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公開番号2025038375
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023144955
出願日2023-09-07
発明の名称ロボット、システム、制御方法、及びプログラム
出願人株式会社安川電機
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より幅の狭い領域に配置可能なロボットで、動作時にFOUP蓋開閉機構、アームとベース間、アーム間同士の干渉のないロボット及びその制御方法を提供する。
【解決手段】搬送システムにおいて、ロボット100は、第1可動部120、第3アーム134及びハンド136を有する第2可動部130、協調動作関連情報を格納する情報格納部と、ハンドによるアクセスのアクセス対象の位置と、情報格納部に格納されている協調動作関連情報とに基づいて、第3アーム及びハンドの協調動作によってハンドにアクセス対象へアクセスさせるか、第3アーム、ハンド及び第1可動部の協調動作によってハンドにアクセス対象へアクセスさせるかを選択する協調動作選択部並びに協調動作選択部により選択されたロボットの協調動作によって、ハンドが水平面と平行な状態でハンドにアクセス対象へアクセスさせるように、第1可動部及び第2可動部を制御する制御部を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハを格納するカセットへのアクセスのための複数の開口部を有する正面壁と、前記正面壁に対向し且つ開口部を有する背面壁とを有する筐体に配置されるロボットであって、
第１ベースと、
前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部と、
前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、前記ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部と、
前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれの位置及び前記背面壁の前記開口部の位置と、前記ハンドが前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれの位置及び前記背面壁の前記開口部の位置にアクセスするときの前記ロボットの協調動作の種別とが対応付けられている協調動作関連情報を格納する情報格納部と、
前記ハンドによるアクセスのアクセス対象の位置と、前記情報格納部に格納されている前記協調動作関連情報とに基づいて、前記第３アーム及び前記ハンドの協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるか、前記第３アーム、前記ハンド、及び前記第１可動部の協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるかを選択する協調動作選択部と、
前記協調動作選択部により選択された前記ロボットの協調動作によって、前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部と
を備える、ロボット。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記協調動作選択部は、前記ハンドに前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれへアクセスさせる場合に、前記第３アーム及び前記ハンドの協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせることを選択する、請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記協調動作選択部は、前記ハンドに前記背面壁の前記開口部へアクセスさせる場合に、前記第３アーム、前記ハンド、及び前記第１可動部の協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせることを選択する、請求項２に記載のロボット。
【請求項４】
前記制御部は、前記第４回転軸及び前記第５回転軸を通り、且つ、前記第４回転軸及び前記第５回転軸に対して垂直である直線と平行なベクトルと、前記第５回転軸に対して垂直であり、且つ、前記第５回転軸を通る前記ハンドの中心線と平行なベクトルとの間の第１角度が予め定められた第１角度条件を満たしている状態を維持しながら、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項５】
前記第１角度が第１角度範囲に含まれていることを条件とする第１候補条件と、前記第１角度が第２角度範囲に含まれていることを条件とする第２候補条件とを含む前記第１角度条件を格納する条件格納部と、
前記アクセス対象の位置に基づいて、前記第１候補条件及び前記第２候補条件から、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるアクセス処理の前記第１角度条件を選択する条件選択部と
をさらに備え、
前記制御部は、前記条件選択部によって選択された前記第１角度条件を満たしている状態を維持しながら、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、
請求項４に記載のロボット。
【請求項６】
前記条件選択部は、前記アクセス対象が、前記筐体の側面壁側に位置し、且つ、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる場合にのみ前記ハンドがアクセス可能である場合に、前記アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択する、請求項５に記載のロボット。
【請求項７】
前記条件選択部は、前記アクセス対象が、ＰＡ（Ｐｒｅ－Ａｌｉｇｎｅｒ）である場合に、前記アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択する、請求項６に記載のロボット。
【請求項８】
前記条件選択部は、第１アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択した場合において、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる状態で前記ハンドが前記第１アクセス処理の次のアクセス処理である第２アクセス処理のアクセス対象へアクセス可能である場合に、前記第２アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択し、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる状態で前記ハンドが前記第２アクセス処理の前記アクセス対象へアクセス不可能である場合に、前記第２アクセス処理の前記第１角度条件として前記第２候補条件を選択する、請求項５に記載のロボット。
【請求項９】
前記制御部は、前記条件選択部が前記第２アクセス処理の前記第１角度条件として前記第２候補条件を選択した場合に、前記第１角度を前記第１角度範囲から前記第２角度範囲に変更するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、請求項８に記載のロボット。
【請求項１０】
前記条件選択部は、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる状態で前記ハンドが前記第２アクセス処理の次のアクセス処理である第３アクセス処理のアクセス対象へアクセス可能である場合に、前記第３アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択する、請求項９に記載のロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット、システム、制御方法、及びプログラムに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コストを増加させることなく効率的な搬送を行うことができる搬送システム、ロボット及びロボットの制御方法が記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特許第６４９２２７１号公報
【発明の概要】
【０００３】
本発明の一実施態様によれば、ウェハを格納するカセットへのアクセスのための複数の開口部を有する正面壁と、前記正面壁に対向し且つ開口部を有する背面壁とを有する筐体に配置されるロボットが提供される。前記ロボットは、第１ベースを備えてよい。前記ロボットは、前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部を備えてよい。前記ロボットは、前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、前記ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部を備えてよい。前記ロボットは、前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれの位置及び前記背面壁の前記開口部の位置と、前記ハンドが前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれの位置及び前記背面壁の前記開口部の位置にアクセスするときの前記ロボットの協調動作の種別とが対応付けられている協調動作関連情報を格納する情報格納部を備えてよい。前記ロボットは、前記ハンドによるアクセスのアクセス対象の位置と、前記情報格納部に格納されている前記協調動作関連情報とに基づいて、前記第３アーム及び前記ハンドの協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるか、前記第３アーム、前記ハンド、及び前記第１可動部の協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるかを選択する協調動作選択部を備えてよい。前記ロボットは、前記協調動作選択部により選択された前記ロボットの協調動作によって、前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部を備えてよい。
【０００４】
前記ロボットにおいて、前記協調動作選択部は、前記ハンドに前記正面壁の前記複数の開口部のそれぞれへアクセスさせる場合に、前記第３アーム及び前記ハンドの協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせることを選択してよい。
【０００５】
前記いずれかのロボットにおいて、前記協調動作選択部は、前記ハンドに前記背面壁の前記開口部へアクセスさせる場合に、前記第３アーム、前記ハンド、及び前記第１可動部の協調動作によって前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせることを選択してよい。
【０００６】
前記いずれかのロボットにおいて、前記制御部は、前記第４回転軸及び前記第５回転軸を通り、且つ、前記第４回転軸及び前記第５回転軸に対して垂直である直線と平行なベクトルと、前記第５回転軸に対して垂直であり、且つ、前記第５回転軸を通る前記ハンドの中心線と平行なベクトルとの間の第１角度が予め定められた第１角度条件を満たしている状態を維持しながら、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御してよい。
【０００７】
前記いずれかのロボットは、前記第１角度が第１角度範囲に含まれていることを条件とする第１候補条件と、前記第１角度が第２角度範囲に含まれていることを条件とする第２候補条件とを含む前記第１角度条件を格納する条件格納部と、前記アクセス対象の位置に基づいて、前記第１候補条件及び前記第２候補条件から、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるアクセス処理の前記第１角度条件を選択する条件選択部とをさらに備えてよく、前記制御部は、前記条件選択部によって選択された前記第１角度条件を満たしている状態を維持しながら、前記ハンドに前記アクセス対象へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御してよい。
【０００８】
前記いずれかのロボットにおいて、前記条件選択部は、前記アクセス対象が、前記筐体の側面壁側に位置し、且つ、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる場合にのみ前記ハンドがアクセス可能である場合に、前記アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択してよい。
【０００９】
前記いずれかのロボットにおいて、前記条件選択部は、前記アクセス対象が、ＰＡ（Ｐｒｅ－Ａｌｉｇｎｅｒ）である場合に、前記アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択してよい。
【００１０】
前記いずれかのロボットにおいて、前記条件選択部は、第１アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択した場合において、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる状態で前記ハンドが前記第１アクセス処理の次のアクセス処理である第２アクセス処理のアクセス対象へアクセス可能である場合に、前記第２アクセス処理の前記第１角度条件として前記第１候補条件を選択し、前記第１角度が前記第１角度範囲に含まれる状態で前記ハンドが前記第２アクセス処理の前記アクセス対象へアクセス不可能である場合に、前記第２アクセス処理の前記第１角度条件として前記第２候補条件を選択してよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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