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公開番号2025088413
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2023203103
出願日2023-11-30
発明の名称伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータ
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類H01P 3/08 20060101AFI20250604BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】特性の向上が可能な伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、伝送路は、第1、第2導電線、第1、第2導電層及び第1導電部材を含む。第1導電線は、第1方向に沿う。第2導電線は、第1導電線と電気的に接続される。第2導電線の少なくとも一部は第1方向に沿う。第2導電層は、第1導電層と電気的に接続される。第2導電層は、第1～第3部分領域を含む。第2導電線は、第1方向と交差する第2方向において第1導電層と第3部分領域との間にある。第1導電線は、第1方向及び第2方向を含む平面と交差する第3方向において第2部分領域と第1部分領域との間にある。第1導電部材は、第1導電領域を含む。第1導電線の少なくとも一部は、第2方向において、第1導電層と第1導電領域との間にある。第1導電部材は、第2導電層と電気的に接続される。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
第１導電線であって、前記第１導電線の少なくとも一部は第１方向に沿う、前記第１導電線と、
前記第１導電線と電気的に接続される第２導電線であって、前記第２導電線の少なくとも一部は前記第１方向に沿う、前記第２導電線と、
第１導電層と、
前記第１導電層と電気的に接続される第２導電層であって、前記第２導電層は、第１部分領域、第２部分領域、及び、第３部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第３部分領域への方向、及び、前記第２部分領域から前記第３部分領域への方向は、前記第１方向に沿い、前記第２導電線は、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１導電層と前記第３部分領域との間にあり、前記第１導電線は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において前記第２部分領域と前記第１部分領域との間にある、前記第２導電層と、
第１導電領域を含む第１導電部材であって、前記第１導電線の少なくとも一部は、前記第２方向において、前記第１導電層と前記第１導電領域との間にあり、前記第１導電部材は、前記第２導電層と電気的に接続される、前記第１導電部材と、
を備えた伝送路。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１導電線の前記少なくとも一部と、前記第１導電領域と、の間に第１空隙がある、請求項１に記載の伝送路。
【請求項３】
前記第１導電線の前記少なくとも一部と、前記第１導電領域と、の間の前記第２方向に沿う第１距離は、前記第１導電層と前記第１導電線との間の前記第２方向に沿う第２距離よりも長い、請求項２に記載の伝送路。
【請求項４】
前記第１距離は、前記第２距離の５倍以上である、請求項３に記載の伝送路。
【請求項５】
前記第１導電線の前記少なくとも一部と、前記第１導電領域と、の間の前記第２方向に沿う第１距離は、前記第１部分領域と前記第１導電線との間の前記第３方向に沿う第３距離よりも長い、請求項２に記載の伝送路。
【請求項６】
前記第１距離は、前記第３距離の１倍以上である、請求項５に記載の伝送路。
【請求項７】
前記第１導電部材は、第１導電部及び第２導電部をさらに含み、
前記第１導電部は、前記第１導電領域を前記第１部分領域と電気的に接続し、
前記第２導電部は、前記第１導電領域を前記第２部分領域と電気的に接続し、
前記第１導電線の前記第３方向における位置は、前記第２導電部の前記第３方向における位置と、前記第１導電部の前記第３方向における位置と、の間にある、請求項１～６のいずれか１つに記載の伝送路。
【請求項８】
前記第１導電部材は、第３導電部をさらに含み、
前記第３導電部は、前記第１導電領域を前記第３部分領域と電気的に接続する、請求項７に記載の伝送路。
【請求項９】
前記第２導電線の前記第２方向における位置は、前記第１導電層の前記第２方向における位置と、前記第１導電線の前記第２方向における位置と、の間にある、請求項１～６のいずれか１つに記載の伝送路。
【請求項１０】
第１絶縁層と、
第２絶縁層と、
をさらに備え、
前記第１絶縁層は、前記第２方向において前記第１導電層と前記第２導電線との間にあり、
前記第２絶縁層は、前記第２方向において、前記第２導電線と前記第１導電線との間にある、請求項１～６のいずれか１つに記載の伝送路。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、量子コンピュータなどの処理装置において、複数の回路が伝送路により結合される。伝送路において特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１４４２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能な伝送路、処理装置、及び、量子コンピュータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、伝送路は、第１導電線、第２導電線、第１導電層、第２導電層及び第１導電部材を含む。前記第１導電線の少なくとも一部は、第１方向に沿う。前記第２導電線は、前記第１導電線と電気的に接続される。前記第２導電線の少なくとも一部は前記第１方向に沿う。前記第２導電層は、前記第１導電層と電気的に接続される。前記第２導電層は、第１部分領域、第２部分領域、及び、第３部分領域を含む。前記第１部分領域から前記第３部分領域への方向、及び、前記第２部分領域から前記第３部分領域への方向は、前記第１方向に沿う。前記第２導電線は、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１導電層と前記第３部分領域との間にある。前記第１導電線は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において前記第２部分領域と前記第１部分領域との間にある。前記第１導電部材は、第１導電領域を含む。前記第１導電線の少なくとも一部は、前記第２方向において、前記第１導電層と前記第１導電領域との間にある。前記第１導電部材は、前記第２導電層と電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１（ａ）～図１（ｄ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図３（ａ）～図３（ｄ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図５は、伝送路の反射特性を例示するグラフである。
図６は、伝送路の反射特性を例示するグラフである。
図７は、伝送路のアイソレーション特性を例示するグラフである。
図８は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図９は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図１０は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図１１（ａ）～図１１（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図１２（ａ）～図１２（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１３（ａ）～図１３（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図１５は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１６は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１７は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１８（ａ）～図１８（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図１９（ａ）～図１９（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図２０は、第２実施形態に係る処理装置を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１（ａ）～図１（ｄ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的平面図である。
図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係る伝送路を例示する模式的断面図である。
図２（ａ）は、図１（ａ）～図１（ｄ）のＹ１－Ｙ２線断面図である。図２（ｂ）は、図１（ａ）～図１（ｄ）のＹ３－Ｙ４線断面図である。図２（ｃ）は、図１（ａ）～図１（ｄ）のＹ５－Ｙ６線断面図である。
図１（ａ）～図１（ｄ）及び図２（ａ）～図２（ｃ）に示すように、実施形態に係る伝送路１１０は、第１導電線２１、第２導電線２２、第１導電層１１、第２導電層１２及び第１導電部材３１を含む。
【０００９】
第１導電線２１の少なくとも一部は、第１方向Ｄ１に沿う、第２導電線２２は、第１導電線２１と電気的に接続される。第２導電線２２の少なくとも一部は、第１方向Ｄ１に沿う。
【００１０】
第１方向Ｄ１をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＺ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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