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公開番号2025079929
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192814
出願日2023-11-13
発明の名称鋸ブレードのドレッシング方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 53/00 20060101AFI20250516BHJP(研削;研磨)
要約【課題】鋸刃を摩耗させることなく鋸ブレードの切れ味を再生することができるドレッシング方法を提供する。
【解決手段】本発明の鋸ブレードのドレッシング方法は、被加工物を保持するチャックテーブル34と、チャックテーブル34に保持された被加工物を切削する鋸ブレード15が装着されたスピンドル24を回転可能に支持する切削手段6と、チャックテーブル34と切削手段6とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を含み構成された切削装置1を準備する準備工程と、チャックテーブル34に鋸刃15bを整えるドレッシングボード100を保持し、鋸ブレード15を該順方向とは逆方向に回転してチャックテーブル34と切削手段6とを相対的に加工送りすると共に、鋸刃15bをドレッシングボード100に切り込ませて鋸刃15bを整えるドレッシング工程と、を含み構成される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
円形基台の外周に回転方向が順方向に規定された複数の鋸刃が形成された鋸ブレードのドレッシング方法であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する鋸ブレードが装着されたスピンドルを回転可能に支持する切削手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を含み構成された切削装置を準備する準備工程と、
該チャックテーブルに鋸刃を整えるドレッシングボードを保持し、鋸ブレードを該順方向とは逆方向に回転して該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りすると共に、鋸刃を該ドレッシングボードに切り込ませて鋸刃を整えるドレッシング工程と、
を含み構成される鋸ブレードのドレッシング方法。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
該ドレッシング工程において、鋸ブレードの回転方向に倣う方向から該チャックテーブルを相対的に加工送りする請求項１に記載の鋸ブレードのドレッシング方法。
【請求項３】
該ドレッシング工程において、鋸ブレードの回転方向に逆らう方向から該チャックテーブルを相対的に加工送りする請求項１に記載の鋸ブレードのドレッシング方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋸ブレードのドレッシング方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、切削ブレードを回転可能に備えた切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、電気機器に利用されるセラミックスコンデンサーチップは、板状の生セラミックスを個々のセラミックスコンデンサーチップに分割し、その後、焼結して形成される。
【０００４】
ウエーハを切削するには、ダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳砥石によって形成された切削ブレードが用いられ、生セラミックスを切削するには、超鋼で形成され円形基台の外周に回転方向が順方向に規定された鋸刃を複数備えた鋸ブレードが用いられる（例えば特許文献１を参照）。
【０００５】
そして、切削ブレードに切削屑が目詰まりした際は、該切削ブレードでドレッシングボードを切削し、ダイヤモンド砥粒をメッキ層から露出させ切れ味を再生している（例えば特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平０４－１７９５０５号公報
特開２０１２－１８７６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記した鋸ブレードで生セラミックスを切削したり樹脂を切削したりすると、鋸刃に切削屑が付着して切れ味が低下する。切削ブレードに付着した切削屑を除去して切れ味を再生すべく、上記した切削ブレードと同様の手順に従い、鋸ブレードを鋸刃が傾斜した方向である順方向に回転させてドレッシングボードを切削すると、ドレッシングボードを構成するＳｉＣ等の砥粒によって鋸刃の切れ刃側が摩耗して、切れ味を適正に再生することができないという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、鋸刃の切れ刃側を摩耗させることなく鋸ブレードの切れ味を再生することができるドレッシング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、円形基台の外周に回転方向が順方向に規定された複数の鋸刃が形成された鋸ブレードのドレッシング方法であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する鋸ブレードが装着されたスピンドルを回転可能に支持する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を含み構成された切削装置を準備する準備工程と、該チャックテーブルに鋸刃を整えるドレッシングボードを保持し、鋸ブレードを該順方向とは逆方向に回転して該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りすると共に、鋸刃を該ドレッシングボードに切り込ませて鋸刃を整えるドレッシング工程と、を含み構成される鋸ブレードのドレッシング方法が提供される。
【００１０】
該ドレッシング工程において、鋸ブレードの回転方向に倣う方向から該チャックテーブルを相対的に加工送りすることができる。また、ドレッシング工程において、鋸ブレードの回転方向に逆らう方向から該チャックテーブルを相対的に加工送りするようにしてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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