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公開番号2025139956
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024039066
出願日2024-03-13
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。ヒーターユニット300は、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部351を有する。上面視において、発熱部351は、円弧状に突出する経路に沿って引き回されている突出部351Aを有する。発熱部351のうち突出部351Aにおける線幅W2は、発熱部351のうち突出部351Aに繋がる部分における線幅W1よりも小さい。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記発熱部は、円弧状に突出する経路に沿って引き回されている突出部を有し、
前記発熱部のうち前記突出部における線幅は、前記発熱部のうち前記突出部に繋がる部分における線幅よりも小さいことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
一対の前記突出部が、互いに向かって突出するように対向配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記発熱部は、
第１発熱部と、
前記第１発熱部よりも前記載置面側となる位置に配置された第２発熱部と、を含み、
前記突出部は前記第１発熱部に設けられており、当該突出部の内側を貫く経路で前記第２発熱部への給電が行われることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、例えば下記特許文献１に記載されているように誘電体基板の内部に設けられることもあるが、ユニット化された状態で誘電体基板の外側に設けられることもある。いずれの構成においても、ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１２０９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
外部からの電力が発熱部に供給されると、発熱部ではジュール熱が生じる。誘電体基板の各部を均等に加熱できるよう、発熱部は、上面視において各部の線幅や間隔が可能な限り均等となるような経路に沿って引き回される。
【０００６】
しかしながら、一部においては発熱部を引き回すことのできない領域も存在し得る。例えば、ヒーターに貫通穴が形成されている場合には、当該貫通穴を迂回するような円弧状の経路に沿って発熱部を引き回す必要がある。このような部分では、発熱部の配置密度が局所的に疎となり、周囲に比べて発熱量が低下してしまう可能性がある。その結果、処理中における基板の面内温度分布のばらつきが大きくなってしまう可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有する。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、発熱部は、円弧状に突出する経路に沿って引き回されている突出部を有する。発熱部のうち突出部における線幅は、発熱部のうち突出部に繋がる部分における線幅よりも小さい。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、発熱部の線幅が突出部において局所的に小さくなっている。突出部における電気抵抗が局所的に増大することで、当該部分で発生するジュール熱は多くなる。このため、突出部の近傍において発熱部の配置密度が局所的に疎になっていても、当該部分における発熱量の低下を抑制することができる。その結果、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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