特許ウォッチ

公開番号2025089815
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204707
出願日2023-12-04
発明の名称切削装置
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類B24B 53/00 20060101AFI20250609BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削中に回転刃が研磨された状態を維持することが難しい。
【解決手段】切削装置10は、切削対象物を載置可能な載置面25Sを有するチャックテーブル25と、円盤状の回転刃34と、柱状の砥石44と、砥石44の位置を制御可能な第2制御部52と、を備えている。砥石44は、回転刃34に対して相対移動可能である。回転刃34は、当該回転刃34の中心軸を第1回転軸A1として回転可能である。第2制御部52は、回転刃34が回転している状態で、砥石44の外周面が回転刃34の外周面34Pに接触するように砥石44を第1回転軸A1に平行な方向に断続的に移動させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
切削対象物を載置可能な載置面を有するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに対して相対移動可能な円盤状の回転刃と、
前記回転刃に対して相対移動可能な柱状の砥石と、
前記回転刃の位置及び前記砥石の位置を制御可能な制御部と、を備え、
前記回転刃は、当該回転刃の中心軸を回転軸として回転可能であり、
前記制御部は、前記回転刃が回転している状態で、前記砥石の外周面が前記回転刃の外周面に接触するように前記砥石を前記回転軸に平行な方向に断続的に移動させる
切削装置。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記回転刃の前記回転軸を第１回転軸としたとき、
前記砥石は、前記第１回転軸に沿う方向に延びる円柱状であり、
前記制御部は、前記回転刃が回転している状態で、前記砥石の中心軸を第２回転軸として前記砥石を回転させる
請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記回転刃の外周面が、前記砥石の外周面上を螺旋状の軌跡で接触するように、前記砥石の回転及び前記砥石の前記第２回転軸に沿う方向の移動を制御する
請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
前記第２回転軸に平行な方向から視たとき、前記砥石は円弧状の切り欠きを有し、当該切り欠きの曲率半径は前記回転刃の半径以上であり、
前記制御部は、前記回転刃が回転している状態で、前記回転刃の前記外周面と、前記切り欠きの内周面とが接触するように、前記砥石の位置を制御する
請求項２に記載の切削装置。
【請求項５】
前記砥石の外周面の凹凸を研削するためのツルーイングユニットを備える
請求項２に記載の切削装置。
【請求項６】
前記チャックテーブルは、前記載置面に直交する第３回転軸を中心として回転可能であり、
前記チャックテーブルが特定の回転位置にある状態を初期角度位置としたとき、
前記制御部は、前記チャックテーブルの前記初期角度位置からの回転角度に応じて、前記砥石の回転速度を制御可能である
請求項２に記載の切削装置。
【請求項７】
前記回転刃の摩耗量を検出する検出部を備え、
前記制御部は、前記回転刃の摩耗量に応じて、前記砥石の外周面と前記回転刃の外周面との距離を制御可能である
請求項１に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されている切削装置は、回転刃と、ドレステーブルと、ドレスボードと、チャックテーブルと、を備えている。回転刃は、チャックテーブルの主面上に設置されたウェハ等の物体を切削可能である。ドレステーブルは、チャックテーブルとの一体構造物である。ドレステーブルの主面と、チャックテーブルの主面とは、略同一平面上に位置している。ドレスボードは、回転刃の端縁を研磨可能な板状の砥石である。ドレスボードは、ドレステーブルの主面上に取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－１５９３３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されているような切削装置において、回転刃をドレスするためには、回転刃によるウェハ等の切削作業を中断して、回転刃をドレスボードで研磨する必要がある。その一方で、回転刃でウェハ等の切削対象物を切削している最中でも、当該回転刃の摩耗は進行する。そのため、切削を行っている最中において、回転刃を研磨された状態のまま維持することが難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は、切削対象物を載置可能な載置面を有するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対して相対移動可能な円盤状の回転刃と、前記回転刃に対して相対移動可能な柱状の砥石と、前記回転刃の位置及び前記砥石の位置を制御可能な制御部と、を備え、前記回転刃は、当該回転刃の中心軸を回転軸として回転可能であり、前記制御部は、前記回転刃が回転している状態で、前記砥石の外周面が前記回転刃の外周面に接触するように前記砥石を前記回転軸に平行な方向に断続的に移動させる切削装置である。
【発明の効果】
【０００６】
切削中でも回転刃が研磨された状態を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、切削装置の正面図である。
図２は、切削装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜切削装置の一実施形態＞
以下、切削装置の一実施形態を説明する。なお、図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図面中のものと異なる場合がある。
【０００９】
（全体構成について）
図１に示すように、切削装置１０は、セラミックを含むグリーンシート、及び樹脂と金属との積層複合品等のワーク１００を切削する装置である。切削装置１０は、ベース筐体２１と、移動テーブル２２と、Ｘ駆動機構２３と、を有している。
【００１０】
ベース筐体２１は、略直方体状の筐体である。ベース筐体２１は、地面に対して固定される。ベース筐体２１は、上面を有する。ベース筐体２１の上面は、当該ベース筐体２１が地面に固定されたときに、重力方向とは反対方向を向く平面である。ここで、ベース筐体２１の上面に平行な方向のうち、特定の１つの方向を第１軸Ｘとする。当該上面に平行且つ第１軸Ｘに直交する軸を第２軸Ｙとする。第１軸Ｘ及び第２軸Ｙに直交する軸、すなわちベース筐体２１の上面に直交する軸を第３軸Ｚとする。また、第１軸Ｘに沿う方向のうちの特定の一方向を第１正方向Ｘ１とし、第１正方向Ｘ１と反対方向を第１負方向Ｘ２とする。第２軸Ｙに沿う方向のうち特定の一方向を第２正方向Ｙ１とし、第２正方向Ｙ１と反対方向を第２負方向Ｙ２とする。さらに、第３軸Ｚに沿う方向のうちベース筐体２１の上面が向く方向を第３正方向Ｚ１とし、第３正方向Ｚ１と反対方向を第３負方向Ｚ２とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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