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公開番号2025090953
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-18
出願番号2023205863
出願日2023-12-06
発明の名称砥石
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24D 3/02 20060101AFI20250611BHJP(研削;研磨)
要約【課題】洗浄時間を短縮可能とする、自生発刃作用が良好で欠けにくい砥石を提供する。
【解決手段】研削砥石66は、砥粒と、結合剤と、親水性粉末と、からなる。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を切削または研削する砥石であって、
砥粒と、結合剤と、親水性粉末と、からなる砥石。
続きを表示（約 110 文字）【請求項２】
該親水性粉末は、該砥石に対し体積比１０％以上３０％以下で配合する、請求項１記載の砥石。
【請求項３】
該親水性粉末は、セルロース骨格である、請求項１または請求項２に記載の砥石。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削する研削装置では、研削屑が発生するが、研削時に研削水を供給することにより、その多くが研削水とともに排水される。しかしながら、一部の研削屑は、研削水が霧状となって加工室内に充満した水蒸気とともに加工室内にとどまり、加工室カバーなどに付着する。加工室内が乾燥した後に加工室カバーが開閉されると、カバーに付着した研削屑が飛散するため、研削装置が置かれているクリーンルームを汚染してしまう。
【０００３】
このような技術的な課題に関連する技術は、例えば特許文献１に記載されている。特許文献１には、研削屑が付着した加工室カバーを洗浄する技術が記載されている。
【０００４】
また、研削装置におけるサファイアやＳｉＣのような硬質なワークの研削には、砥粒が強固に保持された砥石が用いられるが、そのような砥石は一般に自生発刃作用が生じにくい。そのため、頻繁にドレッシングを行う必要があり、生産性が低下してしまう。
【０００５】
このような技術的な課題に関連する技術は、例えば、特許文献２に記載されている。特許文献２には、スポンジ部材に流動性砥粒を含浸させた含浸スポンジ体を焼結することで、自生発刃作用が生じやすい砥石を製造する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１５－０３６１６２号公報
特開２００６－３４６８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の技術は、研削後に加工室の内壁へ研削水を噴射することで内壁に付着した研削屑を洗い流すものであるが、この洗浄時間が長くかかるとスループットが低下し、且つ、洗浄に用いられる水の量も増加するため、不経済である。
【０００８】
特許文献２に記載の技術は、自生発刃作用を促進する構成により研削砥石全体の強度が低下するため、例えば、研削砥石をワークに接触させたときの衝撃、ワークの外周縁に研削砥石が接触した衝撃等によって、研削砥石が欠けやすい。
【０００９】
なお、以上では研削加工を例に説明したが、研削加工に限らず切削加工などの砥石を用いた加工処理全般において同様の課題が生じ得る。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、洗浄時間を短縮可能とする、自生発刃作用が良好で欠けにくい砥石を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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