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公開番号2025027781
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-28
出願番号2023132910
出願日2023-08-17
発明の名称複合シリカガラス板の製造方法
出願人信越石英株式会社
代理人個人,個人
主分類C03B 23/203 20060101AFI20250220BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】異種又は同種のシリカガラス板を重ね合わせて加熱することにより、複合シリカガラス板を製造するにあたり、加熱時の気泡の発生が抑制されてなる複合シリカガラス板の製造方法を提供する。
【解決手段】一定の方向に向かって形成された第一のツールマークを少なくとも一面に有する第一のシリカガラス板及び一定の方向に向かって形成された第二のツールマークを少なくとも一面に有する第二のシリカガラス板を準備する工程と、前記第一のツールマークの形成方向と第二のツールマークの形成方向を同方向にして、前記ツールマークを有する面同士を向かい合わせた状態で前記第一のシリカガラス板と第二のシリカガラス板を重ね合わせる工程と、前記重ね合わせたシリカガラス板の端部から、前記ツールマークの形成方向と同方向に、順に加熱を行う加熱工程と、を含む、複合シリカガラス板の製造方法とした。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
一定の方向に向かって形成された第一のツールマークを少なくとも一面に有する第一のシリカガラス板及び一定の方向に向かって形成された第二のツールマークを少なくとも一面に有する第二のシリカガラス板を準備する工程と、
前記第一のツールマークの形成方向と第二のツールマークの形成方向を同方向にして、前記ツールマークを有する面同士を向かい合わせた状態で前記第一のシリカガラス板と第二のシリカガラス板を重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせたシリカガラス板の端部から、前記ツールマークの形成方向と同方向に、順に加熱を行う加熱工程と、
を含む、
複合シリカガラス板の製造方法。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記ツールマークが、前記第一のシリカガラス板及び前記第二のシリカガラス板の少なくとも一面の全面に亘って形成された複数の線状ツールマークである、請求項１記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記線状ツールマークのＰＶ（peak-to-valley）値が、０．１μｍ～１０μｍである、請求項２記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記線状ツールマークのＰＶ（peak-to-valley）の間隔が、３０μｍ～１２０μｍである、請求項２記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記線状ツールマークが略平行である、請求項２～４いずれか１項記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項６】
前記ツールマークを有する面同士が、前記線状ツールマークが略平行の状態で向かい合わせられてなる、請求項５記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項７】
前記シリカガラス板が、不透明シリカガラス及び／又は透明シリカガラスである、請求項１記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項８】
前記加熱がバーナー火炎により行われる、請求項１記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項９】
前記バーナー火炎が、プロパンガスを燃焼ガスとしたバーナー火炎である、請求項８記載の複合シリカガラス板の製造方法。
【請求項１０】
前記シリカガラス板が、前記加熱時に延伸されてなる、請求項１記載の複合シリカガラス板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等において用いられる複合シリカガラス板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
異種又は同種のシリカガラス板を重ね合わせて加熱することにより、シリカガラス積層体である複合シリカガラスを製造する方法が知られている。従来の複合シリカガラスを製造する方法としては、例えば、特許文献１～４がある。しかし、公知の方法では重ね合わせたシリカガラス板を加熱し、積層体とする際に、シリカガラス板同士の界面部分に大きな気泡が発生しやすいという問題があった。製造過程で気泡が発生してしまうと不良品となり、歩留まりが悪化してしまう。こういった複合シリカガラスの性能に対する要求は年々高くなっており、製造過程で気泡が発生しない複合シリカガラスの製造方法が待ち望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５１－０６１５２２
特開昭６３－２０１０２６
特開２００４－０６７４５６
特開２００４－０９１３１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らが鋭意検討した結果、異種又は同種のシリカガラス板同士を、前記シリカガラス板面上の加工の際に生じたツールマークを同方向に合わせた状態でシリカガラス板同士を重ね合わせて固定し、端部から順次加熱すると、加熱時の気泡の発生が抑制されて、良好な複合シリカガラス板が得られることを見出し、本発明に到達した。
【０００５】
即ち、本発明は、異種又は同種のシリカガラス板を重ね合わせて加熱することにより、複合シリカガラス板を製造するにあたり、加熱時の気泡の発生が抑制されてなる複合シリカガラス板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の複合シリカガラス板の製造方法は、一定の方向に向かって形成された第一のツールマークを少なくとも一面に有する第一のシリカガラス板及び一定の方向に向かって形成された第二のツールマークを少なくとも一面に有する第二のシリカガラス板を準備する工程と、前記第一のツールマークの形成方向と第二のツールマークの形成方向を同方向にして、前記ツールマークを有する面同士を向かい合わせた状態で前記第一のシリカガラス板と第二のシリカガラス板を重ね合わせる工程と、前記重ね合わせたシリカガラス板の端部から、前記ツールマークの形成方向と同方向に、順に加熱を行う加熱工程と、を含む、複合シリカガラス板の製造方法である。
【０００７】
前記ツールマークが、前記第一のシリカガラス板及び前記第二のシリカガラス板の少なくとも一面の全面に亘って形成された複数の線状ツールマークであるのが好適である。
【０００８】
前記線状ツールマークのＰＶ（peak-to-valley）値が、０．１μｍ～１０μｍであるのが好適である。
【０００９】
前記線状ツールマークのＰＶ（peak-to-valley）の間隔が、３０μｍ～１２０μｍであるのが好適である。
【００１０】
前記線状ツールマークが略平行であるのが好適である。
（【００１１】以降は省略されています）

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