシート（原反ロール）から所望の部分を引き出して切り出した後に、切り出された部分（個片シート）をウェーハに固着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－８１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ウェーハに微細なゴミ等の異物が付着していると、この異物を挟持するようにウェーハにシートが固着されることがある。この場合、ウェーハを加工する際に局所的に大きな応力が生じてウェーハが破損するおそれがある。
【０００８】
この点に鑑み、本発明の目的は、ウェーハ等の被固着物の被固着面に異物が付着した状態で被固着面にシートを固着することを防止することが可能なシート固着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するための第１カメラを有する撮像ユニットと、該撮像ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、該コントローラは、該シートが固着されていない状態の該被固着面を撮像するように該撮像ユニットを制御することによって形成される第１画像に基づいて該被固着面に異物が付着しているか否かを判定する、シート固着装置が提供される。
【００１０】
本発明のシート固着装置は、該被固着面から異物を除去するための異物除去ユニットをさらに備え、該コントローラは、該被固着面に異物が付着していると判定した場合に該被固着面から異物を除去するように該異物除去ユニットを制御することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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