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公開番号2025091769
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023207222
出願日2023-12-07
発明の名称磁性薄膜チップ、磁気測定装置及び磁性薄膜チップの製造方法
出願人個人
代理人個人,個人
主分類H10N 50/10 20230101AFI20250612BHJP()
要約【課題】高いAMR比を有することができる磁性薄膜チップを提供する。
【解決手段】本発明に係る磁性薄膜チップは、有機基板と、前記有機基板の主面に設けられた、矩形状の平面形状を有する磁性薄膜と、有し、前記磁性薄膜の表面の算術平均粗さRaが、0.65nm以下である。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
有機基板と、
前記有機基板の主面に設けられた、矩形状の平面形状を有する磁性薄膜と、
有し、
前記磁性薄膜の表面の算術平均粗さＲａが、０．６５ｎｍ以下である、磁性薄膜チップ。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記有機基板の表面の算術平均粗さＲａが、０．８ｎｍ以下である、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項３】
前記磁性薄膜の表面の算術平均粗さと前記有機基板の表面の算術平均粗さとの比が、１．０以下である、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項４】
前記有機基板のヤング率が、３０００ＭＰａ以上である、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項５】
前記有機基板の耐熱プロセス温度が、３００℃以上である、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項６】
前記有機基板が、主面にポリイミド系樹脂層を有するポリイミドフィルムである、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項７】
前記磁性薄膜の厚さが、１０ｎｍ～１５０ｎｍである、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項８】
前記磁性薄膜は、軟磁性材料を含む、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項９】
前記磁性薄膜は、Ｎｉ－Ｆｅ系合金を含む、請求項１に記載の磁性薄膜チップ。
【請求項１０】
前記磁性薄膜のＮｉ含有量が、７５ａｔ％～８５ａｔ％である、請求項９に記載の磁性薄膜チップ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性薄膜チップ、磁気測定装置及び磁性薄膜チップの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基板上に磁性薄膜を有する磁性薄膜チップは、磁性薄膜において、異方性磁気抵抗（ＡＭＲ）効果、巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）効果、トンネル磁気抵抗（ＴＭＲ）効果などのように、磁界による電気抵抗（磁気抵抗）の変化を生じる効果（磁気抵抗効果）を利用して、センサ、情報記録媒体、ディスプレイなどにおいて広く使用されている。
【０００３】
磁性薄膜チップの中でも、柔軟性を有する有機基板を基板として用い、単層の磁性薄膜で磁気抵抗効果としてＡＭＲ効果を発現する磁性薄膜チップの開発が検討されている。有機基板を基板として用いた磁性薄膜チップは、被検体の形状に沿って湾曲し易く、柔軟に形状を変形させ易いため、フレキシブル磁気センサとして様々な用途への適用が期待されている。
【０００４】
有機基板を基板として用い、磁性薄膜のＡＭＲ効果を利用した磁性薄膜チップとして、例えば、ポリカーボネート基板上に、Ｎｉ又はＮｉ
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Ｆｅ
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などの磁性薄膜を成膜し、磁性薄膜のＡＭＲ比が最大で０．４２％程度を示すＡＭＲセンサが開示されている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
Y. Ohashi et al., Journal of Magnetism and Magnetic Materials, Vol. 570, 170497,2023
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、非特許文献１のＡＭＲセンサなどのように、有機基板上に形成した磁性薄膜のＡＭＲ効果を利用した磁性薄膜チップの感度をさらに高めるためには、磁性薄膜においてさらに高いＡＭＲ比を有する磁性薄膜チップが希求されている。
【０００７】
本発明の一態様は、高いＡＭＲ比を有することができる磁性薄膜チップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、
有機基板と、
前記有機基板の主面に設けられた、矩形状の平面形状を有する磁性薄膜と、
有し、
前記磁性薄膜の表面の算術平均粗さＲａが、０．６５ｎｍ以下である、磁性薄膜チップである。
【０００９】
本発明の他の態様は、
有機基板の主面に、矩形状の平面形状を有する磁性薄膜を形成する磁性薄膜形成工程を含み、
前記磁性薄膜の表面の算術平均粗さＲａが、０．６５ｎｍ以下である磁性薄膜チップの製造方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様に係る磁性薄膜チップは、高いＡＭＲ比を有することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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