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公開番号2025087521
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202234
出願日2023-11-29
発明の名称セラミックグリーンシート付き離型フィルム
出願人三菱ケミカル株式会社
代理人弁理士法人特許事務所サイクス
主分類B28B 1/30 20060101AFI20250603BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面(反離型面)にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れるセラミックグリーンシート付き離型フィルムを提供することにある。
【解決手段】ポリエステルフィルムの片面に樹脂層A、反対面に樹脂層Bを備えた離型フィルムと、樹脂層A上に積層されたセラミックグリーンシートとを有し、樹脂層Aが非シリコーン系離型剤を含有し、所定の測定条件で樹脂層Bとセラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を測定した場合、10kV以下となる、セラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備えた離型フィルムと、前記樹脂層Ａ上に積層されたセラミックグリーンシートとを有し、
前記樹脂層Ａが非シリコーン系離型剤を含有し、
以下の測定条件で前記樹脂層Ｂと前記セラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を測定した場合、１０ｋＶ以下となる、セラミックグリーンシート付き離型フィルム；
（測定条件）
樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートが重なるように、セラミックグリーンシート付き離型フィルムを２枚重ね、プレス圧（８．２ＭＰa）を５時間加えた後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、請求項１に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項３】
前記（Ｃ）帯電防止剤がイオン導電性高分子化合物である、請求項２に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項４】
前記（Ｃ）帯電防止剤が、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種である、請求項２に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項５】
前記樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、請求項１に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項６】
前記（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、請求項５に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項７】
前記樹脂層Ｂが（Ｂ）バインダー樹脂を含む、請求項１に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項８】
前記（Ｂ）バインダー樹脂が、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種である、請求項７に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項９】
前記樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む、請求項１に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
【請求項１０】
前記（Ｄ）架橋剤が、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である、請求項９に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックグリーンシート付き離型フィルムに関する。
続きを表示（約 3,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルムに代表されるポリエステルフィルムは、機械的特性、寸法安定性、平坦性、耐熱性、耐薬品性、光学特性等に優れた特性を有し、コストパフォーマンスに優れるため、各種用途に使用されている。
【０００３】
また、ポリエステルフィルムは、フィルム表面の平滑性を利用して、積層セラミックコンデンサーのグリーンシートを成形するための離型フィルムや、層間絶縁樹脂離型用基材、ドライフィルムレジスト用基材など、各種用途に好適に用いられている。
【０００４】
従来、グリーンシート成形用途にはポリエステルフィルムの一方の面上にシリコーン系離型剤を含む離型層を備えた、離型フィルムが汎用的に使用されている（特許文献１）。一方、半導体分野など、珪素（Ｓｉ）元素の混入を極端に嫌う用途に対応するために、非シリコーン系離型剤を用いた離型層を備えた離型フィルムの提案がなされている（特許文献２及び３）。これらの文献では、いずれも常温あるいは加熱処理後における離型層の剥離性を良好とすることを課題としている。
【０００５】
近年、セラミック積層コンデンサーの更なる高容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも益々、薄膜化する傾向にある。特に、厚み（乾燥後）が２μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する場合、単純にシート厚みを薄膜化するだけでは、セラミックグリーンシート自体が脆く、割れやすいため、ハンドリング性を確保するために、セラミックスラリーの組成を調整することで、セラミックグリーンシート自体に、適度に柔軟性を付与する対策が講じられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１４－２１３５９０号公報
特開２００３－３００２８３号公報
ＷＯ２０２２／１１８７５５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述のような離型フィルムを用いて、柔軟な、薄膜のセラミックグリーンシートを成形する場合であって、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で、離型フィルムをロール状に巻き取った場合においては、再度、離型フィルムを巻き出す際に、セラミックグリーンシートが離型層を備えていなかったり、セラミックグリーンシートが反離型面側のフィルム表面に貼り付くといった現象が発生することを本発明者らは知見した。
【０００８】
そこで、本発明は、上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、特に２μｍ以下の薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れるセラミックグリーンシート付き離型フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記実情に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、以下の構成からなるセラミックグリーンシート付き離型フィルムを用いれば、上記課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、以下の［１］～［２０］を提供するものである。
【００１０】
［１］ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備えた離型フィルムと、樹脂層Ａ上に積層されたセラミックグリーンシートとを有し、
樹脂層Ａが非シリコーン系離型剤を含有し、
以下の測定条件で樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を測定した場合、１０ｋＶ以下となる、セラミックグリーンシート付き離型フィルム；
（測定条件）
樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートが重なるように、セラミックグリーンシート付き離型フィルムを２枚重ね、プレス圧（８．２ＭＰa）を５時間加えた後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
［２］樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、［１］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［３］（Ｃ）帯電防止剤がイオン導電性高分子化合物である、［２］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［４］（Ｃ）帯電防止剤が、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種である、［２］又は［３］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［５］樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、［１］～［４］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［６］（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、［５］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［７］樹脂層Ｂが（Ｂ）バインダー樹脂を含む、［１］～［６］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［８］（Ｂ）バインダー樹脂が、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種である、［７］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［９］樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む、［１］～［８］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１０］（Ｄ）架橋剤が、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である、［９］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１１］樹脂層Ａに含まれる非シリコーン系離型剤がワックスまたは長鎖アルキル基含有化合物から選ばれる１種以上を含む、［１］～［１０］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１２］ポリエステルフィルムが３層構成である、［１］～［１１］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１３］ポリエステルフィルムが３種３層構成である、［１２］に記載の離型フィルム。
［１４］離型フィルムにおける樹脂層Ａ面の平均表面粗さ（Ｓａ）が５ｎｍ以下である、［１］～［１３］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１５］離型フィルムの厚みが９～５０μｍである、［１］～［１４］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１６］離型フィルムにおける樹脂層Ｂ面と樹脂層Ａ面との動摩擦係数が０．２０以下である、［１］～［１５］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１７］セラミックグリーンシートの厚み（乾燥後）が２μｍ以下である、［１］～［１６］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１８］積層セラミックコンデンサーの製造工程において用いられる、［１］～［１７］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［１９］自動車用セラミックコンデンサーの製造工程において用いられる、［１］～［１８］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［２０］［１］～［１９］のいずれかに記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルムを巻回してなる、フィルムロール。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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