特許ウォッチ

公開番号2025083183
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2023196942
出願日2023-11-20
発明の名称テープマウンタ
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250523BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被固定物をテープの特定の位置に精密に固定する。
【解決手段】被固定物をリングフレームにテープを介して固定するテープマウンタであって、該リングフレームと、該被固定物と、を上面に載置可能な保持部と、該テープの固定面を該保持部に対面させた状態で該テープを供給するテープ供給部と、該テープを押圧して該リングフレームと、該リングフレームの開口に位置づけられた該被固定物と、に固定するローラー機構と、を備え、該保持部は、該保持部に載置された該リングフレームの該開口の内側の所定位置に該被固定物を位置決め可能な位置決め部を有する。好ましくは、該位置決め部は、該保持部の該上面に形成されており、該被固定物の被固定面が該保持部の該上面から突き出た状態で該被固定物を固定できる構造体を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被固定物をリングフレームにテープを介して固定するテープマウンタであって、
該リングフレームと、該被固定物と、を上面に載置可能な保持部と、
該テープの固定面を該保持部に対面させた状態で該テープを供給するテープ供給部と、
該テープを押圧して該リングフレームと、該リングフレームの開口に位置づけられた該被固定物と、に固定するローラー機構と、を備え、
該保持部は、該保持部に載置された該リングフレームの該開口の内側の所定位置に該被固定物を位置決め可能な位置決め部を有することを特徴とするテープマウンタ。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
該位置決め部は、該保持部の該上面に形成されており、該被固定物の被固定面が該保持部の該上面から突き出た状態で該被固定物を固定できる構造体を含むことを特徴とする請求項１に記載のテープマウンタ。
【請求項３】
該位置決め部の該構造体は、該保持部の該上面に形成された位置決めピンであることを特徴とする請求項２に記載のテープマウンタ。
【請求項４】
該位置決め部は、該位置決めピンを該保持部の該上面に沿った方向に移動させる移動機構を含むことを特徴とする請求項３に記載のテープマウンタ。
【請求項５】
該位置決め部の該構造体は、該保持部の該上面に形成された凹部であることを特徴とする請求項２に記載のテープマウンタ。
【請求項６】
該位置決め部の該構造体は、該保持部の該上面に着脱可能に載置される治具プレートを固定可能な治具固定部であり、
該治具プレートは、該被固定物の該被固定面が上方に突き出た状態で該被固定物を保持でき、
該位置決め部は、該被固定物を保持する該治具プレートを該治具固定部に固定することで該保持部に載置された該リングフレームの該開口の内側の該所定位置に該被固定物を位置決め可能であることを特徴とする請求項２に記載のテープマウンタ。
【請求項７】
該被固定物は、ドレス部材であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のテープマウンタ。
【請求項８】
該保持部は、
該リングフレームに対する該テープの固定によりフレームユニットの形成が実施される第１ステージと、
該フレームユニットに含まれる該テープへの該被固定物の固定が実施される第２ステージと、を有し、
該ローラー機構は、
該テープを該第１ステージに載置された該リングフレームに押圧する第１ローラーと、
該フレームユニットの該テープを予め該第２ステージに載置された該被固定物に押圧する第２ローラーと、を有し、
該位置決め部は、該保持部の該第２ステージに設けられており、
該第１ステージから該第２ステージに該フレームユニットを搬送する搬送機構をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のテープマウンタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハとリングフレームをテープで一体化するテープマウンタに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパソコン等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等の材料からなるウエーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）を設定する。そして、分割予定ラインで区画される各領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large-scale Integration）等のデバイスを形成する。その後、ウエーハを分割予定ラインに沿って分割すると、個々のデバイスチップが形成される。ウエーハの分割は、例えば、円環状の切削ブレードを備える切削装置で実施される。
【０００３】
ウエーハが切削装置に搬入される前に、ウエーハよりも径の大きい粘着性を有するテープがウエーハの裏面に貼付される。このテープは、ダイシングテープと呼ばれる。テープの外周部には、ウエーハを収容できる大きさの開口部を有するリングフレームが貼付される。こうして、ウエーハと、テープと、リングフレームと、を一体化すると、ウエーハの取り扱いが容易となる。ウエーハは、公知のテープマウンタによりテープ及びリングフレームと一体化される（特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、切削装置で複数のウエーハを次々に切削していると、切削ブレードに目潰れと呼ばれる変化が生じ、切削ブレードの切削能力が徐々に低下する。そこで、切削装置では、定期的に目立てと呼ばれる工程が実施される。
【０００５】
目立ての工程では、ドレッシングボードと呼ばれるドレス部材を切削ブレードで切削することで切削ブレードの切刃を消耗させる。目立てを実施して切削ブレードの切刃を消耗させると、切刃の未使用部分が表出するとともに切刃の状態が整えられ、切削ブレードの切削能力が回復する。なお、切削装置におけるドレス部材の取り扱いを容易にするために、ドレス部材はウエーハと同様にテープ及びリングフレームと一体化される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００８－１５３４４９号公報
特開２００７－２０３４２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ドレス部材の形状はウエーハの形状と異なるため、従来のテープマウンタでは、ドレス部材の自動搬送ができずテープにドレス部材を貼り付けられなかった。そのため、ドレス部材をテープに貼り付ける作業は作業員の手作業で実施されていた。ところが、リングフレームの開口中に露出するテープに手作業でドレス部材を貼り付ける場合、リングフレームの開口中におけるドレス部材の固定位置に大きなばらつきが生じていた。
【０００８】
切削装置では、ウエーハやドレス部材等のテープに貼り付けられた被固定物（被加工物）が搬入されたとき、被固定物の位置を特定して加工位置を決定するアライメントが実施される。しかしながら、手作業でテープに貼り付けられた被固定物は位置のばらつきが大きいため、アライメント作業では比較的広い範囲から被固定物を探索して位置を特定しなければならなかった。そのため、アライメント作業に無視できない時間がかかるとの問題が生じていた。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被固定物をテープの特定の位置に精密に固定できるテープマウンタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、被固定物をリングフレームにテープを介して固定するテープマウンタであって、該リングフレームと、該被固定物と、を上面に載置可能な保持部と、該テープの固定面を該保持部に対面させた状態で該テープを供給するテープ供給部と、該テープを押圧して該リングフレームと、該リングフレームの開口に位置づけられた該被固定物と、に固定するローラー機構と、を備え、該保持部は、該保持部に載置された該リングフレームの該開口の内側の所定位置に該被固定物を位置決め可能な位置決め部を有することを特徴とするテープマウンタが提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許