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公開番号2025120305
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2025094334,2022579540
出願日2025-06-05,2022-01-31
発明の名称ネガ型感光性組成物及び中空構造体の製造方法
出願人東京応化工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/027 20060101AFI20250807BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】加熱処理による天板部の変形が抑制される、ネガ型感光性組成物及び中空構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、多官能(メタ)アクリレート化合物と、光ラジカル重合開始剤と、を含有する、中空構造体の天板部を形成するためのネガ型感光性組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
エポキシ基含有化合物と、
カチオン重合開始剤と、
多官能（メタ）アクリレート化合物と、
光ラジカル重合開始剤と、
を含有する、中空構造体の天板部を形成するためのネガ型感光性組成物。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記エポキシ基含有化合物の含有量は、前記エポキシ基含有化合物と前記多官能（メタ）アクリレート化合物との合計の含有量１００質量部に対して、５０質量部以上である、請求項１に記載のネガ型感光性組成物。
【請求項３】
シリカナノ粒子をさらに含有する、請求項１又は２に記載のネガ型感光性組成物。
【請求項４】
前記カチオン重合開始剤の含有量は、前記多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量１００質量部に対して、０．０１～５０質量部である、請求項１～３のいずれか一項に記載のネガ型感光性組成物。
【請求項５】
凹部と、この凹部の開口面を塞ぐ天板部と、からなる中空構造体の製造方法であって、
前記天板部を、請求項１～４のいずれか一項に記載のネガ型感光性組成物を用いて形成する、中空構造体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ネガ型感光性組成物及び中空構造体の製造方法に関する。
本願は、２０２１年２月８日に日本に出願された、特願２０２１－０１８１５２号に基づき優先権主張し、その内容をここに援用する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表面弾性波（ＳＡＷ）フィルター等の微小電子デバイスの開発が進められている。このような電子デバイスを封止したパッケージは、表面弾性波の伝播、電子デバイスの可動部材の可動性を確保するための中空構造を有している。
前記中空構造の形成には感光性組成物が用いられ、電極が形成された配線基板上を中空に保ったままモールド成型することによりパッケージが製造される。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基板上に形成されたＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ）を覆うようにキャビティ確保部を形成して中空構造体を作製する工程と、トランスファー成形によって中空構造体全体を封止層で封止する工程と、を有する中空パッケージの製造方法について開示されている。また、特許文献１には、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤とを含有してなるネガ型感光性組成物が開示されている。
【０００４】
前記キャビティ確保部は以下のようにして形成されている。
ＭＥＭＳの周囲に感光性組成物を塗布した後、フォトマスクを介して露光、ポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ）、現像を行い、側壁を作製する。
次に、ベースフィルムと感光性組成物層とカバーフィルムとがこの順に積層したドライフィルムレジストから、カバーフィルムを剥離したものを、前記側壁の上方にラミネートして天板部を形成し、再度フォトマスクを介して露光、ＰＥＢ、現像を行い、不要な部分を除去して天板部を作製することにより、キャビティ確保部が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２００９／１５１０５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
中空構造体を作製する際、一般的に、感光性組成物層の硬化膜強度を高めるため、現像後の前記キャビティ確保部に対して、例えば２００℃以上の高温加熱処理（キュア操作）がさらに行われる。中空構造体を作製する際のＰＥＢの加熱処理やキュア操作の高温加熱処理によって、中空構造内部の空気が膨張し、天板部が膨らんでしまうドーミングという現象が生じることがある。
特許文献１に記載のネガ型感光性組成物等、従来のネガ型感光性組成物を中空構造体の天板部として用いると、その配合バランスによって、ドーミング現象が発生し、中空構造体を有する電子部品の低背化が困難になるという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、加熱処理による天板部の変形が抑制される、ネガ型感光性組成物及び中空構造体の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の第１の態様は、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、多官能（メタ）アクリレート化合物と、光ラジカル重合開始剤と、を含有する、中空構造体の天板部を形成するためのネガ型感光性組成物である。
換言すれば、本発明の第１の態様は、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、多官能（メタ）アクリレート化合物と、光ラジカル重合開始剤と、を含有するネガ型感光性組成物の、中空構造体の天板部を形成への使用である。
【０００９】
本発明の第２の態様は、凹部と、この凹部の開口面を塞ぐ天板部と、からなる中空構造体の製造方法であって、前記天板部を、上記第１の態様に係るネガ型感光性組成物を用いて形成する、中空構造体の製造方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、加熱処理による天板部の変形が抑制される、ネガ型感光性組成物及び中空構造体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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