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公開番号2025073556
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-13
出願番号2023184466
出願日2023-10-27
発明の名称フィルム付き支持フレーム、支持フレーム及び被支持物の処理方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20250502BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】スピン乾燥等により乾燥する際に、被処理物の処理に使用した洗浄液等の液体が、フレームユニットから排出されやすくなるフィルム付き支持フレームを提供する。
【解決手段】開口部を有する金属製の支持フレームと、開口部を覆うように支持フレームに貼付されたフィルムと、を備えるフィルム付き支持フレームであって、支持フレームは、フィルムが接触する第1面と、第1面とは反対側の第2面と、第1面と該第2面との双方に接続され、第1面と第2面との双方に開口する開口部を規定する第3面と、を備え、第3面は、第1面に対して平行な方向における開口部の長さが第1面側より該第2面側で大きくなるように、第1面に対して傾斜した部分を有するフィルム付き支持フレームを提供する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
開口部を有する金属製の支持フレームと、該開口部を覆うように該支持フレームに貼付されたフィルムと、を備えるフィルム付き支持フレームであって、
該支持フレームは、該フィルムが接触する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、
該第１面と該第２面との双方に接続され、該第１面と該第２面との双方に開口する該開口部を囲む第３面と、を備え、
該第３面は、該第１面に平行な方向における該開口部の長さが該第１面側よりも該第２面側で大きくなるように、該第１面に対して傾斜した部分を有することを特徴とするフィルム付き支持フレーム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
該部分は、該第１面側の第１部分と、該第２面側の第２部分と、を含み、
該第１部分と該第１面とがなす角度と、該第２部分と該第１面とがなす角度と、が異なることを特徴とする請求項１に記載のフィルム付き支持フレーム。
【請求項３】
該第１部分と該第１面とがなす角度は、該第２部分と該第１面とがなす角度よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のフィルム付き支持フレーム。
【請求項４】
該第３面は、撥液性又は親液性を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のフィルム付き支持フレーム。
【請求項５】
開口部を有する金属製の支持フレームであって、
使用時にフィルムが接触する第１面と、
該第１面とは反対側の第２面と、
該第１面と該第２面との双方に接続され、該第１面と該第２面との双方に開口する該開口部を規定する第３面と、を備え、
該第３面は、該第１面に平行な方向における該開口部の長さが該第１面側よりも該第２面側で大きくなるように、該第１面に対して傾斜した部分を有する支持フレーム。
【請求項６】
該部分は、該第１面側の第１部分と、該第２面側の第２部分と、を含み、
該第１部分と該第１面とがなす角度と、該第２部分と該第１面とがなす角度と、が異なることを特徴とする請求項５に記載の支持フレーム。
【請求項７】
該第１部分と該第１面とがなす角度は、該第２部分と該第１面とがなす角度よりも小さいことを特徴とする請求項６に記載の支持フレーム。
【請求項８】
該第３面は、撥液性又は親液性を有することを特徴とする請求項５から請求項７のいずれかに記載の支持フレーム。
【請求項９】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の該支持フレームを用いて該フィルムに支持された被支持物に処理を施す被支持物の処理方法であって、
該開口部を覆うように該支持フレームの該第１面に該フィルムを貼付し、かつ、該開口部に配置された該被支持物に該フィルムを貼付することにより、該支持フレームと、該フィルムと、該被支持物と、で構成されるフレームユニットを形成するフレームユニット形成ステップと、
該フレームユニット形成ステップの後、該被支持物に液体を供給することにより、該液体で該被支持物を処理する処理ステップと、
該処理ステップの後、該開口部を通る回転軸の周りに該フレームユニットを回転させることにより、該被支持物又は該フィルムに残留する該液体を遠心力により該フレームユニットから排出する排出ステップと、を含むことを特徴とする被支持物の処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム付き支持フレーム、支持フレーム及び被支持物の処理方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の被加工物に対して加工（切削加工、レーザー加工等）を行う際には、被加工物（被支持物）は支持フレームに支持される。支持フレームは、例えば、中央に開口部を有するリングフレームである。支持フレームの一方の面には、支持フレームの開口部を塞ぐようにフィルムが貼付される。そして、開口部に配置された被加工物にもこのフィルムが貼付されることにより、支持フレームと、フィルムと、被加工物と、が一体化されたフレームユニットが形成される。フレームユニットが加工装置に搬入され、被加工物が加工される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
被加工物を加工する加工装置は、例えば、被加工物を加工する加工ユニットと、被加工物を洗浄するスピンナー洗浄ユニットと、を備える。スピンナー洗浄ユニットは、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルで保持された被加工物に洗浄液を供給して被加工物を洗浄する洗浄ユニットと、を備える。保持テーブルの上面は、被加工物に負圧を作用させる保持面となっている。保持テーブルは、保持面を貫く軸の周りに回転する。
【０００４】
加工ユニットによる被加工物の加工が終了した後には、被加工物は、スピンナー洗浄ユニットにより洗浄及び乾燥される。スピンナー洗浄ユニットでは、被加工物がフィルムを介して保持テーブルにより保持される。そして、保持テーブルが回転している状態で液体（洗浄液）がフレームユニットの被加工物に供給されることにより、被加工物がスピン洗浄される。その後、保持テーブルが回転している状態でエアーが被加工物に供給されることにより、被加工物がスピン乾燥される（例えば、特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－１７８１０２号公報
特開２０２１－１４５０８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、被加工物に液体が供給された後には、スピン乾燥等の乾燥処理が行われる。このスピン乾燥では、被加工物等に残留する液体に保持テーブルの回転に伴い生じる遠心力が作用し、液体がフレームユニットから除去される。
【０００７】
ところで、支持フレームは、フィルムが貼着される第１面と、その反対側の第２面と、第１面と第２面との双方に接続され、第１面と第２面との双方に開口する開口部を規定する第３面（内周面）と、を有する。この第３面は、第１面及び第２面に対して垂直に形成されているため、被加工物等に残留する液体（洗浄液）がスピン乾燥時に遠心力によりフレームユニットの外部に進行する際の障壁となる。すなわち、スピン乾燥時においてフレームユニットからの液体の排出が第３面によって阻害される。その結果、支持フレームの第３面近くのフィルムの表面には、液体が残留しやすい。
【０００８】
フィルムの表面に残留した液体は、フレームユニットの搬送時に発生する振動等により飛散し、フィルムに固定されている被加工物や近くに保管されている他の被加工物の表面に付着してしまう場合がある。そして、被加工物の表面で液体が乾燥すると跡が残るため、被加工物に外観不良等を引き起こす恐れがある。また、洗浄には液体としてエッチング液等の薬液が用いられる場合があり、この場合、薬液がフィルムに残留することによりフィルムが腐食してしまう恐れがある。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、フィルムを介して支持フレームにより支持された被支持物の処理に用いられる液体が従来よりも被支持物及びフィルムから排出されやすく、乾燥後に液体が被支持物及びフィルムに残留し難い構造を有するフィルム付き支持フレーム及び支持フレーム、並びに該支持フレームを用いた被支持物の処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面によれば、開口部を有する金属製の支持フレームと、該開口部を覆うように該支持フレームに貼付されたフィルムと、を備えるフィルム付き支持フレームであって、該支持フレームは、該フィルムが接触する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、該第１面と該第２面との双方に接続され、該第１面と該第２面との双方に開口する該開口部を規定する第３面と、を備え、該第３面は、該第１面に対して平行な方向における該開口部の長さが該第１面側よりも該第２面側で大きくなるように、該第１面に対して傾斜した部分を有するフィルム付き支持フレームが提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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