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公開番号2025076538
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-16
出願番号2023188083
出願日2023-11-02
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250509BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハを破損させることを防止できる加工装置を提供すること。
【解決手段】研削装置(1)は、ウェーハ(W)を収納する複数の棚(182)を有する第2カセット(18)を載置する第2カセットステージ(16)と、ウェーハを加工する研削機構(60)と、第2カセットに対してウェーハを搬入出するロボット(19)とを備えている。ロボットは、ウェーハを保持するロボットハンド(21)と、ロボットハンドが保持したウェーハを検知するセンサ(27)と、ロボットハンドを水平方向に移動させる水平移動機構(23)と、ロボットハンドを鉛直方向に移動させる鉛直移動機構(24)とを備えている。予め設定したロボットハンドの水平方向位置におけるセンサの検知結果によって、カセットからウェーハが飛び出しているか否かを判断する判断部(73)を更に備えている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを収納する複数の棚を有するカセットを載置するカセットステージと、ウェーハを保持するチャックテーブルと、ウェーハを加工する加工ユニットと、該カセットステージに載置した該カセットに対してウェーハを搬入および搬出するロボットと、を備える加工装置であって、
該ロボットは、ウェーハを保持するロボットハンドと、該ロボットハンドが保持したウェーハを検知するセンサと、該ロボットハンドを水平方向に移動させる水平移動機構と、該ロボットハンドを鉛直方向に移動させる鉛直移動機構と、を備え、
予め設定した該ロボットハンドの水平方向位置における該センサの検知結果によって、該カセットからウェーハが飛び出しているか否かを判断する判断部を更に備える加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットに対してウェーハを搬送するロボットを備えた加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び２は、ウェーハを研削する研削装置を開示している。特許文献１及び２では、研削したウェーハをスピンナテーブルに保持させて洗浄した後、ロボットハンドでウェーハを保持し、スピンナテーブルからカセット内へ搬送して収納している。このとき、ウェーハを保持したロボットハンドをカセット内に進入させ、ロボットハンドからウェーハを離隔させた後、カセット内からロボットハンドを退出させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－２０７０３２号公報
特開２０２１－１３２１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１及び２にて、カセット内からロボットハンドを退出させる際に、静電気等によってロボットハンドに引き付けられたウェーハをカセットから持ち出す場合がある。この場合、カセットからウェーハが落下したり、カセットから飛び出した状態のウェーハにロボットが接触したりし、ウェーハを破損させることがある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ロボットハンドをカセットから退出させる際に、ウェーハを破損させることを防止できる加工装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の加工装置は、ウェーハを収納する複数の棚を有するカセットを載置するカセットステージと、ウェーハを保持するチャックテーブルと、ウェーハを加工する加工ユニットと、該カセットステージに載置した該カセットに対してウェーハを搬入および搬出するロボットと、を備える加工装置であって、該ロボットは、ウェーハを保持するロボットハンドと、該ロボットハンドが保持したウェーハを検知するセンサと、該ロボットハンドを水平方向に移動させる水平移動機構と、該ロボットハンドを鉛直方向に移動させる鉛直移動機構と、を備え、予め設定した該ロボットハンドの水平方向位置における該センサの検知結果によって、該カセットからウェーハが飛び出しているか否かを判断する判断部を更に備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、カセット内からロボットハンドを退出させる際に、センサの検出結果によりカセットからのウェーハの飛び出しを判断部で判断することができる。これにより、かかる飛び出しを作業者に対して通知することが可能となり、カセットからのウェーハの落下や、カセットから飛び出したウェーハとロボットとの接触により、ウェーハが破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態の研削装置の斜視図である。
ロボット、第２カセット及びその周辺構造の概略構成図である。
ロボットハンド及びウェーハの平面図である。
第２カセットからロボットハンドを退出する中途段階の説明図である。
第２カセットからウェーハが飛び出した状態の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、実施の形態に係る加工装置が研削装置に適用された場合について説明する。なお、実施の形態に係る研削装置は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。
【００１０】
図１は、実施の形態の研削装置の斜視図である。まず、図１を参照して、研削装置１の全体構成について説明する。図１に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（鉛直方向）である。また、以下の各図において、Ｘ軸方向手前側を＋Ｘ側、後側を－Ｘ側とし、Ｙ軸方向左側を＋Ｙ側、右側を－Ｙ側とし、Ｚ軸方向上側を＋Ｚ側、下側を－Ｚ側と呼ぶ場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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