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公開番号
2025088996
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-06-12
出願番号
2023203901
出願日
2023-12-01
発明の名称
スポンジブラシの押出成形方法
出願人
総和工業株式会社
代理人
弁理士法人共生国際特許事務所
主分類
B29C
48/30 20190101AFI20250605BHJP(プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般)
要約
【課題】樹脂を圧入するだけで外面に螺旋状の突起を備えたスポンジブラシを金型から連続的に押出成形できるスポンジブラシの押出成形方法を提供する。
【解決手段】本発明のスポンジブラシの押出成形方法は、内周面に長さ方向に沿って伸びる螺旋状かつ断面角形の成形溝が形成されたダイスを押出金型の内部に回転しないように固定し、溶融状態の樹脂材料を押出金型の入口から連続的に圧入し、ダイスの成形溝の内部を流動させ、押出金型の出口から、外面に複数条の螺旋状突起を備えたスポンジブラシを押し出す。
【選択図】図14
特許請求の範囲
【請求項1】
内周面に長さ方向に沿って伸びる螺旋状かつ断面角形の成形溝が形成されたダイスを押出金型の内部に回転しないように固定し、溶融状態の樹脂材料を押出金型の入口から連続的に圧入し、前記ダイスの成形溝の内部を流動させ、押出金型の出口から、外面に複数条の螺旋状突起を備えたスポンジブラシを押し出すことを特徴とするスポンジブラシの押出成形方法。
続きを表示(約 140 文字)
【請求項2】
前記押出金具は、前記ダイスの上流側に、芯棒に取り付けられ、前記成形溝に樹脂材料を案内する螺旋状の羽根を形成したガイド部材が設けられ、前記樹脂材料を前記羽根に沿って流動させた後、前記ダイスに導くことを特徴とする請求項1に記載のスポンジブラシの押出成形方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、スポンジブラシの押出成形方法に関し、より詳しくは、外面に複数条の螺旋状の突起を備えた円筒状のスポンジブラシの押出成形方法に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)
【背景技術】
【0002】
半導体チップ構造は、益々の微細化、多次元化が進んでおり、ウエハーの平坦化を目指したCMP(Chemicasl Mechanical Polishing)による化学的、機械的、研磨、平坦化加工が重要となっている。CMP加工では多くのパーティクルがウエハーに付着している表面洗浄の向上や、使用する洗浄液の減少や、洗浄時間の短縮のため、ウエハーに接触して回転する螺旋状の突起を備えたスポンジブラシが望まれている。
【0003】
特許文献1には、外面に粒状の突起を備えたスポンジブラシが示される。このスポンジブラシは、特許文献1の図6に示されるような筒状の金型を用いて射出成形される。一般に射出成形は、金型の製作にコストがかかり、溶かした樹脂を金型へ注入して冷却した後、金型から取出す。
【0004】
特許文献2には、外面に螺旋状の突起を備えたスポンジブラシを、押出成形により成形することが示される。特許文献2の図13によれば、螺旋状の溝を形成するため、押出成形の口金部を回転させている。駆動モーターで口金部を回転させることで螺旋状の突起を連続的に押出形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開2013-223817号公報
特開2019-086664号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、樹脂を圧入するだけで外面に螺旋状の突起を備えたスポンジブラシを金型から連続的に押出成形できるスポンジブラシの押出成形方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明によるスポンジブラシの押出成形方法は、内周面に長さ方向に沿って伸びる螺旋状かつ断面角形の成形溝が形成されたダイスを押出金型の内部に回転しないように固定し、溶融状態の樹脂材料を押出金型の入口から連続的に圧入し、前記ダイスの成形溝の内部を流動させ、押出金型の出口から、外面に複数条の螺旋状突起を備えたスポンジブラシを押し出すことを特徴とする。
【0008】
前記押出金具は、前記ダイスの上流側に、芯棒に取り付けられ、前記成形溝に樹脂材料を案内する螺旋状の羽根を形成したガイド部材が設けられ、前記樹脂材料を前記羽根に沿って流動させた後、前記ダイスに導くことを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、内周面に螺旋状の成形溝を形成したダイスを押出金型の内部に回転しないように固定し、溶融状態の樹脂材料を押出金型の入口から連続的に圧入し、ダイスの成形溝の内部を流動させて、外面に複数条の螺旋状突起を備えたスポンジブラシを押出金型の出口から押し出すので、円筒状のスポンジブラシを連続的に成形できる。成形後は、冷却工程と切断工程を経て、所定の長さのスポンジブラシにできる。
【0010】
押出金型のダイスの上流側に、芯棒に取り付けられ、成形溝に樹脂材料を案内する螺旋状の羽根を形成したガイド部材を設け、樹脂材料を羽根に沿って流動させた後にダイスに導くようにしたので、樹脂材料がダイスの螺旋溝にスムーズに流れ込む。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)
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