特許ウォッチ

公開番号2025084150
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023197795
出願日2023-11-22
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】大きさ又は形の異なるウェーハの回収が可能とする加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置は、少なくとも第1ウェーハと第1ウェーハとは大きさまたは形の異なる第2ウェーハとのいずれか一枚のウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、少なくとも第1ウェーハまたは第2ウェーハのいずれかのウェーハを収容したカセットを載置するカセットステージと、カセットステージに載置したカセットに対してウェーハを搬入及び搬出する搬送機構と、を備える。加工装置は、搬送機構が搬入および搬出可能に配置され、少なくとも第1ウェーハまたは第2ウェーハのいずれか一枚を載置する、第1ウェーハを載置する第1載置面(載置面321)と第2ウェーハを載置する第2載置面(載置面322)とを備えるテーブル320をさらに備える。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも第１ウェーハと該第１ウェーハとは大きさまたは形の異なる第２ウェーハとのいずれか一枚のウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該ウェーハを加工する加工ユニットと、少なくとも該第１ウェーハまたは該第２ウェーハのいずれかのウェーハを収容したカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージに載置した該カセットに対してウェーハを搬入及び搬出する搬送機構と、を備えた加工装置であって、
該搬送機構が搬入および搬出可能に配置され、少なくとも該第１ウェーハまたは該第２ウェーハのいずれか一枚を載置する、該第１ウェーハを載置する第１載置面と該第２ウェーハを載置する第２載置面とを備えるテーブルをさらに備える、加工装置。
続きを表示（約 140 文字）【請求項２】
該テーブルは、
該第１載置面の中心と該第２載置面の中心とを一致させている、
請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該テーブルは、
該第１載置面の中心と該第２載置面の中心とを一致させない、
請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等のウェーハに対して切削や研削などの加工を行う加工装置が知られている。加工装置は、カセットから取り出されたウェーハを加工して再びカセットへ収容する動作を行うが、加工後のウェーハの一部については、インスペクションステージと呼ばれる専用のステージへ搬送され、品質チェックを目的とした抜き取り検査を行うために回収される。
【０００３】
インスペクションステージは、昇降機構によって昇降可能なカセットテーブルの下方に設けられている。インスペクションステージを備えた加工装置は、例えば、特許文献１、特許文献２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０６１３８１号公報
特開２０２３－０８１６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
加工装置は、加工され得る様々な大きさ又は形のウェーハの抜き取り検査に対応することが望ましい。また、抜き取り検査のためインスペクションステージへ搬送されたウェーハに直接触れることをなく作業者がウェーハを回収可能とするためには、インスペクションステージには、ウェーハを載置可能で且つ着脱自在なトレイとして用いられるテーブルが設けられることが望ましい。
【０００６】
ウェーハの大きさ又は形に合わせた載置面を有するテーブルをウェーハの大きさ又は形の数だけ用意し、ウェーハの大きさ又は形に合わせてインスペクションステージ上に配置されるテーブルを交換することで、加工装置は、様々な大きさ又は形のウェーハの抜き取り検査に対応可能である。しかしながら、この場合、ウェーハの大きさ又は形に応じて作業者がテーブルを交換する作業が必要となる。
【０００７】
また、様々な大きさ又は形のウェーハが載置可能な十分な広さの載置面を有するようにテーブルを構成することによっても、加工装置は、様々な大きさ又は形のウェーハの抜き取り検査に対応可能である。しかしながら、ウェーハに対して広さに余裕のある載置面を有するテーブルを用いると、ウェーハを検査するためにテーブルをインスペクションステージから取り外して回収する際に、テーブル上でウェーハが安定しないため、ウェーハの落下等のリスクが高くなる。
【０００８】
本発明は、上記の事情を鑑みてなされたものであって、大きさ又は形の異なるウェーハの回収を可能とする加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の加工装置は、少なくとも第１ウェーハと該第１ウェーハとは大きさまたは形の異なる第２ウェーハとのいずれか一枚のウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該ウェーハを加工する加工ユニットと、少なくとも該第１ウェーハまたは該第２ウェーハのいずれかのウェーハを収容したカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージに載置した該カセットに対してウェーハを搬入及び搬出する搬送機構と、を備えた加工装置であって、該搬送機構が搬入および搬出可能に配置され、少なくとも該第１ウェーハまたは該第２ウェーハのいずれか一枚を載置する、該第１ウェーハを載置する第１載置面と該第２ウェーハを載置する第２載置面とを備えるテーブルをさらに備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、大きさ又は形の異なるウェーハの回収が可能とする加工装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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