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公開番号2025078516
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-20
出願番号2023191137
出願日2023-11-08
発明の名称チャックテーブルの洗浄方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20250513BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】洗浄時にチャックテーブルの保持面において滞留し続ける洗浄水が生じないため、洗浄水の吐出を終えた際に切削屑が保持面に残留してしまうことを防ぐことができる。
【解決手段】少なくとも一対の洗浄ノズル61,62によりチャックテーブル18の保持部材19の上面に構成された保持面19aに洗浄水を着水させて洗浄するチャックテーブル18の洗浄方法であって、(A)一方の洗浄水ノズル61から吐出された洗浄水W1の着水位置P1は保持面19aの中心Oとし、他方の洗浄水ノズル62から吐出された洗浄水W2の着水位置P2は保持面19aの中心Oから離れた保持面19aの外周縁付近とする、及び、又は、(B)一方の洗浄水ノズル61からの洗浄水W1の吐出と、他方の洗浄水ノズル62からの洗浄水W2の吐出を、同時ではなく、時間をずらして行う、こととするものである。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも一対の洗浄ノズルによりチャックテーブルの保持部材の上面に構成された保持面に洗浄水を着水させて洗浄するチャックテーブルの洗浄方法であって、
（Ａ）一方の洗浄水ノズルから吐出された洗浄水の着水位置は保持面の中心とし、他方の洗浄水ノズルから吐出された洗浄水の着水位置は該保持面の中心から離れた該保持面の外周縁付近とする、
及び、又は、
（Ｂ）一方の洗浄水ノズルからの洗浄水の吐出と、他方の洗浄水ノズルからの洗浄水の吐出と、を時間をずらして行う、
チャックテーブルの洗浄方法。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
該保持面を停止、又は、回転させながら洗浄する、
ことを特徴とする請求項１に記載のチャックテーブルの洗浄方法。
【請求項３】
該一対の洗浄水ノズルを該保持面の中心を通る直線に対して両側となる位置に配置され、該一対の洗浄水ノズルが中心に対し互いに９０度以上１８０度以内の範囲でずれた位置に配置される、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のチャックテーブルの洗浄方法。
【請求項４】
該保持部材は多孔質材料で形成され、該保持面が吸引による負圧によって被加工物を保持するものであり、
洗浄の際に吸引が停止される、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のチャックテーブルの洗浄方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質材料で形成された円盤状の保持部材を有するチャックテーブルの洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に開示されるように、ウェーハやパッケージ基板を研削して薄化するための研削装置が知られている。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に研削加工を施す研削ユニットと、を備えており、研削ユニットには複数の砥石を含む環状の研削ホイールが装着される。被加工物をチャックテーブルで保持し、チャックテーブル及び研削ホイールを回転させつつ砥石を被加工物に接触させることにより、被加工物が研削され、薄化される。
【０００３】
チャックテーブルは、ポーラスセラミックス等の多孔質材料でなる円盤状の保持部材を有しており、保持部材の上面は被加工物を保持する保持面を構成する。保持面は、エアーの吸引により負圧が生じるように構成され、被加工物を吸着保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－１１７９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
被加工物を研削することにより研削屑（加工屑）が生じるが、この研削屑がチャックテーブルの保持面に残存すると、後に保持される被加工物と保持面の間に研削屑が挟み込まれてしまうことになる。この場合、例えば、被加工物が局所的に盛り上がり、均一な薄化加工が行われずに加工品質が低下してしまうことが懸念される。
【０００６】
この点に関し、従来、保持面に洗浄水を供給し、保持面から研削屑を除去する洗浄を行っていたが、保持面に研削屑が滞留して残存し、保持面の外に流れ落とすことができない場合があった。
【０００７】
特に、保持面は吸引されるため、ひとたび研削屑が保持面に残存してしまうと、次第に保持面に堆積して強固に固着するようになる。そして、保持面の一部の負圧が局所的に弱まってしまい十分な吸引保持力を発揮できなくなることが懸念される。また、研削屑が堆積することで保持面の一部の領域が盛り上がり、平坦度が低下するなど、保持面の形状が崩れることが懸念される。
【０００８】
本発明は以上の問題に鑑み、円盤状の保持部材を有するチャックテーブルの洗浄方法について、新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
本発明の一態様によれば、少なくとも一対の洗浄ノズルによりチャックテーブルの保持部材の上面に構成された保持面に洗浄水を着水させて洗浄するチャックテーブルの洗浄方法であって、
（Ａ）一方の洗浄水ノズルから吐出された洗浄水の着水位置は保持面の中心とし、他方の洗浄水ノズルから吐出された洗浄水の着水位置は該保持面の中心から離れた該保持面の外周縁付近とする、
及び、又は、
（Ｂ）一方の洗浄水ノズルからの洗浄水の吐出と、他方の洗浄水ノズルからの洗浄水の吐出と、を時間をずらして行う、チャックテーブルの洗浄方法とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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