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公開番号2025038383
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023144966
出願日2023-09-07
発明の名称システム及びロボット
出願人株式会社安川電機
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】コストを増加させることなく効率的な搬送を行うことができる搬送システム、ロボット及びロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】搬送システムにおいて、ウェハ50を格納するカセットへのアクセスのための複数の開口部を含む正面壁と、正面壁に対向する背面壁とを有する筐体と、筐体に配置されるロボット100であって、第1ベース110と、第1可動部120と、ウェハを保持するハンド136を有する第2可動部130と、ハンドが水平面と平行な状態でハンドに複数の開口部のそれぞれへアクセスさせるように、第1可動部及び第2可動部を制御する制御部とを有し、複数の開口部は、ロボットが筐体に配置される位置と、第1可動部を最大に伸長させた状態の第1可動部の長さと、第2可動部を最大に伸長させた状態の第2可動部の長さとに基づいて定められた、ハンドの最大アクセス可能領域内に位置する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハを格納するカセットへのアクセスのための複数の開口部を含む正面壁と、前記正面壁に対向する背面壁とを有する筐体と、
前記筐体に配置されるロボットと
を備え、
前記ロボットは、
第１ベースと、
前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部と、
前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、前記ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部と、
前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記複数の開口部のそれぞれへアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部と
を有し、
前記複数の開口部は、前記ロボットが前記筐体に配置される位置と、前記第１可動部を最大に伸長させた状態の前記第１可動部の長さと、前記第２可動部を最大に伸長させた状態の前記第２可動部の長さとに基づいて定められた、前記ハンドの最大アクセス可能領域内に位置する、
システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第２可動部を最大に伸長させた状態の前記第２可動部の長さは、前記第３アーム及び前記ハンドが水平面と平行な状態で前記第３アーム及び前記ハンドを最大に伸長させたときの前記第４回転軸から前記ハンドの先端までの長さである、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第３回転軸を回転させたときの前記第２可動部の可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第３回転軸を回転させたときの前記第２可動部の可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第４回転軸を回転させたときの前記第３アームと前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第４回転軸を回転させたときの前記第３アームと前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第５回転軸を回転させたときの前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第５回転軸を回転させたときの前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第２回転軸及び前記第３回転軸を通り且つ前記第２回転軸及び前記第３回転軸に対して垂直である直線と平行なベクトルが、前記第１ベースの配置面に対して垂直であり、且つ、前記第４回転軸と平行である状態における、前記第３回転軸から前記第２可動部の上端までの長さにさらに基づいて定められている、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第３回転軸の高度が前記第１回転軸の高度より高い状態での前記ハンドの上方アクセス可能領域と、前記第３回転軸の高度が前記第１回転軸の高度より低い状態での前記ハンドの下方アクセス可能領域とを含む、請求項９に記載のシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、システム及びロボットに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コストを増加させることなく効率的な搬送を行うことができる搬送システム、ロボット及びロボットの制御方法が記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特許第６４９２２７１号公報
【発明の概要】
【０００３】
本発明の一実施態様によれば、システムが提供される。前記システムは、ウェハを格納するカセットへのアクセスのための複数の開口部を含む正面壁と、前記正面壁に対向する背面壁とを有する筐体を備えてよい。前記システムは、前記筐体に配置されるロボットを備えてよい。前記ロボットは、第１ベースと、前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部と、前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、前記ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部と、前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記複数の開口部のそれぞれへアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部とを有してよい。前記複数の開口部は、前記ロボットが前記筐体に配置される位置と、前記第１可動部を最大に伸長させた状態の前記第１可動部の長さと、前記第２可動部を最大に伸長させた状態の前記第２可動部の長さとに基づいて定められた、前記ハンドの最大アクセス可能領域内に位置してよい。
【０００４】
前記システムにおいて、前記第２可動部を最大に伸長させた状態の前記第２可動部の長さは、前記第３アーム及び前記ハンドが水平面と平行な状態で前記第３アーム及び前記ハンドを最大に伸長させたときの前記第４回転軸から前記ハンドの先端までの長さであってよい。
【０００５】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第３回転軸を回転させたときの前記第２可動部の可動域にさらに基づいて定められていてよい。
【０００６】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第３回転軸を回転させたときの前記第２可動部の可動域にさらに基づいて定められていてよい。
【０００７】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第４回転軸を回転させたときの前記第３アームと前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められていてよい。
【０００８】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第４回転軸を回転させたときの前記第３アームと前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められていてよい。
【０００９】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に伸長させた状態における、前記第５回転軸を回転させたときの前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められていてよい。
【００１０】
前記いずれかのシステムにおいて、前記ハンドの前記最大アクセス可能領域は、前記第１可動部を最大に屈曲させた状態における、前記第５回転軸を回転させたときの前記ハンドの可動域にさらに基づいて定められていてよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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