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公開番号2025097526
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023213758
出願日2023-12-19
発明の名称貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法及びエッジトリミング装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 7/04 20060101AFI20250624BHJP(研削;研磨)
要約【課題】貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの面取り部を除去するトリミング加工において、ウェーハを破損させないようにする。
【解決手段】貼り合わせウェーハ9を構成する他方のウェーハをチャックテーブルに保持させる保持工程と、回転する貼り合わせウェーハ9の回転方向Aに逆らう回転方向Bに円板砥石212を回転させ円板砥石212を用いて一方のウェーハ91の外周部分913を予め設定した設定厚みになるまで研削する第1研削工程と、第1研削工程において研削された部分を、円板砥石222を第1研削工程のときの回転方向Bとは逆方向の回転方向Cに回転させ、円板砥石222を用いて外周部分913をリング状に除去する第2研削工程と、でエッジトリミング方法を構成する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも２枚のウェーハを貼り合わせた貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの外周部分を円板砥石の外側面で研削してリング状に除去する貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法であって、
貼り合わせウェーハを構成する他方のウェーハをチャックテーブルに保持させる保持工程と、
該チャックテーブルを回転させることによって回転する該貼り合わせウェーハの回転方向に逆らう方向に該円板砥石を回転させ、該円板砥石を用いて該一方のウェーハの外周部分を予め設定した設定厚みになるまで研削する第１研削工程と、
該第１研削工程において研削された部分を、該第１研削工程のときの回転方向とは逆方向に回転する円板砥石を用いて該外周部分をリング状に除去する第２研削工程と、
からなる、貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
該第１研削工程を実施する第１円板砥石と、
該第２研削工程を実施する第２円板砥石と、を用い、
該第１円板砥石によって該第１研削工程を実施する加工点よりも該チャックテーブルの回転方向の下流側にて、該第２円板砥石によって該第２研削工程を実施する
請求項１記載の貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法。
【請求項３】
少なくとも２枚のウェーハを貼り合わせた貼り合わせウェーハのエッジトリミングを実施するエッジトリミング装置であって、
該貼り合わせウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸として該チャックテーブルを回転させるテーブル回転機構と、第１円板砥石を第１スピンドルの先端に装着し回転させる第１研削機構と、第２円板砥石を第２スピンドルの先端に装着し回転させる第２研削機構と、該貼り合わせウェーハの厚みを測定する厚み測定機構と、を備え、
該第１スピンドルは、該チャックテーブルの回転方向に対して逆方向に該第１円板砥石を回転させ、
該第２スピンドルは、該チャックテーブルの回転方向に対して順方向に該第２円板砥石を回転させ、
該第１円板砥石で研削している部分の厚みを該厚み測定機構で測定して、測定した厚みが所定の厚みになったら、該第２円板砥石による研削加工を開始させる制御部と、
を備える、エッジトリミング装置

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの外周部分をリング状に除去するエッジトリミング方法及びこのエッジトリミング方法の実施に使用するエッジトリミング装置に関する。
続きを表示（約 3,400 文字）【背景技術】
【０００２】
外周縁が面取りされているウェーハの一方の面を研削すると、外周縁が鋭角に形成されて割れや欠けが生じることがあるため、ウェーハの外周縁をリング状に加工して、ウェーハの外周縁の面取り部を除去するトリミング加工をしている（例えば特許文献１参照）。このようなトリミング加工は、特許文献１に示されているように、円板状の砥石（円板砥石）を回転させ、回転するウェーハに回転する円板砥石の外側面を接触させることによって行われている。このとき、ウェーハの面取り部を効率良く除去するために、円板砥石の回転方向は、ウェーハの回転方向に逆らう方向としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－１４９８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの面取り部をトリミングする際に、研削された部分の厚みが薄くなってくると、円板砥石の回転によってトリミングされている部分が持ち上げられ、トリミング加工している部分が割れるという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの面取り部を除去するトリミング加工において、ウェーハを破損させないようにするという解決すべき課題を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本エッジトリミング方法は、少なくとも２枚のウェーハを貼り合わせた貼り合わせウェーハを構成する一方のウェーハの外周部分を円板砥石の外側面で研削してリング状に除去する貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法であって、貼り合わせウェーハを構成する他方のウェーハをチャックテーブルに保持させる保持工程と、該チャックテーブルを回転させることによって回転するウェーハの回転方向に逆らう方向に該円板砥石を回転させ、該円板砥石を用いて該一方のウェーハの外周部分を予め設定した設定厚みになるまで研削する第１研削工程と、該第１研削工程のときの回転方向とは逆方向に回転する円板砥石を用いて該外周部分をリング状に除去する第２研削工程と、からなる。
この貼り合わせウェーハのエッジトリミング方法は、該第１研削工程を実施する第１円板砥石と、該第２研削工程を実施する第２円板砥石と、を用い、該第１円板砥石によって該第１研削工程を実施する加工点よりも該チャックテーブルの回転方向の下流側にて、該第２円板砥石によって該第２研削工程を実施するようにしてもよい。
また、本エッジトリミング装置は、少なくとも２枚のウェーハを貼り合わせた貼り合わせウェーハのエッジトリミングを実施するエッジトリミング装置であって、該貼り合わせウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸として該チャックテーブルを回転させるテーブル回転機構と、第１円板砥石を第１スピンドルの先端に装着し回転させる第１研削機構と、第２円板砥石を第２スピンドルの先端に装着し回転させる第２研削機構と、該貼り合わせウェーハの厚みを測定する厚み測定機構と、を備え、該第１スピンドルは、該チャックテーブルの回転方向に対して逆方向に該第１円板砥石を回転させ、該第２スピンドルは、該チャックテーブルの回転方向に対して順方向に該第２円板砥石を回転させ、該第１円板砥石で研削している部分の厚みを該厚み測定機構で測定して、測定した厚みが所定の厚みになったら、該第２円板砥石による研削加工を開始させる制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本エッジトリミング方法は、第１研削工程ではウェーハの回転方向に逆らう方向に回転する円板砥石を用いて外周部分をリング状に研削し、第２研削工程では第１研削工程における円板砥石の回転方向とは逆の方向に回転する円板砥石を用いて第１研削工程で研削した残りの部分をリング状に研削して除去する。したがって、第１研削工程では研削を効率よく行うことができ、第２研削工程では円板砥石が被研削ウェーハと同方向に回転して抵抗が小さく砥石の回転によってトリミングされる部分が持ち上げられるのを回避することができるため、トリミングの生産性を低下させずに、かつ、ウェーハを破損させずに、エッジトリミングを行うことができる。
第１研削工程では第１円板砥石を用い、第２研削工程では第２円板砥石を用い、第１円板砥石によって第１研削工程を実施する加工点よりもチャックテーブルの回転方向の後方において、第２円板砥石によって第２研削工程を実施することにより、第１円板砥石によって研削された部分をすぐに第２円板砥石によって研削することができ、第１研削工程と第２研削工程とを並行して行うことができるため、生産性を高めることができる。
本エッジトリミング装置は、貼り合わせウェーハを保持するチャックテーブルと、第１スピンドルに装着した第１円板砥石と、第２スピンドルに装着した第２円板砥石と、貼り合わせウェーハの厚みを測定する厚み測定機構とを備え、第１円板砥石をチャックテーブルの回転方向に対して逆方向に回転させて研削し、第１円板砥石で研削している部分の厚みを厚み測定器で測定し、測定した厚みが所定の厚みになったら、第２円板砥石をチャックテーブルの回転方向に対して順方向に回転させて研削を開始するため、第１円板砥石を用いた研削を効率よく行うことができ、第２円板砥石を用いた研削では抵抗が小さく砥石の回転によってトリミングされる部分が持ち上げられるのを回避することができるため、トリミングの生産性を低下させずに、かつ、ウェーハを破損させずに、エッジトリミングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
エッジトリミング装置の例を示す斜視図である。
貼り合わせウェーハをチャックテーブルにおいて保持した状態を示す正面図である。
第１実施形態のエッジトリミング方法における貼り合わせウェーハと第１研削機構及び第２研削機構と厚み測定機構とを示す平面図である。
第１実施形態のエッジトリミング方法における第１研削工程を示す正面図である。
第１実施形態のエッジトリミング方法における第２研削工程を示す正面図である。
第２実施形態のエッジトリミング方法における貼り合わせウェーハと第１研削機構及び第２研削機構と厚み測定機構とを示す平面図である。
第３実施形態のエッジトリミング方法における第１研削工程を示す平面図である。
第３実施形態のエッジトリミング方法における第１研削工程を示す正面図である。
第３実施形態のエッジトリミング方法における第２研削工程を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
１第１実施形態
図１に示すエッジトリミング装置１は、基台７と、基台７から立設され開口部８０を有する門型コラム８とを備えており、貼り合わせウェーハ９を保持するチャックテーブル１０が門型コラム８の開口部８０を通ってＸ軸方向に水平移動可能となっている。また、貼り合わせウェーハ９を研削する第１研削機構２１及び第２研削機構２２が門型コラム８の側面に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。
【００１０】
図２に示すように、チャックテーブル１０において保持される貼り合わせウェーハ９は、一方のウェーハである被研削ウェーハ９１と他方のウェーハである支持ウェーハ９２とで構成され、被研削ウェーハ９１の下面９１２と支持ウェーハ９２の上面９２１とを貼り合わせて構成されている。被研削ウェーハ９１の上面は、第１研削機構２１及び第２研削機構２２によって研削される面であり、支持ウェーハ９２の下面９２２は、チャックテーブル１０に保持される面である。被研削ウェーハ９１の外周部分９１３は面取りされている。なお、３枚以上のウェーハを貼り合わせた貼り合わせウェーハもあり、その場合も、最も上にあるウェーハが被研削ウェーハとなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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