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公開番号2025166988
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071215
出願日2024-04-25
発明の名称X線測定装置
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01B 15/00 20060101AFI20251030BHJP(測定;試験)
要約【課題】非接触で対象物に対する測定精度の低下を抑制する。
【解決手段】X線により対象物2に対して測定を行うX線測定装置1であって、対象物2を回転させた場合の複数の回転角のそれぞれに対応して、X線を対象物2へ照射して検出面で検出した回折環を取得する取得部と、複数の回転角のそれぞれに対応して、回折環により検出面と対象物2との間の距離を算出する算出部と、回転角のそれぞれに対応した距離に基づいて、対象物2の偏心量、及び対象物2の回転方向の表面形状のばらつきの少なくとも何れか一方を推定する推定部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線により対象物に対して測定を行うＸ線測定装置であって、
前記対象物を回転させた場合の複数の回転角のそれぞれに対応して、Ｘ線を前記対象物へ照射して検出面で検出した回折環を取得する取得部と、
複数の前記回転角のそれぞれに対応して、前記回折環により前記検出面と前記対象物との間の距離を算出する算出部と、
前記回転角のそれぞれに対応した前記距離に基づいて、前記対象物の偏心量、及び前記対象物の回転方向の表面形状のばらつきの少なくとも何れか一方を推定する推定部と、
を備えるＸ線測定装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記対象物は、円筒形状である、
請求項１に記載のＸ線測定装置。
【請求項３】
前記推定部は、
各前記回転角に対応した前記距離の平均値を算出する平均部と、
前記距離と前記平均値との差分量を算出する減算部と、
前記回転角に対する前記差分量の分布を正弦波又は余弦波の曲線により近似する近似部と、
近似した前記曲線により、前記偏心量及び前記ばらつきの少なくとも何れか一方を特定する特定部と、
を備える、
請求項２に記載のＸ線測定装置。
【請求項４】
前記特定部は、近似した前記曲線の振幅及び初期位相を前記偏心量とする、
請求項３に記載のＸ線測定装置。
【請求項５】
前記特定部は、前記回転角に対する前記差分量から、当該回転角に対応する前記曲線の値を減算した値を、当該回転角に対応する前記ばらつきの量とする、
請求項３又は４に記載のＸ線測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線測定装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物に対する測定を行うために、対象物へ向けてＸ線を照射し、対象物で回折したＸ線の回折環を検出する方法がある。検出された回折環によることで、対象物を分析することが可能である。
【０００３】
例えば特許文献１においては、Ｘ線測定装置と別に、３次元形状を測定する３次元形状測定装置を用いることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６６００９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
対象物の状態を測定する場合には、例えば特許文献１のような測定装置が用いられる。接触型の測定装置を用いて対象物を測定する場合、対象物の表面に傷等が生ずる可能性がある。また、例えばレーザを用いた非接触型の測定装置を用いて対象物を測定する場合、対象物の表面（例えば光沢）の影響を受ける可能性があり測定精度が低下する可能性がある。
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明は、非接触で対象物に対する測定精度の低下を抑制することができるＸ線測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線測定装置は、Ｘ線により対象物に対して測定を行うＸ線測定装置であって、前記対象物を回転させた場合の複数の回転角のそれぞれに対応して、Ｘ線を前記対象物へ照射して検出面で検出した回折環を取得する取得部と、複数の前記回転角のそれぞれに対応して、前記回折環により前記検出面と前記対象物との間の距離を算出する算出部と、前記回転角のそれぞれに対応した前記距離に基づいて、前記対象物の偏心量、及び前記対象物の回転方向の表面形状のばらつきの少なくとも何れか一方を推定する推定部と、を備える。
【０００８】
また、Ｘ線測定装置において、前記対象物は、円筒形状である。
【０００９】
また、Ｘ線測定装置において、前記推定部は、各前記回転角に対応した前記距離の平均値を算出する平均部と、前記距離と前記平均値との差分量を算出する減算部と、前記回転角に対する前記差分量の分布を正弦波又は余弦波の曲線により近似する近似部と、近似した前記曲線により、前記偏心量及び前記ばらつきの少なくとも何れか一方を特定する特定部と、を備える。
【００１０】
また、Ｘ線測定装置において、前記特定部は、近似した前記曲線の振幅及び初期位相を前記偏心量とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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