特許ウォッチ

公開番号2025148412
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-07
出願番号2025113982,2023174199
出願日2025-07-04,2019-07-19
発明の名称加熱装置および加熱プレート
出願人株式会社九州日昌
代理人弁理士法人KEN知財総合事務所
主分類F27D 11/02 20060101AFI20250930BHJP(炉,キルン,窯;レトルト)
要約【課題】大面積の板状又はシート状の被加熱物の面内の高い温度均一性を達成する加熱装置を提供する。
【解決手段】上下方向に間隔を隔てて配置された複数の加熱プレートと、上下方向で対向する加熱プレートの加熱面により画定される加熱スペースと、を有し、加熱プレートの各々は、矩形状の金属製プレートと、金属製プレートに内蔵され、発熱線13A～13Cが配線された複数の発熱体素子11A～11Cと、を有し、発熱体素子11A～11Cは、金属製プレートの配列方向Lに配列され、かつ、配列方向Lに直交する延在方向Wにそれぞれ延在しており、複数の発熱体素子11A～11Cは、配列方向Lにおいてその幅が変化しており、延在方向Wにおいて、複数の発熱体素子11A～11Cの各々は発熱線13A～13Cの配線密度が変化している。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
上下方向に所定の間隔を隔てて配置された少なくとも３枚以上の加熱プレートと、
上下方向で対向する前記加熱プレートの加熱面により画定される、被加熱物を収容するための加熱スペースと、を有し、
上下方向で隣り合う前記加熱スペースは、前記加熱プレートにより分離されており、
前記加熱スペースの一の開口部からこの開口部に対向する他の開口部に向けて一方向に不活性ガスあるいは特定ガスを供給するガス供給手段をさらに有し、
前記ガス供給手段は、前記一の開口部の幅方向に沿って等間隔に配列された、均等にガスを噴出する複数の噴出口を有する、
加熱装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材またはシート状部材の熱処理に使用される加熱装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルなどの構成部材である比較的大型のガラス基板を熱処理する装置としては、放熱板の加熱によって両面から遠赤外線を放射する両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータを、炉本体内に上下方向に一定間隔で多段配置し、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部分をそれぞれ乾燥室とした加熱炉が提案されている（特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１記載の加熱炉の場合には、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部（乾燥室）を効率的に加熱することができる点では優れている。
【０００４】
しかしながら、上下方向に配置された多数の棚状ヒータから発される熱は、加熱炉内を上昇して炉内の天壁寄りの領域に集まる傾向があるため、炉内上部領域の温度は、炉内下部領域の温度より高くなり、このような炉内上部領域と炉内下部領域との間の温度差をなくすことは極めて困難である。
【０００５】
特許文献２は、断熱材で囲まれた空間内に距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、加熱用壁体に設けられた発熱手段と、加熱用壁体の間に距離を隔てて配置された複数の伝熱壁体と、伝熱用壁体の間に棚状に配置された複数の熱放射部材と、上下方向に隣り合う熱放射部材の間に設けられた被加熱物の加熱スペースとを備えた構成とした加熱装置を開示している。
特許文献２に開示された加熱装置は、垂直方向に設けられた加熱用壁体により加熱するため、加熱スペース内に収容することのできる被加熱物のサイズが限定される。特許文献２に開示の技術は、そもそも大面積の板状またはシート状の被加熱物を均一に加熱することを想定していないため、大面積の被加熱物の面内において温度を均一に加熱することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００１－３１７８７２号公報
特開２００５－３５２３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般的に、広い面内で精度良く温度分布を均一にすることは、加熱装置は大気中に配置されて常に外乱の影響を受けるため難しい。多数のヒータおよび多数の温度センサーを設置して面内の温度管理をすれば、広い面積を精度良く均等に加熱することも可能であるが、装置のコストが高くなる。また、多数のヒータおよび多数の温度センサーを設置すると、加熱スペースを上下方向に積み重ねることも難しい。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、低コストで大面積の板状またはシート状の被加熱物を均一に加熱することができる加熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の加熱装置は、上下方向に間隔を隔てて配置された複数の加熱プレートと、
上下方向で対向する前記加熱プレートの加熱面により画定される、被加熱物を収容するための加熱スペースと、を有し、
前記加熱プレートの各々は、
矩形状の金属製プレートと、
前記金属製プレートに内蔵され、発熱線が配線された複数の発熱体素子と、を有し、
前記複数の発熱体素子は、前記金属製プレートの第1の方向に配列され、かつ、前記第1の方向に直交する第２の方向にそれぞれ延在しており、
前記複数の発熱体素子は、前記第１の方向において、その幅が変化している、又は、その配列間隔が変化しており、
前記第２の方向において、前記複数の発熱体素子の各々は前記発熱線の配線密度が変化している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、対向する加熱プレートの間に加熱スペースを画定し、加熱プレートに内蔵させる発熱体素子の構成を最適化したので、大面積の板状又はシート状の被加熱物を均一に加熱できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許