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公開番号2025103746
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221358
出願日2023-12-27
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20250702BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工室内で飛散する加工水の噴霧に含まれる加工屑を排気管内で溜めて取り出すことができ、噴霧の加工室からの排出を効果的に行うこと。
【解決手段】チャックテーブル(保持ユニット)10と、研削ユニット(加工ユニット)20と、加工室Sと、加工水供給部40と、研削砥石25bの回転による遠心力を受けて飛散する研削水の噴霧を加工室Sから排出する排気部50とを備える研削装置(加工装置)1において、排気部50は、加工室Sの側板31Cに開口する排気口31cと、該排気口31cと吸引源54とを接続する排気管51と、を備え、排気管51は、排気口31cから水平に延びる水平管51Aと、該水平管51Aから鉛直方向に延びる鉛直管51Bと、水平管51Aと鉛直管51Bとを連結するエルボ51Cと、加工屑を溜める溜め部62Bを有して水平管51Aとエルボ51Cに脱着可能に配置された取り出し部60を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持ユニットと、加工具を回転させて被加工物を加工する加工ユニットと、前記保持ユニットに保持された被加工物と前記加工具とを収容する加工室と、該加工室内で被加工物と前記加工具に加工水を供給する加工水供給部と、前記加工具の回転による遠心力を受けて飛散する加工水の噴霧を前記加工室から排出する排気部とを備える加工装置であって、
前記排気部は、
前記加工室の側板に開口する排気口と、
該排気口と吸引源とを接続する排気管と、
を備え、
前記排気管は、
前記排気口から水平に延びる水平管と、
該水平管から鉛直方向に延びる鉛直管と、
前記水平管と前記鉛直管とを連結するエルボと、
加工屑を溜める溜め部を有して前記水平管と前記エルボに脱着可能に配置された取り出し部と、
を備えることを特徴とする加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工室内に収容された保持ユニットに保持されたウェーハなどの被加工物と加工具に加工水を供給しながら被加工物を加工ユニットによって加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、各種電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの小型化と軽量化のために、ウェーハの裏面が研削装置によって研削されて該ウェーハが所定の厚みまで薄化されている。すなわち、研削装置においては、加工室内に収容された保持ユニットに保持されたウェーハと加工具である研削砥石に研削水を供給しながらウェーハを研削砥石によって所定厚みまで研削している（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
ところで、上記研削装置において、ウェーハと研削砥石に研削水を供給しながらウェーハを研削砥石によって研削すると、研削砥石の回転によって研削水が噴霧となって加工室内で飛散し、噴霧に含まれる研削屑が加工室の内壁に付着するという問題が発生する。このため、研削水の噴霧を加工室から排出することが行われている。すなわち、加工室の側板に開口する排気口を排気管によって吸引源に連通させ、吸引源によって加工室内の噴霧を排気口から排気管を経て外部に排出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０９４６６９号公報
特開２０２３－１５４４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、研削水の噴霧に含まれる研削屑の量が多い場合には、排気管に研削屑が溜まって噴霧の排出量が減少し、研削屑を加工室から効果的に排出することができないという問題が発生する。また、排気管内で研削屑が塊となって排気管の一部を塞ぎ、排気管からの噴霧の排出が妨げられるという問題が発生する。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、加工室内で飛散する加工水の噴霧に含まれる加工屑を排気管内で溜めて取り出すことができ、噴霧の加工室からの排出を効果的に行うことができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明は、被加工物を保持する保持ユニットと、加工具を回転させて被加工物を加工する加工ユニットと、前記保持ユニットに保持された被加工物と前記加工具とを収容する加工室と、該加工室内で被加工物と前記加工具に加工水を供給する加工水供給部と、前記加工具の回転による遠心力を受けて飛散する加工水の噴霧を前記加工室から排出する排気部とを備える加工装置であって、前記排気部は、前記加工室の側板に開口する排気口と、該排気口と吸引源とを接続する排気管と、を備え、前記排気管は、前記排気口から水平に延びる水平管と、該水平管から鉛直方向に延びる鉛直管と、前記水平管と前記鉛直管とを連結するエルボと、加工屑を溜める溜め部を有して前記水平管と前記エルボに脱着可能に配置された取り出し部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、加工室内において発生した研削水の噴霧が排気管の鉛直管を流れる過程で、比重の大きな研削屑が自重によって落下して取り出し部の溜め部によって受けられて回収されると、排気管には、研削水が除去された噴霧のみが流れるため、排気管の内部に研削屑が溜まって排気管の噴霧の流れを阻害することがない。この結果、加工室からの噴霧の排出量が減少することがなく、研削屑を加工室から効果的に排出することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明に係る加工装置の一形態である研削装置の斜視図である。
図１に示す研削装置要部の側断面図である。
図１に示す研削装置の構成を示すブロック図である。
図２のＡ部の斜視図である。
図２のＡ部の断面斜視図である。
図５のＢ部の拡大側断面図である。
取り出し部の分解斜視図である。
（ａ）～（ｄ）は取り出し部の分解方法をその工程順に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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