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公開番号2025139465
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-26
出願番号2024038419
出願日2024-03-12
発明の名称活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物、及び活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート
出願人三菱ケミカル株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C09J 133/00 20060101AFI20250918BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、小さい力で延伸性に優れる粘着剤組成物を提供する。
【解決手段】アクリル系樹脂(A)、活性エネルギー線硬化性化合物(B)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物の固形分中のアクリロイル基濃度が0.2～6.0質量%である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
アクリル系樹脂（Ａ）と、活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）とを含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物の固形分中のアクリロイル基濃度が０．２～６．０質量％である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）が、０℃以下である請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項３】
前記アクリル系樹脂（Ａ）が、カルボキシ基含有モノマー（ａ２－１）由来の構造単位を有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項４】
前記活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）の含有量が、ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）を含有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項５】
前記活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）が、アクリル系樹脂（Ａ）１００質量部に対して５～２００質量部である請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項６】
前記ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）の１分子あたりのエチレン性不飽和基数が、２～１０個である請求項４記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項７】
前記ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）の重量平均分子量が１０００～５００００である請求項４記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項８】
さらに、光重合開始剤（Ｄ）を含有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか一項に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
【請求項１０】
活性エネルギー線の照射により前記粘着剤層が硬化されて剥離可能となる請求項９記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物、及び活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シートに関するものであり、さらに詳しくは、半導体ウエハ、プリント基板、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等の被加工部材を加工する際の一時的な表面保護用の剥離型粘着シートの粘着剤に使用される粘着剤組成物、とりわけ活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物及び粘着シートに関するものである。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを用いた集積回路の作製や穴開け等の加工工程においては、被加工部材の汚れや損傷を防ぐことを目的として一時的に前記被加工部材の表面を保護するための表面保護用の粘着シートが用いられている。そして、近年では加工技術の微細化や被加工部材の薄膜化等の理由で被加工部材に対して適度な粘着力が求められる一方、表面保護の役目を終えた後には表面保護用の粘着シートを剥離する必要があり、剥離する際には軽い力で糊残りなく剥離できることが求められている。また、近年では半導体ウエハに限らず様々な部材の加工時にも表面保護用の粘着シートが利用されている。
【０００３】
かかる粘着シートとしては、活性エネルギー線を照射することにより硬化し、粘着力を低下させることができる活性エネルギー線硬化性の粘着剤組成物が有効であり、例えば、（１）エチレン性不飽和基を有するモノマー及び／又はオリゴマーの少なくとも一方とアクリル系樹脂とを配合することで、（２）アクリル系樹脂自体にエチレン性不飽和基を含有させたエチレン性不飽和基含有アクリル系樹脂を用いることで、活性エネルギー線硬化性を発現させている。
【０００４】
近年では、被加工部材（特に電子部材）を加工後、粘着シートに活性エネルギー線を照射して粘着剤層を硬化させた後に行うエキスパンドを行い、被加工部材を粘着シート側からニードルで突き上げて粘着シートから吸着剥離させる工程（ピックアップ工程）がある。活性エネルギー線照射後にエキスパンドする場合、延伸時にかかる負荷が高くなり均一にエキスパンドができない不具合や、ピックアップ工程においてはニードルで突き上げた際に、突き上げ負荷が高く被加工部材を突出できない不具合が少なくなく、そのため、粘着シートに用いられる粘着剤には活性エネルギー線照射後の易剥離性と延伸時の低応力化（低モジュラス化）が求められている。例えば、特許文献１には弾性重合体、紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステル、ポリイソシアネート及びウレタン基含有紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステルからなる感圧接着剤組成物が記載されている。また、特許文献２には基材と粘着層が設けられた粘着シートであり、５％モジュラスが６．５ＭＰａ以下であるエキスパンド可能な加工用粘着シートが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平８－２２５７７９号公報
特開２０１８－１６５２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１に記載の感圧接着剤組成物では、ガラス転移温度２０℃以上のアクリル系ポリマーを中間層に用いているため延伸時のモジュラスが増大し満足のいくものではなかった。また、前記特許文献２に記載の加工用粘着シートはさらに高いエキスパンド性が求められる用途では依然モジュラスが高く適用ができず満足のいくものではなかった。
【０００７】
そこで、本発明ではこのような背景下において、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、活性エネルギー線照射後においても小さい力での延伸性（低モジュラス性）に優れる粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
しかるに、本発明者は、かかる事情に鑑み鋭意研究を重ねた結果、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物のアクリロイル基濃度を特定量とすることにより、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、かつ、活性エネルギー線照射後は良好な易剥離性を有しつつ、活性エネルギー線照射後においても小さい力での延伸性（低モジュラス性）に優れる粘着剤組成物が得られることを見出し、本発明を完成した。
【０００９】
すなわち、本発明は、以下の態様を有する。
［１］アクリル系樹脂（Ａ）と、活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）とを含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物の固形分中のアクリロイル基濃度が０．２～６．０質量％である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［２］前記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）が、０℃以下である［１］記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［３］前記アクリル系樹脂（Ａ）が、カルボキシ基含有モノマー（ａ２－１）由来の構造単位を有する［１］又は［２］に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［４］前記活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）の含有量が、ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）を含有する［１］～［３］のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［５］前記活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）が、アクリル系樹脂（Ａ）１００質量部に対して５～２００質量部である［１］～［４］のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［６］前記ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）の１分子あたりのエチレン性不飽和基数が、２～１０個である［４］記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［７］前記ウレタン（メタ）アクリレート（ｂ）の重量平均分子量が１０００～５００００である［４］記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［８］さらに、光重合開始剤（Ｄ）を含有する［１］～［７］のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
［９］［１］～［８］のいずれかに記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
［１０］活性エネルギー線の照射により前記粘着剤層が硬化されて剥離可能となる［９］記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
［１１］基材及び基材上に形成された粘着剤層を有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シートであって、以下の条件で測定した５０％モジュラスが８．０Ｎ／ｍｍ
2
以下である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着シート。
条件：軽剥離ＰＥＴ／粘着剤層／重剥離ＰＥＴのシート構成で粘着剤層厚み１００μｍ、幅１５ｍｍの試験片に８０Ｗの高圧水銀灯を用いて積算照射量１０００ｍＪ／ｃｍ
2
を照射した後、チャック間２０ｍｍ、引張速度３０ｍｍ／ｍｉｎで引っ張り、チャック間に対して５０％延伸時の試験力を計測し、以下計算式を用いて５０％モジュラスを算出する。
［式１］
５０％モジュラス（Ｎ／ｍｍ
2
）＝５０％延伸時の試験力（Ｎ）／試験片の断面積（ｍｍ
2
）
【発明の効果】
【００１０】
本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、活性エネルギー線照射前は良好な粘着力を有し、活性エネルギー線照射後は易剥離性を有しつつ、活性エネルギー線照射後においても小さい力での延伸性（低モジュラス性）に優れるものである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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