特許ウォッチ

公開番号2025150191
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024050950
出願日2024-03-27
発明の名称仮固定用組成物およびウエハの製造方法
出願人デンカ株式会社
代理人個人
主分類C09J 201/00 20060101AFI20251002BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】レーザーを照射してから一定時間経過後におけるウエハと支持部材との再固着を抑制できる仮固定用組成物を提供する。
【解決手段】仮固定用組成物であって、(メタ)アクリレートを含む重合性成分(A)と、光ラジカル重合開始剤(B)と、紫外線吸収剤(C)と、を含み、特定の方法による炭素粒子の発生面積の比率が0.50%以上である、仮固定用組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
仮固定用組成物であって、
（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）と、
光ラジカル重合開始剤（Ｂ）と、
紫外線吸収剤（Ｃ）と、
を含み、
下記方法１による炭素粒子の発生面積の比率が０．５０％以上である、仮固定用組成物。
（方法１）
円盤形状のシリコンウエハ（直径１５０ｍｍ×厚み６２５μｍ）と円盤形状のガラス支持部材（直径１５０ｍｍ×厚み７００μｍ）との間に、前記仮固定用組成物からなる円盤形状の仮固定膜（直径１５０ｍｍ×厚み５０μｍ）を付与することにより、前記シリコンウエハと前記ガラス支持部材を貼り合わせる。
次いで、窒素雰囲気下にて、波長４０５ｎｍのＵＶ－ＬＥＤ（照度１００ｍＷ／ｃｍ
２
、照射時間５０秒、積算光量５０００ｍＪ／ｃｍ
２
）を前記ガラス支持部材側から前記仮固定膜に照射することにより前記仮固定膜を硬化させ、硬化膜を得る。
次いで、前記ガラス支持部材側から、得られた硬化膜に対して、前記硬化膜全体を走査するように、波長３５５ｎｍのＵＶレーザー（ＹＡＧレーザー、出力６．５Ｗ、スポット径１５０μｍ、照射ピッチ２００μｍ、スキャン速度８ｍ／ｓｅｃ、周波数４０ｋＨｚ）を照射する。
次いで、前記ガラス支持部材を前記シリコンウエハから剥離し、前記ガラス支持部材の中心部分における前記硬化膜側表面を、光学顕微鏡を用いて倍率２０倍で観察して撮影し、１視野（２００μｍ×２００μｍ）の面積を１００％としたときの、１視野あたりの黒い部分の面積（％）を画像処理ソフトにて算出し、炭素粒子の発生面積（％）とする。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記炭素粒子がカーボンブラックを含む、請求項１に記載の仮固定用組成物。
【請求項３】
前記仮固定用組成物中の炭素粒子の含有量が１．０質量％以下である、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
【請求項４】
前記光ラジカル重合開始剤（Ｂ）が、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、および１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン１－（Ｏ－アセチルオキシム）からなる群から選択される１種または２種以上を含む、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
【請求項５】
前記紫外線吸収剤（Ｃ）が、ベンゾフェノン骨格、トリアゾール骨格、ヒドロキシフェニルトリアジン骨格およびフェノール骨格からなる群から選択される１種または２種以上の骨格を有する、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
【請求項６】
前記紫外線吸収剤（Ｃ）が重合性官能基を有する、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
【請求項７】
前記重合性官能基が前記紫外線吸収剤（Ｃ）の末端に存在する、請求項６に記載の仮固定用組成物。
【請求項８】
前記重合性官能基が、（メタ）アクリロイル基を含む、請求項６に記載の仮固定用組成物。
【請求項９】
前記紫外線吸収剤（Ｃ）の含有量が、前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）１００質量部に対して、０．１質量部以上２０質量部以下である、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
【請求項１０】
前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）の含有量が、前記仮固定用組成物１００質量％に対して、５０質量％以上９９質量％以下である、請求項１または２に記載の仮固定用組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、仮固定用組成物およびウエハの製造方法に関する。
続きを表示（約 4,100 文字）【背景技術】
【０００２】
電子デバイス等に用いられるウエハの製造において、加工時の薄化による破損を防止するための措置が必要である。この措置として、ウエハの研削対象面の反対側の面（裏面）に、加工終了後に剥離することが可能な仮固定用組成物を付与し、支持部材に仮固定するという方法が採られている。
【０００３】
特許文献１には、下記（Ａ）～（Ｃ）を含有する仮固定組成物が記載されている。
（Ａ）下記（Ａ－１）と（Ａ－２）を含有する（メタ）アクリレート
（Ａ－１）側鎖が炭素数１８以上のアルキル基で、ホモポリマーのＴｇが－１００℃～６０℃である単官能（メタ）アクリレート
（Ａ－２）多官能（メタ）アクリレート
（Ｂ）ポリイソブテン単独重合体および／またはポリイソブテン共重合体（Ｃ）光ラジカル重合開始剤。
また、特許文献１には、解決しようとする課題として、硬化速度、スピンコートプロセス適合性、耐熱性、高温真空下の低アウトガス性、剥離速度が十分ではないこと、又特にＵＶレーザー剥離プロセスへの適性も同様に十分でないことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２１／２３５４０６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、レーザーを照射してから一定時間経過後におけるウエハと支持部材との再固着を抑制できる仮固定用組成物を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、以下に示す仮固定用組成物およびウエハの製造方法が提供される。
【０００７】
１．仮固定用組成物であって、
（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）と、
光ラジカル重合開始剤（Ｂ）と、
紫外線吸収剤（Ｃ）と、
を含み、
下記方法１による炭素粒子の発生面積の比率が０．５０％以上である、仮固定用組成物。
（方法１）
円盤形状のシリコンウエハ（直径１５０ｍｍ×厚み６２５μｍ）と円盤形状のガラス支持部材（直径１５０ｍｍ×厚み７００μｍ）との間に、前記仮固定用組成物からなる円盤形状の仮固定膜（直径１５０ｍｍ×厚み５０μｍ）を付与することにより、前記シリコンウエハと前記ガラス支持部材を貼り合わせる。
次いで、窒素雰囲気下にて、波長４０５ｎｍのＵＶ－ＬＥＤ（照度１００ｍＷ／ｃｍ
２
、照射時間５０秒、積算光量５０００ｍＪ／ｃｍ
２
）を前記ガラス支持部材側から前記仮固定膜に照射することにより前記仮固定膜を硬化させ、硬化膜を得る。
次いで、前記ガラス支持部材側から、得られた硬化膜に対して、前記硬化膜全体を走査するように、波長３５５ｎｍのＵＶレーザー（ＹＡＧレーザー、出力６．５Ｗ、スポット径１５０μｍ、照射ピッチ２００μｍ、スキャン速度８ｍ／ｓｅｃ、周波数４０ｋＨｚ）を照射する。
次いで、前記ガラス支持部材を前記シリコンウエハから剥離し、前記ガラス支持部材の中心部分における前記硬化膜側表面を、光学顕微鏡を用いて倍率２０倍で観察して撮影し、１視野（２００μｍ×２００μｍ）の面積を１００％としたときの、１視野あたりの黒い部分の面積（％）を画像処理ソフトにて算出し、炭素粒子の発生面積（％）とする。
２．前記炭素粒子がカーボンブラックを含む、１．に記載の仮固定用組成物。
３．前記仮固定用組成物中の炭素粒子の含有量が１．０質量％以下である、１．または２．に記載の仮固定用組成物。
４．前記光ラジカル重合開始剤（Ｂ）が、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、および１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン１－（Ｏ－アセチルオキシム）からなる群から選択される１種または２種以上を含む、１．～３．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
５．前記紫外線吸収剤（Ｃ）が、ベンゾフェノン骨格、トリアゾール骨格、ヒドロキシフェニルトリアジン骨格およびフェノール骨格からなる群から選択される１種または２種以上の骨格を有する、１．～４．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
６．前記紫外線吸収剤（Ｃ）が重合性官能基を有する、１．～５．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
７．前記重合性官能基が前記紫外線吸収剤（Ｃ）の末端に存在する、６．に記載の仮固定用組成物。
８．前記重合性官能基が、（メタ）アクリロイル基を含む、６．または７．に記載の仮固定用組成物。
９．前記紫外線吸収剤（Ｃ）の含有量が、前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）１００質量部に対して、０．１質量部以上２０質量部以下である、１．～８．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１０．前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）の含有量が、前記仮固定用組成物１００質量％に対して、５０質量％以上９９質量％以下である、１．～９．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１１．前記光ラジカル重合開始剤（Ｂ）の含有量が、前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）１００質量部に対して、０．１質量部以上１０質量部以下である、１．～１０．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１２．前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）が、単官能（メタ）アクリレートおよび２官能（メタ）アクリレートからなる群から選択される１種または２種以上を含む、１．～１１．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１３．前記（メタ）アクリレートを含む重合性成分（Ａ）が、アルキル基を有する単官能アルキル（メタ）アクリレート、芳香族（メタ）アクリレート、脂環式２官能（メタ）アクリレートおよび非環式２官能（メタ）アクリレートからなる群から選択される１種または２種以上を含む、１．～１２．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１４．前記芳香族（メタ）アクリレートが、９，９－ビス［４－（２－ヒドロキシＣ
１
～Ｃ
２０
アルコキシ）フェニル］フルオレンジ（メタ）アクリレート、９，９－ビス［４－（２－（メタ）アクリロイルオキシＣ
１
～Ｃ
２０
アルコキシ）フェニル）］フルオレン、Ｃ
１
～Ｃ
２０
アルコキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ベンジルジ（メタ）アクリレート、１，３－ビス（２－（メタ）アクリロイルオキシＣ
１
～Ｃ
２０
アルキル）ベンゼン、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、ノニルフェノールエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレートおよびこれらの構造異性体からなる群から選択される１種または２種以上を含む、１３．に記載の仮固定用組成物。
１５．Ｅ型粘度計を用いて、温度２３℃、せん断速度７５ｓ
－１
で測定される、前記仮固定用組成物の粘度が、１００ｍＰａ・ｓ以上５０００ｍＰａ・ｓ以下である、１．～１４．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
１６．下記方法２を実施したときの波長３５５ｎｍのレーザーの透過率が１０．０％以下である、１．～１５．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
（方法２）
長方形のテンパックスガラス（３３ｍｍ×５０ｍｍ、厚み７００μｍ）を２枚用意し、片方に０．１ｇの前記仮固定用組成物を滴下し、もう一方で挟み込む。
次いで、得られた積層体に対して、窒素雰囲気下にて、波長４０５ｎｍのＵＶ－ＬＥＤ（照度１００ｍＷ／ｃｍ
２
、照射時間５０秒、積算光量５０００ｍＪ／ｃｍ
２
）を照射することにより、前記仮固定用組成物を硬化させ、透過率測定用試験片を得る。
次いで、得られた透過率測定用試験片について、分光光度計を用いて、ピッチ１．０ｎｍ、波長範囲３００～８００ｎｍで透過率を測定する。
次いで、得られた透過率データから３５５ｎｍの透過率を読み取り、波長３５５ｎｍの透過率とする。
１７．下記方法３によるレーザー照射直後の剥離強度Ｐ
１
が０．０１Ｎ以上３０．０Ｎ以下である、１．～１６．のいずれかに記載の仮固定用組成物。
（方法３）
円盤形状のシリコンウエハ（直径１５０ｍｍ×厚み６２５μｍ）と円盤形状のガラス支持部材（直径１５０ｍｍ×厚み７００μｍ）との間に、前記仮固定用組成物からなる円盤形状の仮固定膜（直径１５０ｍｍ×厚み５０μｍ）を付与することにより、前記シリコンウエハと前記ガラス支持部材を貼り合わせる。
次いで、窒素雰囲気下にて波長４０５ｎｍのＵＶ－ＬＥＤ（照度１００ｍＷ／ｃｍ
２
、照射時間５０秒、積算光量５０００ｍＪ／ｃｍ
２
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、レーザーを照射してから一定時間経過後におけるウエハと支持部材との再固着を抑制できる仮固定用組成物を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施例１のガラス支持部材の中心部分における硬化膜側表面の顕微鏡撮影像である。
比較例３のガラス支持部材の中心部分における硬化膜側表面の顕微鏡撮影像である。
剥離強度の測定方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施形態に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許