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公開番号2025079018
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-21
出願番号2023191409
出願日2023-11-09
発明の名称解析装置、解析方法、およびプログラム
出願人三星電子株式会社,Samsung Electronics Co.,Ltd.
代理人IBC一番町弁理士法人,個人
主分類G01N 23/20 20180101AFI20250514BHJP(測定;試験)
要約【課題】X線の散乱強度分布を解析する時間を低減する解析装置、解析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】実施形態に係る解析装置100は、対象構造を表すデータから、対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出する抽出部110と、対象構造に当てられたX線の散乱強度分布を算出するための異材質境界面における面積分を、電子密度差に関する情報および面要素に関する情報に基づいて算出する算出部120とを備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出する抽出部と、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出する算出部と
を備えた解析装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記対象構造は、互いに同一の形状を持つ第１の異材質境界面および第２の異材質境界面を含み、
前記抽出部は、前記第１の異材質境界面の前記面要素に関する情報を記憶装置に書き込み、
前記算出部は、前記記憶装置から読み出された前記第１の異材質境界面の前記面要素に関する情報に基づく情報を、前記第２の異材質境界面の前記面要素に関する情報として使用する
請求項１に記載の解析装置。
【請求項３】
前記算出部は、前記面要素の方向に応じて前記面要素を複数のグループのいずれかに分類し、分類結果を加味して前記面積分を実行する
請求項１または２に記載の解析装置。
【請求項４】
前記算出部は、複数の面要素の各々における面積分を複数のプロセッサコアのいずれかに割り当て、前記複数のプロセッサコアで並列処理を実行する
請求項１または２に記載の解析装置。
【請求項５】
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出するステップと、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出するステップと
を含む解析方法。
【請求項６】
コンピュータに、
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出する処理と、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出する処理と
を実行させるプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、解析装置、解析方法、およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、Ｘ線を用いた位相コントラストイメージング法を適用し、積層体の各層の層厚を計測する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－８３８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ｘ線の散乱強度分布を解析する時間を低減する技術が望まれている。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、Ｘ線の散乱強度分布を解析する時間を低減する解析装置、解析方法、およびプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施形態の解析装置は、
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出する抽出部と、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出する算出部と
を備える。
【０００７】
一実施形態の解析方法は、
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出するステップと、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出するステップと
を含む。
【０００８】
一実施形態のプログラムは、
コンピュータに、
対象構造を表すデータから、前記対象構造に含まれる異材質境界面における電子密度差に関する情報、および前記異材質境界面に含まれる面要素に関する情報を抽出する処理と、
前記対象構造に当てられたＸ線の散乱強度分布を算出するための前記異材質境界面における面積分を、前記電子密度差に関する情報および前記面要素に関する情報に基づいて算出する処理と
を実行させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、Ｘ線の散乱強度分布の解析に要する時間を低減する解析装置、解析方法、およびプログラムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
対象構造にＸ線を当てた際の散乱ベクトルを説明するための図である。
実施形態１にかかる解析装置の構成を示すブロック図である。
対象構造に含まれる異材質境界面を説明するための図である。
対象構造の一例を示す斜視図である。
実施形態１にかかる解析方法を説明するための図である。
従来技術による対象構造の表現を示す斜視図である。
実施形態１にかかる解析方法の検証結果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
実施形態１の効果を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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