特許ウォッチ

公開番号2025125812
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2024022010
出願日2024-02-16
発明の名称機械用部材および機械用部材の製造方法
出願人学校法人五島育英会
代理人個人
主分類C01B 32/05 20170101AFI20250821BHJP(無機化学)
要約【課題】自己潤滑において、より潤滑特性を向上させること。
【解決手段】本開示の機械用部材は、基材と、前記基材の上方に設けられ、非晶質の炭素原子のネットワークにより構成される炭素膜により形成される薄膜層と、を備え、前記薄膜層は、内部に潤滑液を含侵する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
機械用部材であって、
基材と、
前記基材の上方に設けられ、非晶質の炭素原子のネットワークにより構成される炭素膜により形成される薄膜層と、を備え、
前記薄膜層は、内部に潤滑液を含侵する、機械用部材。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
請求項１に記載の機械用部材であって、
前記炭素膜を構成する炭素原子の少なくとも一部はフッ素と結合している、
機械用部材。
【請求項３】
請求項２に記載の機械用部材であって、
前記炭素膜のラマン分光法に基づくスペクトルにより特定されるＧピークの強度に対するＤピークの強度の比であるＩＤ／ＩＧは、０．５以上、１．２以下である、
機械用部材。
【請求項４】
請求項２に記載の機械用部材であって、
前記炭素膜のラマン分光法に基づくスペクトルにより特定されるＧピークの位置は、１５５０ｃｍ
－１
以上である、
機械用部材。
【請求項５】
請求項１に記載の機械用部材であって、
前記炭素膜のラマン分光法に基づくスペクトルにより特定されるＧピークの強度に対するＤピークの強度の比であるＩＤ／ＩＧは、０．７５以上であり、
前記炭素膜のラマン分光法に基づくスペクトルにより特定されるＧピークの位置は、１５５０ｃｍ
－１
以上である、
機械用部材。
【請求項６】
機械用部材の製造方法であって、
基材の上方に非晶質の炭素原子のネットワークにより構成される炭素膜を含む薄膜層を形成するステップと、
前記薄膜層に対し潤滑液を含侵させるステップと、
を含む、機械用部材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械用部材および機械用部材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
機械用部材の潤滑特性を向上させるため、ダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ＬｉｋｅＣａｒｂｏｎ；ＤＬＣ）のような炭化水素膜などの固体潤滑膜の開発が進められている。例えば、下記特許文献１には、潤滑油による潤滑特性に適したＤＬＣ膜に関する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－８９６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、サステナビリティの観点や様々な環境適応性の観点から、自己潤滑タイプのベアリング等の摺動部材（機械用部材の一例）が多く用いられている。一方で求められる高潤滑を実現するためには、固体潤滑膜のみを用いるのでは困難である。
【０００５】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、自己潤滑において、より潤滑特性を向上させることが可能な機械用部材のおよび機械用部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、機械用部材であって、基材と、前記基材の上方に設けられ、非晶質の炭素原子のネットワークにより構成される炭化水素膜により形成される薄膜層と、を備え、前記薄膜層は、内部に潤滑液を含侵する、機械用部材が提供される。
【０００７】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、機械用部材の製造方法であって、基材の上方に非晶質の炭素原子のネットワークにより構成される炭化水素膜を含む薄膜層を形成するステップと、前記薄膜層に対し潤滑液を含侵させるステップと、を含む、機械用部材の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
以上説明したように本発明によれば、自己潤滑において、より潤滑特性を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施形態に係る摺動部材１の構成例を示す図である。
同実施形態に係る摺動部材１を用いた場合の潤滑メカニズムの一例を示した模式図である。
ラマン分光法によるＤＬＣ膜の評価の一例を示す図である。
本実施例に係るＤＬＣ膜３の構造特性を示すパラメータの一例である。
同実施例に係るＤＬＣ膜３の構造特性を示すパラメータの一例である。
同実施例に係るＤＬＣ膜３の構造特性を示すパラメータの一例である。
同実施例に係る－１０ｋＶの負圧パルスで成膜したときのフッ素添加無しＤＬＣ膜の摩擦係数の推移を示すグラフである。
同実施例に係る－１０ｋＶの負圧パルスで成膜したときのフッ素添加無しＤＬＣ膜の摩擦試験後の試験片および鉄球の摩耗痕を示す光学顕微鏡像である。
同実施例に係る－１．５ｋＶの負圧パルスで成膜したときのフッ素添加無しＤＬＣ膜の摩擦係数の推移を示すグラフである。
同実施例に係る－１．５ｋＶの負圧パルスで成膜したときのフッ素添加無しＤＬＣ膜の摩擦試験後の試験片および鉄球の摩耗痕を示す光学顕微鏡像である。
同実施例に係る各負圧パルスで成膜したときのフッ素添加ＤＬＣ膜のまた積係数の推移を示すグラフである。
同実施例に係る－３ｋＶの負圧パルスで成膜したフッ素添加ＤＬＣ膜の摩擦試験後の試験片および鉄球の摩耗痕を示す光学顕微鏡像である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許