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公開番号2025081967
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-28
出願番号2023195107
出願日2023-11-16
発明の名称処理システム
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250521BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送路の角部を清掃することができる処理システムを提供する。
【解決手段】移動車(800)は、複数の車輪(803)を備える本体部(801)と、本体部(801)に対して相対的に回転可能に接続され、搬送路(7)を清掃する清掃部(806)を有する清掃ユニット(802)と、を有し、搬送路(7)の角部(K)に対応する形状を有する清掃部(806)を角部(K)に位置づけ、清掃ユニット(802)が側壁部(72)に接触して回転が規制された状態で、本体部(801)を回転して方向転換して走行することで、搬送路(7)の角部(K)を清掃することを特徴とする処理システム。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
処理対象物に処理を施す処理システムであって、
該処理システムは、
少なくとも１つの処理装置と、
少なくとも１つの該処理装置の上方に設置され、搬送面と、該搬送面から立設する側壁部と、を有する搬送路と、
該搬送面を走行する移動車と、を備え、
該移動車は、
複数の車輪を備える本体部と、
該本体部に対して相対的に回転可能に接続され、該搬送路を清掃する清掃部を有する清掃ユニットと、を有し、
該搬送路の角部に対応する形状を有する該清掃部を該角部に位置づけ、該清掃ユニットが該側壁部に接触して回転が規制された状態で、該本体部を回転して方向転換して走行することで、該搬送路の該角部を清掃することを特徴とする処理システム。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
該清掃ユニットは、該本体部に対して水平方向に揺動可能な揺動機構を介して接続されることを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
該清掃部は、不織布、スポンジ、ブラシ、吸引機構の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項４】
該本体部は、
物品を収容するカセットと、
該カセットを該処理装置に対して昇降させる昇降機構と、を有する請求項１から３のいずれかに記載の処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象物に処理を施す処理システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、ウェーハに処理を施す処理装置に対して、ウェーハ、切削ブレード、研削砥石等の物品を搬送するために、処理装置の上方に搬送路を形成し、特許文献１に記載の床上走行式のＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ－Ｇｕｉｄｅｄ－Ｖｅｈｉｃｌｅ）や特許文献２に記載の吊下走行式のＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ－Ｈｏｉｓｔ－Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の搬送車を用いて搬送を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
特開２０１９－２０４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
搬送路上に搬送車を走行させる処理システムでは、搬送車を走行させると、搬送車に付着した異物が搬送路上に落下して堆積する。例えば、切削装置で切削加工するウェーハを搬送車で搬送する場合には、切削加工で生じた切削屑等が異物として搬送路上に堆積する。また、屈曲した経路を有する搬送路では、搬送車の走行によって生じる風によって搬送路の角部分に異物が集まりやすく、搬送路の角部分の清掃が課題となっていた。
【０００５】
このような問題の対策として、搬送車に搬送路を清掃するスポンジやブラシを搭載して搬送路の清掃を行うことが考えられる。しかし、搬送車が搬送路上で方向転換するときの軌道が円弧状であるため、搬送路の角部に掃き残し箇所を残すという欠点があった。また、スポンジやブラシをシリンダー等の伸縮機構で実質的に延長し、搬送路の角部を清掃することが考えられるが、構造が複雑となりコストアップを招くという欠点があった。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、搬送路の角部の清掃が可能になる処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る処理システムは、処理対象物に処理を施す処理システムであって、該処理システムは、少なくとも１つの処理装置と、少なくとも１つの該処理装置の上方に設置され、搬送面と、該搬送面から立設する側壁部と、を有する搬送路と、該搬送面を走行する移動車と、を備え、該移動車は、複数の車輪を備える本体部と、該本体部に対して相対的に回転可能に接続され、該搬送路を清掃する清掃部を有する清掃ユニットと、を有し、該搬送路の角部に対応する形状を有する該清掃部を該角部に位置づけ、該清掃ユニットが該側壁部に接触して回転が規制された状態で、該本体部を回転して方向転換して走行することで、該搬送路の該角部を清掃することを特徴とする。
【０００８】
以上の処理システムによれば、清掃部を搬送路の角部に当接した状態で本体部を回転させると、清掃ユニットは本体部に対して相対的に回転可能に接続されているため、清掃ユニットが側壁部によって回転が規制されるのに対して、本体部のみが回転して方向転換することができるため、搬送路の角部に堆積した異物を清掃することができる。
【０００９】
該清掃ユニットは、該本体部に対して水平方向に揺動可能な揺動機構を介して接続されてもよい。
【００１０】
該清掃部は、不織布、スポンジ、ブラシ、吸引機構の少なくともいずれかを含むことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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