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公開番号2025091496
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023206702
出願日2023-12-07
発明の名称加工水用の添加剤及び被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】添加剤における変色の度合いを低減し、且つ、添加剤において発生する気泡の量を低減する。
【解決手段】被加工物の金属含有領域を加工工具で加工する際に使用される加工水に添加される加工水用の添加剤であって、有機酸と、酸化剤と、キレート剤と、を含み、有機酸と、キレート剤とは、互いに異なる物質を含む加工水用の添加剤を提供する。キレート剤は、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、グルコン酸のうち1種類又は2種類以上の組み合わせを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物の金属含有領域を加工工具で加工する際に使用される加工水に添加される加工水用の添加剤であって、
有機酸と、酸化剤と、キレート剤と、を含み、該有機酸と、該キレート剤とは、互いに異なる物質を含むことを特徴とする加工水用の添加剤。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
該キレート剤は、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、グルコン酸のうち１種類又は２種類以上の組み合わせを有することを特徴とする請求項１に記載の加工水用の添加剤。
【請求項３】
該キレート剤の含有量は、０．００３ｗｔ％以上１．３３３ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の加工水用の添加剤。
【請求項４】
請求項１に記載の添加剤と、純水と、を含む該加工水を用いて、該被加工物の該金属含有領域を該加工工具で加工する該被加工物の加工方法であって、
加工装置の保持テーブルで該被加工物を保持する保持工程と、
該加工工具と該被加工物とが接触する加工点に該加工水を供給しながら、該金属含有領域を加工する加工工程と、
を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工水に添加される加工水用の添加剤と、被加工物の金属含有領域を加工工具で加工する被加工物の加工方法と、に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話、ＰＣ（Personal Computer）等の電子機器において使用される半導体デバイスとして、ＱＦＮ(Quad Flat Non-leaded package)等のパッケージデバイスが知られている。パッケージデバイスは、複数の半導体デバイスチップを樹脂で封止することでストリップ基板を形成した後、切削装置を用いてストリップ基板を半導体デバイスチップ単位に分割することで製造される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ストリップ基板の分割予定ライン（即ち、ストリート）には、それぞれ複数の金属端子が露出しているので、ストリップ基板を分割する際には、複数の金属端子を切削ブレードで切削することになるが、金属端子は延性及び展性を有するので、切削の際には金属のバリが生じる。
【０００４】
金属のバリは、パッケージデバイスの端子間の短絡、ボンディング不良等の問題につながる。そこで、金属のバリの量を低減するために、切削時に切削ブレードとストリップ基板との接触点（即ち、加工点）に、有機酸及び酸化剤を含む切削水を供給することで、金属のバリの量を低減することが検討されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
有機酸及び酸化剤を含む切削水を作成する際には、まず、有機酸及び酸化剤が混合された液体の添加剤を作成する。添加剤の作成後、添加剤を純水に添加することで切削水を作成した上で、切削時には、この切削水を加工点に供給する。
【０００６】
ところで、添加剤は、純水に添加される前に、数日間保管されることがあるが、この保管期間中に、添加剤の変色、添加剤における気泡の発生等生じるという問題が生じた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１１-１１４１４５号公報
特開２０１５-１７７０８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、添加剤における変色の度合いを低減し、且つ、添加剤において発生する気泡の量を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、被加工物の金属含有領域を加工工具で加工する際に使用される加工水に添加される加工水用の添加剤であって、有機酸と、酸化剤と、キレート剤と、を含み、該有機酸と、該キレート剤とは、互いに異なる物質を含む加工水用の添加剤が提供される。
【００１０】
好ましくは、該キレート剤は、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、グルコン酸のうち１種類又は２種類以上の組み合わせを有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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