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公開番号2025093840
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-24
出願番号2024071899
出願日2024-04-25
発明の名称磁気記録媒体の製造方法
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク
代理人弁理士法人ITOH
主分類G11B 5/84 20060101AFI20250617BHJP(情報記憶)
要約【課題】磁気記録媒体の表面の異物を効率よく除去でき、潤滑層による被覆率が高い磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、積層体上に潤滑層を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、積層体上に第1の潤滑剤及び第2の潤滑剤を塗布する工程と、第1の潤滑剤及び第2の潤滑剤を塗布した積層体の表面を研磨材によりバーニッシュする工程と、積層体上の第2の潤滑剤を除去する工程とを含み、第1の潤滑剤の平均分子量は、第2の潤滑剤の平均分子量より高く、第1の潤滑剤の極性は、第2の潤滑剤の極性より高く、バーニッシュする工程は、研磨材を含むテープを積層体の表面に押し当てて擦過させる工程を含み、第2の潤滑剤を除去する工程は、第1の潤滑剤及び第2の潤滑剤を塗布した積層体に紫外線を照射する工程、又は第1の潤滑剤及び第2の潤滑剤を塗布した積層体を加熱処理する工程を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に磁気記録層及び保護層をこの順で積層した積層体上に、潤滑層を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記積層体上に第１の潤滑剤及び第２の潤滑剤を塗布する工程と、
前記第１の潤滑剤及び前記第２の潤滑剤を塗布した前記積層体の表面を研磨材によりバーニッシュする工程と、
前記積層体上の前記第２の潤滑剤を除去する工程と、
を含み、
前記第１の潤滑剤の平均分子量は、前記第２の潤滑剤の平均分子量より高く、
前記第１の潤滑剤の極性は、前記第２の潤滑剤の極性より高く、
前記バーニッシュする工程は、研磨材を含むテープを前記積層体の表面に押し当てて擦過させる工程を含み、
前記第２の潤滑剤を除去する工程は、前記第１の潤滑剤及び前記第２の潤滑剤を塗布した前記積層体に紫外線を照射する工程、又は前記第１の潤滑剤及び前記第２の潤滑剤を塗布した前記積層体を加熱処理する工程を含む磁気記録媒体の製造方法。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記第２の潤滑剤は、平均分子量を３００～１０００とし、極性基を２個以下とする、又は含まない、請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第１の潤滑剤は、平均分子量を９００～３０００とし、極性基を４個～８個の範囲内とする、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記積層体上に塗布する前記第１の潤滑剤の膜厚を、５Å～１０Åとし、前記第２の潤滑剤の膜厚を、５Å～２０Åとする、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記紫外線を照射する工程は、不活性ガス雰囲気中又は真空中で行う、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記加熱処理する工程は、不活性ガス雰囲気中で行う、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
磁気記憶装置は、近年、パーソナルコンピュータ、動画レコーダ、データサーバなど様々な製品に搭載され、その重要性が増している。磁気記憶装置は、電子データを磁気記録により保存する磁気記録媒体を有する装置であり、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Hard Disk Drive）がある。
【０００３】
一般的な磁気記録媒体は、例えば、非磁性基板上に下地層、中間層、磁気記録層及び保護層をこの順に成膜し、保護層の表面に潤滑層を塗布した多層膜積層構造を有する。保護層及び潤滑層は、磁気記録媒体が磁気ヘッドとの接触摺動による摩耗損傷に起因して耐久性が劣化するのを防ぐために設けている。保護層としては、硬質炭素膜が一般的に使用され、潤滑層は、液状のパーフロロポリエーテル化合物などを表面に塗布することにより形成されている。
【０００４】
潤滑層の保護層に対する結合力を高めることを目的として、潤滑層に各種の処理を施すことが知られている。例えば、特許文献１では、塗布した潤滑層に加熱処理を施し、さらに紫外線ランプを用いた光照射処理を行う方法が開示されている。
【０００５】
また、保護層の表面の異物や突起を除去するため、研磨テープによって、磁気記録媒体の表面をテープバーニッシュが行われる。このとき、テープバーニッシュすることで保護層の表面に傷が発生することを防ぐため、テープバーニッシュを潤滑層の形成後に行うことが知られている。
【０００６】
また、特許文献２には、保護層の形成後、その表面に末端基を有さない第１の潤滑剤を塗布し、テープバーニッシュを行った後、第１の潤滑剤を溶剤で除去し、末端基を有する第２の潤滑剤を塗布する磁気記録媒体の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開平１１－２５４５２号公報
特開２００２－２２２５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
磁気記録媒体の製造に際し、潤滑層の形成後にテープバーニッシュを行うことで、潤滑層の有する潤滑性から、スクラッチ傷の発生などを低減できる。しかしながら、潤滑層に用いられる潤滑剤や膜厚ではテープバーニッシュに適さない場合がある。
【０００９】
特許文献２の磁気記録媒体の製造方法のように、テープバーニッシュに適した第１の潤滑剤を用いて加工を行った後、これを除去し、磁気記録媒体に適した第２の潤滑層を塗布することも考えられる。しかしながら、この場合、次の問題点がある。すなわち、潤滑剤の除去に用いた溶剤に溶け込んだ汚染物質や潤滑剤が処理基板に再付着し、磁気記録媒体表面の異物の原因になる。また、保護層と結合した潤滑剤を溶剤を用いて完全に除去することは困難であり、残った溶剤が磁気記録媒体表面の異物の原因となり、また、潤滑層による磁気記録媒体表面の被覆率を低下させると共に、磁気記録媒体の製造工程を複雑にする。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、磁気記録媒体の表面の異物を効率よく除去でき、潤滑層による被覆率が高い磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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