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公開番号2025073624
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-13
出願番号2023184562
出願日2023-10-27
発明の名称エアナイフ、基板処理装置、および、エアナイフ用アタッチメント
出願人株式会社SCREENフェバックス
代理人個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250502BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】エアナイフからガスが吹き付けられることによって生じる静電気を速やかに除電できる技術の提供。
【解決手段】対象物にガスを吹き付けるエアナイフ51であって、ガスが流れる流路74およびガスが吐出される吐出口73が設けられた本体部72と、本体部72における、吐出口73からのガスの吐出方向Qに対して鈍角をなす第2先端面723bに設けられた、イオンを発生するイオナイザ71と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
対象物にガスを吹き付けるエアナイフであって、
前記ガスが流れる流路および前記ガスが吐出される吐出口が設けられた本体部と、
前記本体部における、前記吐出口からの前記ガスの吐出方向に対して鈍角をなす面に設けられた、イオンを発生するイオナイザと、
を備える、エアナイフ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載のエアナイフであって、
前記本体部が、互いに異なる材料で形成された第１部分と第２部分とを備え、
前記流路および前記吐出口が前記第１部分に設けられ、
前記イオナイザが前記第２部分に設けられる、
エアナイフ。
【請求項３】
請求項２に記載のエアナイフであって、
前記第１部分が金属で形成される、
エアナイフ。
【請求項４】
請求項２または３に記載のエアナイフであって、
前記第２部分が絶縁体で形成される、
エアナイフ。
【請求項５】
請求項４に記載のエアナイフであって、
前記第２部分に、前記イオナイザを収容する凹部が設けられる、
エアナイフ。
【請求項６】
請求項１に記載のエアナイフであって、
前記本体部が、金属で形成され、
前記面に、凹部が設けられ、
前記イオナイザが、前記凹部の周壁との間に隙間を設けつつ、前記凹部内に収容される、
エアナイフ。
【請求項７】
基板を搬送経路に沿って搬送する基板搬送装置と、
前記搬送経路を搬送される前記基板にガスを吹き付けるエアナイフと、
を備え、
前記エアナイフが、
前記ガスが流れる流路および前記ガスが吐出される吐出口が設けられた本体部と、
前記本体部における、前記吐出口からの前記ガスの吐出方向に対して鈍角をなす面に設けられた、イオンを発生するイオナイザと、
を備え、
前記面が、前記搬送経路と対向配置され、前記吐出口が、前記イオナイザに対して前記基板の搬送方向の上流側に配置される、
基板処理装置。
【請求項８】
対象物にガスを吹き付けるエアナイフに取り付けられるエアナイフ用アタッチメントであって、
前記エアナイフに取り付けられるアタッチメント本体部と、
前記アタッチメント本体部の所定面に設けられた、イオンを発生するイオナイザと、
を備え、
前記アタッチメント本体部が前記エアナイフに取り付けられた状態において、前記所定面が、前記エアナイフにおける前記ガスが吐出される吐出口からの前記ガスの吐出方向に対して鈍角をなす、
エアナイフ用アタッチメント。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本願は、エアナイフ、基板処理装置、および、エアナイフ用アタッチメントに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基板に対して各種の処理を行う基板処理装置には、基板に空気などのガスを吹き付けて液滴やパーティクルなどの付着物を除去するエアナイフが設けられることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
実開平５－７３９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エアナイフから基板に空気などのガスが吹き付けられると、吹き付けられたガスとの摩擦によって基板に静電気が発生する場合がある。静電気により基板が帯電すると、空気中のパーティクルなどが基板に引き寄せられて付着するおそれがある。また、基板が帯電して電位が高まると、様々な不都合（例えば、基板に形成されている配線パターンに電気が流れることによって配線パターンが破損する、基板とその近傍にある部材との間に放電が生じる、など）が生じて、歩留まりが低下するおそれがある。
【０００５】
そこで、例えば特許文献１には、基板の搬送経路上にエアナイフを設けるとともに、その近傍にイオナイザを設けて、エアナイフからガス吹き付けられることで基板に生じた静電気を、イオナイザで発生されたイオンによって除電することが記載されている。
【０００６】
このような構成においては、基板の主面内の各位置にエアナイフからガスが吹き付けられてから（つまりは、静電気が発生してから）、該位置にイオンが供給されるまでの時間（イオン供給のタイムラグ）をどれだけ短くできるかが、重要になってくる。上記のとおり、静電気は、パーティクルの付着、配線パターンの破損、放電の発生、などを引き起し得るところ、イオン供給のタイムラグが短いほど、これらの事態が生じるリスクが低減されるからである。
【０００７】
本願は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、エアナイフからガスが吹き付けられることによって生じる静電気を速やかに除電できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の態様は、対象物にガスを吹き付けるエアナイフであって、前記ガスが流れる流路および前記ガスが吐出される吐出口が設けられた本体部と、前記本体部における、前記吐出口からの前記ガスの吐出方向に対して鈍角をなす面に設けられた、イオンを発生するイオナイザと、を備える。
【０００９】
第２の態様は、第１の態様に係るエアナイフであって、前記本体部が、互いに異なる材料で形成された第１部分と第２部分とを備え、前記流路および前記吐出口が前記第１部分に設けられ、前記イオナイザが前記第２部分に設けられる。
【００１０】
第３の態様は、第２の態様に係るエアナイフであって、前記第１部分が金属で形成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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