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公開番号2025085479
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-05
出願番号2023199383
出願日2023-11-24
発明の名称感光性樹脂組成物
出願人東京応化工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250529BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】サーマルフロー法によって耐薬品性に優れるマイクロレンズを与える感光性樹脂組成物と、当該感光性樹脂組成物の硬化物と、当該硬化物からなるマイクロレンズと、前述の感光性樹脂組成物を用いる光学素子の製造方法とを提供すること。
【解決手段】ポリヒドロキシスチレン樹脂(A)と、光酸発生剤(B)と、架橋剤(C)とを含む感光性樹脂組成物において、フェノール性水酸基の一部がアセタール型保護基により保護されているポリヒドロキシスチレン樹脂(A)を用いるとともに、感光性樹脂組成物を、感光性樹脂組成物が、波長550nmにおいて1.50以上の屈折率を示す硬化物を与えるように構成する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤（Ｂ）と、架橋剤（Ｃ）と、を含む感光性樹脂組成物であって、
前記ポリヒドロスチレン樹脂（Ａ）において、フェノール性水酸基の一部がアセタール型保護基により保護されており、
前記感光性樹脂組成物が、波長５５０ｎｍにおいて１．５０以上の屈折率を示す硬化物を与える、感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記架橋剤（Ｃ）が、架橋性基を有する複素環化合物を含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記複素環化合物が、含窒素複素環化合物である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記含窒素複素環化合物が、１，３，５－トリアジン－２，４，６－トリオン－１，３，５－トリイル基を有する、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記光酸発生剤（Ｂ）が、スルホネート型光酸発生剤（Ｂ１）、及び／又はオニウム塩型光酸発生剤（Ｂ２）を含む、請求項１、又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１、又は２に記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
【請求項７】
請求項６に記載の硬化物からなるマイクロレンズ。
【請求項８】
基材上に、複数のマイクロレンズを備える光学素子の製造方法であって、
請求項１、又は２に記載の感光性樹脂組成物を、基材上に塗布して、塗布膜を形成することと、
前記基材上の前記複数のマイクロレンズが形成される位置に複数のドットが形成されるように、前記塗布膜に対して位置選択的に露光することと、
露光された前記塗布膜を現像して、前記複数のマイクロレンズが形成される位置に前記複数のドットを形成することと、
前記複数のドットを加熱することにより、前記複数のドットを熱により変形させて前記複数のマイクロレンズを形成することと、を含み、
前記複数のドットを加熱する前に、前記複数のドットが露光される、製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物の硬化物、当該硬化物からなるマイクロレンズ、前述の感光性樹脂組成物を用いる硬化物の製造方法、及び前述の感光性樹脂組成物を用いる光学素子の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、カメラ、ビデオカメラ等には、固体撮像素子が用いられている。この固体撮像素子には、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ－ｃｏｕｐｌｅｄｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙｍｅｔａｌ－ｏｘｉｄｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサが用いられている。イメージセンサには集光率の向上を目的とした微細な集光レンズ（以下、マイクロレンズと呼ぶ）が設けられている。
【０００３】
かかるマイクロレンズを形成する方法として、サーマルフロー法と呼ばれる方法が工業的に広く採用されている。
サーマルフロー法においては、まず、ＣＣＤ素子等の上部にフォトレジスト膜が形成される。フォトレジスト膜は、感光性樹脂組成物等により構成される膜である。その後、フォトレジスト膜を、露光、現像することで、素子上に樹脂からなるドットパターンを形成する。ドットパターンは、マイクロレンズが形成されるべき箇所に位置する、複数のドットからなる。ドットパターンを構成する各ドットは、略円筒形状、又は略円錐台形状を有する。ドットパターンを、ドットを構成する樹脂材料のガラス転移点以上の温度で加熱することでドットを構成する樹脂材料が流動し、表面張力により、各ドットの形状が半球状のレンズ形状に変化する。このようにして、マイクロレンズのパターンが形成される（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１００７９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のサーマルフロー法により形成されたマイクロレンズは、マイクロレンズを備える素子を製造する過程において、有機溶媒等の薬液に頻繁にさらされる場合がある。
このため、サーマルフロー法において用いられる感光性樹脂組成物には、耐薬品性に優れるマイクロレンズを与えることが要求される。
【０００６】
本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたものであり、サーマルフロー法によって耐薬品性に優れるマイクロレンズを与える感光性樹脂組成物と、当該感光性樹脂組成物の硬化物と、当該硬化物からなるマイクロレンズと、前述の感光性樹脂組成物を用いる光学素子の製造方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ａ）と、光酸発生剤（Ｂ）と、架橋剤（Ｃ）とを含む感光性樹脂組成物において、フェノール性水酸基の一部がアセタール型保護基により保護されているポリヒドロキシスチレン樹脂（Ａ）を用いるとともに、感光性樹脂組成物を、感光性樹脂組成物が、波長５５０ｎｍにおいて１．５０以上の屈折率を示す硬化物を与えるように構成することにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明に至った。具体的には本発明は以下のものを提供する。
【０００８】
本発明の第１の態様は、ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤（Ｂ）と、架橋剤（Ｃ）とを含み、
ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ａ）において、フェノール性水酸基の一部がアセタール型保護基により保護されており、
感光性樹脂組成物は、波長５５０ｎｍにおいて１．５０以上の屈折率を示す硬化物を与える、感光性樹脂組成物である。
【０００９】
本発明の第２の態様は、第１の態様にかかる感光性樹脂組成物の硬化物である。
【００１０】
本発明の第３の態様は、第２の態様にかかる硬化物からなるマイクロレンズである。
（【００１１】以降は省略されています）

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