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公開番号2025095790
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023212082
出願日2023-12-15
発明の名称機能水供給装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類F04B 49/035 20060101AFI20250619BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】温度調整手段の過度な稼働による消費電力を増大させるという問題を解消することができる機能水供給装置を提供する。
【解決手段】送り出し経路R4に配設され、温度コントローラ7を通過した機能水Lの圧力を計測する圧力センサー8と、送り出し経路R4に配設され、温度コントローラ7を通過した機能水Lの一部をタンク5に戻すバイパス経路R5と、バイパス経路R5に配設され流量を調整するバイパス流量調整弁9と、を備え、制御手段100は、ポンプ6の回転数を所定の回転数で維持した状態で、圧力センサー8の値が許容値に収まるように、バイパス流量調整弁9を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置に機能水を供給する機能水供給装置であって、
機能水が貯水されたタンクと、該タンクから機能水を送り出すポンプと、該ポンプによって送り出された機能水の温度を所望の温度に調整する温度コントローラと、該温度コントローラによって所望の温度に調整された機能水を加工装置に送り出す送り出し経路と、制御手段と、を含み、
該送り出し経路に配設され、該温度コントローラを通過した機能水の圧力を計測する圧力センサーと、
該送り出し経路に配設され、該温度コントローラを通過した機能水の一部を該タンクに戻すバイパス経路と、該バイパス経路に配設され流量を調整するバイパス流量調整弁と、を備え、
該制御手段は、該ポンプの回転数を所定の回転数で維持した状態で、該圧力センサーの値が許容値に収まるように、該バイパス流量調整弁を制御する機能水供給装置。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
該制御手段は、該バイパス流量調整弁の開度を調整して該タンクに戻す流量が目安を超えて多く戻されている場合は、該ポンプの回転数を減少させて該タンクに戻す流量が該目安に収まるように制御する請求項１に記載の機能水供給装置。
【請求項３】
該制御手段は、該ポンプの回転数を減少させることで、該ポンプの許容回転数を下回るおそれがあると判定される場合は、該ポンプの回転数が該許容回転数を下回らないように該タンクに戻す機能水の流量が該目安を超えることを許容して該バイパス流量調整弁の開度を調整する請求項２に記載の機能水供給装置。
【請求項４】
加工装置で使用された使用済みの機能水を濾過しイオン交換樹脂によって純水を生成する純水生成手段を備え、該純水生成手段によって生成された純水を該タンクに戻す循環経路が配設される請求項１に記載の機能水供給装置。
【請求項５】
加工装置が複数設置されている場合、該送り出し経路は、分配部を備え複数の加工装置に機能水を分配する請求項１に記載の機能水供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に機能水を供給する機能水供給装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削ホイールに研削水（純水）を供給する研削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に研削することができる（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、切削ブレードに切削水（純水）を供給する切削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されていており、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献２を参照）。
【０００５】
また、研削装置及びダイシング装置で使用する研削水、切削水、洗浄水、研削手段及び切削手段を一定の温度に調整する冷却水を含む機能水は、純水設備（水源）から供給されてタンクに貯水され、タンクに貯水された純水が、ポンプによって温度を調整する温度調整手段に送り込まれ、所望の温度に調整されて、研削装置、ダイシング装置等の加工装置に供給される。そして、供給された機能水は、各加工装置が備えた流量調整手段によって適宜流量が調整されて、切削水、研削水、洗浄水、冷却水等として使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８７６８号公報
特開２０１９－１４５５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、タンクに貯水された純水を温度調整手段に送り込むポンプは、加工装置が使用する機能水の最大値に対応して機能水を多めに供給するように作動しており、ポンプの過度な作動に伴って消費電力が増大し、さらにポンプの稼働に伴う発熱が機能水を加熱し、その結果、温度調整手段の過度な稼働による消費電力を増大させるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、ポンプの過度な作動に伴って消費電力が増大し、さらにポンプの稼働に伴う発熱が機能水を加熱し、その結果、温度調整手段の過度な稼働による消費電力を増大させるという問題を解消することができる機能水供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、加工装置に機能水を供給する機能水供給装置であって、機能水が貯水されたタンクと、該タンクから機能水を送り出すポンプと、該ポンプによって送り出された機能水の温度を所望の温度に調整する温度コントローラと、該温度コントローラによって所望の温度に調整された機能水を加工装置に送り出す送り出し経路と、制御手段と、を含み、該送り出し経路に配設され、該温度コントローラを通過した機能水の圧力を計測する圧力センサーと、該送り出し経路に配設され、該温度コントローラを通過した機能水の一部を該タンクに戻すバイパス経路と、該バイパス経路に配設され流量を調整するバイパス流量調整弁と、を備え、該制御手段は、該ポンプの回転数を所定の回転数で維持した状態で、該圧力センサーの値が許容値に収まるように、該バイパス流量調整弁を制御する機能水供給装置が提供される。
【００１０】
該制御手段は、該バイパス流量調整弁の開度を調整して該タンクに戻す流量が目安を超えて多く戻されている場合は、該ポンプの回転数を減少させて該タンクに戻す流量が該目安に収まるように制御することが好ましい。また、該制御手段は、該ポンプの回転数を減少させることで、該ポンプの許容回転数を下回るおそれがあると判定される場合は、該ポンプの回転数が該許容回転数を下回らないように該タンクに戻す機能水の流量が該目安を超えることを許容して該バイパス流量調整弁の開度を調整することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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