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公開番号2025105392
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2024065403
出願日2024-04-15
発明の名称マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャ及びその操作方法
出願人テストリサーチ, インク.
代理人個人,個人,個人
主分類G03B 3/00 20210101AFI20250703BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャ及びその操作方法を提供する。
【解決手段】それぞれ絞り及び作動距離調整装置を有する複数のレンズ110A、110Bと、レンズに接合される筐体130と、レンズに接続される複数のカメラ120A、120Bを含み、異なる第1解像度と第2解像度及び異なる第1被写界深度と第2被写界深度を同時に有するように、複数のレンズの各々の絞りをそれぞれ調整する工程と、複数のカメラによって映像を取得する工程とを備えるマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法であり、該方法は初期被写界深度を有するように、レンズの作動距離を基準面に基づいて調整する工程と、絞りをそれぞれ調整する工程と、初期被写界深度を第3被写界深度に拡大するように少なくとも1つのレンズの作動距離を調整する工程と、複数のカメラによって映像を取得する工程と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法であって、
前記マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャが異なる第１解像度と第２解像度、及び異なる第１被写界深度と第２被写界深度を同時に有するように、複数のレンズの各々の持つ絞りをそれぞれ調整する工程と、
前記複数のレンズにそれぞれ接続された複数のカメラによって映像を取得する工程と、
を備えるマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記複数のレンズの前記複数の絞りをそれぞれ調整する前に、前記複数のレンズのうちの１つの作動距離を調整する工程を更に備える請求項１に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項３】
前記複数のレンズの前記複数の絞りをそれぞれ調整する工程は、
第１レンズが前記第１解像度と前記第１被写界深度を有するように、前記第１レンズの第１絞りを調整する工程と、
第２レンズが前記第２解像度と前記第２被写界深度を有するように、前記第２レンズの第２絞りを調整する工程と、
を含み、
前記第１解像度が前記第２解像度よりも大きく、前記第２被写界深度が前記第１被写界深度よりも大きい請求項１に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項４】
前記複数のレンズにそれぞれ接続された前記複数のカメラによって映像を取得する工程は、同一の工程において実行される請求項１に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項５】
マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法であって、
前記マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャが初期被写界深度を有するように、それぞれ絞りを含む複数のレンズの作動距離を基準面に基づいて調整する工程と、
前記複数のレンズの前記複数の絞りをそれぞれ調整する工程と、
前記マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの前記初期被写界深度を第３被写界深度に拡大するように、前記複数のレンズのうちの少なくとも１つの作動距離を調整する工程と、
前記複数のレンズにそれぞれ接続された複数のカメラによって映像を取得する工程と、
を備えるマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項６】
前記マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの前記初期被写界深度を前記第３被写界深度に拡大するように、前記複数のレンズのうちの少なくとも１つの作動距離を調整する工程は、
第１被写界深度を有する第１レンズの作動距離を固定する工程と、
第２レンズの第２被写界深度の範囲を移動させるように、前記第２レンズの作動距離を調整する工程と、
を含む請求項５に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項７】
前記第３被写界深度の範囲は、前記第１レンズの前記第１被写界深度の範囲と前記第２レンズの前記第２被写界深度の範囲よりも大きい請求項６に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項８】
前記マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの前記初期被写界深度を前記第３被写界深度に拡大するように、前記複数のレンズのうちの少なくとも１つの作動距離を調整する工程は、
前記第１レンズの第１被写界深度の範囲を移動させるように、第１レンズの作動距離を調整する工程と、
前記第２レンズの第２被写界深度の範囲を移動させるように、第２レンズの作動距離を調整する工程と、
を含む請求項５に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項９】
前記複数のレンズにそれぞれ接続された前記複数のカメラによって映像を取得する工程は、同一の工程において実行される請求項５に記載のマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法。
【請求項１０】
それぞれ絞り及び作動距離調整装置を含む複数のレンズと、
前記複数のレンズに接合される筐体と、
前記複数のレンズにそれぞれ接続される複数のカメラと、
を含むマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャ及びその操作方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
光学検出分野では、サイズが比較的小さい欠陥を検出するには、大きな絞りのレンズが高い解像度の結像を提供する必要がある。しかしながら、大きな絞りのレンズに対応する被写界深度が比較的浅く、厚さの比較的大きいサンプルの検出異常をもたらす。逆に、厚さが比較的大きいサンプルを検出するには、小さな絞りのレンズが深い被写界深度を提供する必要がある。しかしながら、小さな絞りのレンズに対応する解像度が比較的低く、サイズが比較的小さい欠陥を明瞭に結像することができない。
【０００３】
そのため、高い解像度と深い被写界深度の需要を満たす結像は、複数群の検出レンズがサンプルを順番に走査し、又は異なる解像度設定を用いて複数回撮影する必要がある。しかしながら、上記方式は、検出過程の時間が長すぎ、及び検出装置の体積が増加するという欠点を発生させる。
【０００４】
これに鑑み、上記課題を解決できるレンズ及び対応する操作方法をどのように提供するかは、現在の業界研究分野で解決すべき課題の一つである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示における一技術態様は、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施例では、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法であって、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャが異なる第１解像度と第２解像度及び異なる第１被写界深度と第２被写界深度を同時に有するように、複数のレンズの各々の持つ絞りをそれぞれ調整する工程と、複数のレンズにそれぞれ接続された複数のカメラによって映像を取得する工程と、を備えるマルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法である。
【０００７】
本開示の一実施例では、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法は、複数のレンズの複数の絞りをそれぞれ調整する前に、複数のレンズのうちの１つの作動距離を調整する工程を備える。
【０００８】
本開示の一実施例では、複数のレンズの複数の絞りをそれぞれ調整する工程は、第１レンズが第１解像度と第１被写界深度を有するように、第１レンズの第１絞りを調整する工程と、第２レンズが第２解像度と第２被写界深度を有するように、第２レンズの第２絞りを調整する工程と、を含み、第１解像度が第２解像度よりも大きく、第２被写界深度が第１被写界深度よりも大きい。
【０００９】
本開示の一実施例では、複数のレンズにそれぞれ接続された複数のカメラによって映像を取得する工程は、同一の工程において実行される。
【００１０】
本開示における一技術態様は、マルチアパーチャテレセントリックレンズ光学アーキテクチャの操作方法である。
（【００１１】以降は省略されています）

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